【労働災害事例】半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒

半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒を起こしてしまった事例をご紹介

半導体メーカーがメンテナンスを行うために行ったベーキング作業 および酸化作業の打ち合わせ後、半導体製造装置に残留している 有害物質を検知管で測定する際に、有害物質が漏洩し、装置の傍を 通った際に被災してしまいました。 被災者は、事務所で約1時間休憩後も体調不良のため、メーカーの 産業医...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

大倉電気株式会社　事業紹介

幅広いニーズに応え、高品質で信頼性のある製品で産業界のインフラづくりに…

■工業計器 ・計測と制御の技術で産業分野のオートメーションに貢献 ■制御通信機器 ・情報伝送制御装置で、電力・水道等の社会的インフラの構築 ■半導体製造機器 ・オリジナリティをもった半導体製造装置の提供 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大倉電気株式会社 東京営業所

湘南丸八エステック株式会社　事業紹介

独創的な発想で研究開発・生産・品質管理プロセスの技術革新に繋げます。

湘南丸八エステック株式会社(SMST)は、半導体・液晶製造装置用の真空機器部品の設計・製造・販売などを行っている会社です。 当社は、お客様のご要望を素早く理解し、異種業界・多分野で培った経験と知識の中から、迅速で的確なご提案を致します。 品質・機能・コストを総合的に判断した最善のご提案と製品は、知識と技術の橋渡しの可能性を最大にし、お客様の発展に貢献致します。 【事業内容】 ■半導...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社

【防塵】アルミ製品のパーティクル防止などに【TAF TR】

350℃でもクラックレス！半導体製造装置などの防塵に！クラックレスの硬…

性に著しく影響を与えることと思います。 クラックレス硬質アルマイト【TAF TR】は温度域350℃でもクラックすることがないため、皮膜の欠損や剥がれが無いためパーティクル防止用途として、半導体製造装置などの機械要素部品に効果を発揮します。 ※詳細はお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

【展示会情報】JISSO PROTEC 2024

電子機器トータルソリューション展2024 / JISSO PROTEC…

平素は格別のご高配を賜り、厚く御礼申し上げます。 来る2024年6月12日 ～ 6月14日の期間 東京ビッグサイトで開催されます「電子機器トータルソリューション展2024 / JISSO PROTEC 2024」に弊社ブースを出展する運びとなりました。 上下のフライングプローブを同時使用した 最大6プロープのコンビネーション検査で基板上面・下面への同時コンタクト検査が可能なインサーキットテスタ...

メーカー・取り扱い企業： タカヤ株式会社 事業開発本部

株式会社ヨシキ　事業紹介

最先端の機器を研究者の方へ提供している商社です。

株式会社ヨシキは、主に理化学機器・分析機器・計測機器等、総合科学関連品の 仕入販売を行っている会社です。 静岡県で20年以上に渡り最先端の機器を、環境分析、医薬品開発、食品 衛生管理、半導体関連、化学工業の研究者へ提供しています。 最先端の機器を、環境分析、医薬品開発、食品衛生管理、 半導体関連、 化学工業の研究者へ提供し、メーカーと研究所のパイプ役としてご要望を かなえる為...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヨシキ

株式会社タクト　会社案内

幅広い分野に活用できる製品・ソフトウェア開発製造のことなら、お任せくだ…

株式会社タクトは、各種検査装置、自動化FAシステムなど、幅広い分野と 業界に対応できる製品・ソフトウェアの開発製造を行っている会社です。 エレクトロテストや回路設計などの技術で、ニーズに柔軟に対応いたします。 【事業内容】 ■各種検査装置、自動化FAシステム、エージング装置、紫外線照射装置等の 　製品・ソフトウェアの開発製造 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクト

クリーンルーム連続監視システムソフトウェア「CMS」

製造ライン及び製造装置の清浄度測定に最適。多点清浄度監視システム。

本システムは、半導体、液晶、精密電子部品、製造装置、医薬品、食品等の製造ラインおよび製造装置内の清浄度を、各測定ポイントに設置し、連続監視データを通信によりモニタリングソフトウェア(CMS)にてデータを取込むシステムです。 清浄度監視システムは、「CMS」の標準版とPart11対応版2種類をご用意しております。 チューブ切替式（マニホールド式）との混在システムも可能です。 温度、湿度、差圧、...

メーカー・取り扱い企業： トランステック株式会社

自動レジスト塗布現像ベーク装置『LITHOTRACシリーズ』

知識と経験を活かし、お客様のニーズに最適な仕様でご提供致します！

当シリーズは、研究開発用途から生産用途まで、半導体製造プロセスに 関わるあらゆる分野に適応可能なレジスト塗布・現像・ベーク装置です。 自由度の高い設計になっていて、研究開発及び量産仕様に最適です。 また、塗布ユニット/現像ユニットを搭載し、2”/8”ウェーハの 簡易切換えが可能です。 【特長】 ■自由度の高い設計 ■塗布ユニット/現像ユニットを搭載 ■量産仕様に対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生

半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作…

製造工程の膜付前洗浄作業では硫酸・過酸化水素・純水の混合液Mを、 マーキング作業ではリン酸・塩酸の混合液Nを使用していました。 M液とN液は別々に処理していましたが、誤ってM液回収用のポリタンクに N液を投入したため、塩化水素ガスが発生。 ポリタンクから吹き出した白煙の塩化水素ガスがクリーンルーム内に 広がり、室内にいた3 名の作業者が目の痛みを訴え治療を受けました。 【提...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社

清栄コンピュータ株式会社『会社案内』

創業より積み重ねてきた【技術】と【経験】で清栄コンピュータにしかできな…

弊社では、ファンクションテストシステム等の検査機・試験機等や メカトロニクス応用の省力化装置を開発・製造しております。 磁気・ICカード、車載電子機器、プリント基板実装、電子部品、半導体等の分野において 確かな技術で自動車業界、家電業界、食品業界を中心に多大なご支持を頂いております。 【事業内容】 ■食機FA事業 - 食料品や化粧品。医薬品などの生産ラインに 検査機や管理システム...

メーカー・取り扱い企業： 清栄コンピュータ株式会社

株式会社C&Vテクニクス　会社案内

真空技術・プラズマ技術をコア技術とした価値・創造型のエンジニリング会社

株式会社C&Vテクニクスは、これまで30年間半導体電子部品分野で 活躍したメンバーが、長年培ってきた真空技術とプラズマ技術を コア技術とした価値・創造型のエンジニリング会社です。 5年、10年先のあるべき姿を求め、真空プロセスを用いた ロールコーター装置事業を主体とした会社を目指しております。 真空技術と低温技術でプラズマ応用機器分野と分析機器分野で 貢献いたします。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社C&Vテクニクス

【展示会出展】ヘルスケア・医療機器開発展／再生医療EXPO

流体コントロール製品を中心に多数ラインアップ。医療分野で活躍する高品質…

「インターフェックス　再生医療EXPO」の2つの展示会に出展いたします。 医用検査装置、内視鏡洗浄装置、インクジェットプリンター、食品・飲料機器、 美容・介護機器、液クロ・ガスクロ、半導体製造装置といった、 高精度の流体コントロールが求められる機器に欠かせない マイクロポンプなどの製品を、当日会場にてご紹介いたします。 特に今回は再生医療の分野にスポットを当て、シングルユース...

メーカー・取り扱い企業： 電装産業株式会社

すべりねじシリーズのサンプルを提供いたします

樹脂ナット追加。　他材質も、軸径×リードを拡大。　9月20日まで、製品…

低摩擦の樹脂ナットと、高剛性の銅合金ナットを標準在庫しています。 ボールねじと比較して、騒音を低減できます。 精度等級は、Ct10 となります。 ねじサイズ・リードも豊富で、半導体製造装置・医療機器、食品機器など、様々な分野でお使いいただいております。 ねじ軸軸端加工も承りますので、ご相談下さい。 大変お求め安い価格にて、ご提供いたします。 ◎より詳しい掲載内容に...

メーカー・取り扱い企業： 森本精密シャフト株式会社 営業部

スガツネ工業 総合カタログ No.370【ダイジェスト版】

工作機械、ロボット、半導体製造装置、物流機器などに対応する機構部品の総…

事務所に一冊いかがですか？ まずはカタログのダイジェスト版をダウンロードしてみてください。 ★☆★…主な掲載品…★☆★ ■蝶番・ヒンジ …扉や蓋を開閉させる部品です。扉がどこでも好きな角度で止まる機能や、ゆっくり閉まる機能を持たせるなど、さまざまな機能を持った蝶番をご用意しています。 ■ステー …扉を一定以上開かないよう制御したり、角度を保持したりする部品です。 ■スライ...

メーカー・取り扱い企業： スガツネ工業株式会社 テクノフィールド事業部

すべりねじシリーズ

樹脂ナット追加。他材質も、軸径×リードを拡大。

低摩擦の樹脂ナットと、高剛性の銅合金ナットを標準在庫しています。 ボールねじと比較して、騒音を低減できます。 精度等級は、Ct10 となります。 ねじサイズ・リードも豊富で、半導体製造装置・医療機器、食品機器など、様々な分野でお使いいただいております。 ねじ軸軸端加工も承りますので、ご相談下さい。 大変お求め安い価格にて、ご提供いたします。 ◎より詳しい掲載内容に...

メーカー・取り扱い企業： 森本精密シャフト株式会社 営業部