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表面改質に特化した大型真空プラズマ装置!ワンタッチの簡単な操作性で初心…
表面改質に特化した大型真空プラズマ装置です。 ワンタッチフルオート機能、及び、オートリーク機能を搭載しているため、取扱が非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。 AC100Vのコンセントで動作しますので、様々な状況での使用が可能となります。 また大変メンテナンスが容易です。又、チャンバーサイズはご要望に合せて作らせて頂きます。...■大面積!φ400、A4サイズの処理対応 ■家電感覚の使用感 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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PP樹脂製ウォーターガン 禁油品・精密洗浄品
樹脂製洗浄ガンです。 禁油品、精密洗浄品の為、純水において問題なくご使用頂けます。 接液部にはポリプロピレンとフッ素ゴムのみを使用しており、 金属イオンの溶出や錆が流出する心配もありません。 半導体製造装置、シリコンウェハやガラス基板洗浄装置の槽内洗浄、 純水装置の採水といった場面でご使用頂いております。 ※フィルターは付属していない為、ゴミの除去は行いません...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツマイクロフィルター 東京営業所
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精密洗浄を大型製品に適用する大型チャンバー精密洗浄プロセスも開発!
メルコジャパン株式会社の精密洗浄部門について、ご紹介いたします。 液晶パネルや半導体チップの製造工程に使われる真空容器など関連装置の 高精度化に伴い、これら装置部品の不純物を確実に除去する精密洗浄が 求められる現状。 当社では、常に徹底した精密洗浄を施してお客様に納品しています。 【大型チャンバー精密洗浄プロセス】 ■1.純水を90℃の高温にしてチャンバーを1時間から2時間...
メーカー・取り扱い企業: メルコジャパン株式会社 丸森第一工場
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腐食性ガス・放出ガスの発生を抑える電解研磨
オジープ処理(OGEP-V3)とはアルミ及びステンレスチャンバー(オーステナイト系・マルテンサイト系)に対応できる電解研磨です。半導体製造装置部品等に使用でき、真空装置の真空時に発生する放出ガスを抑える効果があります。電解研磨では腐食性の「硫黄ガス」が発生しますが、オジープ処理は発生しません。 オジープ処理はアルミニウムに行う「オ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オジックテクノロジーズ
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