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電子顕微鏡関連機器 電子線描画用パターン発生装置 SPG-724
お使いのSEMの機能を損なうことなく電子線描画が可能です。
電子線描画装置用パターン発生装置 SPG‐724は、半導体を製造するためのものではなく微細回路・微小光学部品・ナノマシンの研究開発を行うためのものです。 電子線発生と偏向は、SEMそのもので行っています。SPC‐724をSEMに取付けることで、観察用のSEMが描画装置になるわけです。 SEM本体の他に必要なものは、ビームのオンオフを行うブランキング装置、露光量を測定するための電流計、描画パター...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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工作機械、半導体・液晶製造装置、産業用ロボット、医療・福祉、輸送機器、…
リニアガイドは回転運動で実現していたベアリングを応用し、 軽く、まっすぐ動かす働きを持つ機械要素部品です。 ISOでは「Recirculating linear ball bearing」 、JISでは 「玉循環リニア軸受」、工作機械工業会では「リニアガイドウェイ」と 呼んでいます。その他「直動ボールガイド」など複数の呼び名があり、 直線運動用のベアリングという意味で「リニアベアリング」...
メーカー・取り扱い企業: THK株式会社
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