超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』

紫外線照射式＋活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍

『OZK-ISC001』は、制御ユニット・分解塔・活性炭処理槽が 一体となった小型オゾン水分解装置です。 分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを 紫外線ランプ（254nm）の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した 活性炭槽でオゾンの分解を促進します。 半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。 【標準仕様】 分解原理：紫外線照射式＋活...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプリクス

【減圧脱水乾燥装置導入事例】半導体部品製造業　K社様

減容率は96.42%！処理の簡素化と大幅なコスト削減を実現した導入事例…

『減圧脱水乾燥装置』を導入した、長野県にある半導体部品製造業の K社様の事例をご紹介します。 同社では、以前はマイクロフロー→フィルタープレス→ディスクドライヤーで 処理していましたが、前期工程を減1台にまとめることで、処理の簡素化と 大幅なコスト削減を実現。 導入後、釜残渣の有価引取を模索しており、実現すればさらに導入効果が 大きくなる見込みとなっております。 【事例概...

メーカー・取り扱い企業： 東栄産業株式会社

減圧脱水乾燥装置導入実績

金属材料加工や半導体部品製造業などで導入実績を保有！多数のラインアップ…

当社が取り扱う『減圧脱水乾燥装置』は、2021年4月30日時点で、 日本国内で264台、海外で88台と計352台の導入実績がございます。 食品製造業のM社様をはじめ、食品製品原料加工業のO社様や 半導体部品製造のS社様など様々な導入実績を保有。 岡山県某所のステンレス製品製造業のO社様では、新設工場の建設にあたり、 製品生産過程の洗浄工程から排出されるリンス水の処理に減を採用。 ...

メーカー・取り扱い企業： 東栄産業株式会社

半導体、FPDや太陽電池製造装置に採用。クリーン向けイグチベアー

LCDの後工程から始まった採用実績も、現在はさまざまな処理工程で採用さ…

クリーンルーム向けイグチベアーは、特殊樹脂を加工することにより、様々な環境にて使用可能です。また、1点からでもユーザー様の用途に合わせた特型製品の製作を致します。 【特徴】 ■200℃以上の高温環境や真空チャンバー内、各部ローダー、アンローダー、光の反射を嫌う光学測定機、マザーガラス切り出し部等、各種用途に応じた製品をラインナップ。 ■ISB洗浄からクリーンパックまで使用環境に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社井口機工製作所 本社

パイオクリン緊急保安装置　MODEL-WGR

大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。

毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等（配管、継手、バルブ等）から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。 【特長】 ・緊急保安用パイオクリンは、大風量のもとでも極めて優れた処理能力を有します。 ・毒性の高いガス等を短時間で許容濃度以下に除害します。 ・本装置は圧力損失が極めて小さくブロワー動力を低減出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

真空ポンプ用高性能オイル浄化装置『サン・オイルクリーナー』

特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…

大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸を中和、ゴミや...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

特殊炭素製品　焼結用

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

各種材料の加圧焼結用型材としてグラファイト製品が使われています。...【特徴】 ○ダイヤモンド工具製造に使われるCARBONE LORRAINE社の材料は卓越した性能を発揮します。 ○固有抵抗値と比重が高く、熱膨張係数が低いグラファイト材料は、発熱速度が早く、 　溶融した結合材の浸透が非常に少ないです。 ○非金属用途の黒鉛材質の選定は以下のパラメータを考慮しています。 　・かさ比重 　...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

特殊炭素製品　フェルト

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

高温用断熱材として利用されますと優れた特性を発揮します。...【特徴】 ○フェルトの種類には、グラファイト・フェルト、カーボン・フェルト、 　 高純度フェルト、成形断熱材（リジット・フェルト）等があります。 ○これらのフェルトは、高温用断熱材として利用されますと優れた特性を発揮します。 ○成形断熱材とは、ソフト・グラファイト・フェルトの表面を強化（コーティング）したものです。 ●詳し...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

【減圧脱水乾燥装置導入事例】半導体部品製造業　S社様

回収水は後段で生物処理を採用！初留分を15%カットする事で回収水のCO…

『減圧脱水乾燥装置』を導入した、インドネシアにある半導体部品製造業の S社様の事例をご紹介します。 同社では、新規製品製造工程を導入するにあたり、廃液処理を検討。 様々な方式を試しましたが、COD数値がネックとなり最終的に減での処理を 選択。回収水は後段で生物処理を採用しました。 廃液には低沸点溶剤が含まれており、初留分を15%カットする事で回収水の COD値を抑制していま...

メーカー・取り扱い企業： 東栄産業株式会社

燃焼式排ガス処理装置

燃焼式排ガス処理装置です

本装置は半導体製造装置により排出されるSiH4等の水素化合物、C2F6、SF6等の フッ素化合物等の排ガスを燃焼バーナーの熱排ガスを利用して熱分解させることにより 処理します。また、熱分解後の生成物（SiO2粉...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

真空ポンプの運用コストを削減『サン・オイルクリーナー』：大成技研

大成技研の特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・…

半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにした、油回転真空ポンプ用オイルの浄化装置です。 油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸をパーティクル中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し、常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的にコスト...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

自動エア抜き弁　空気抜き弁　開発　VE・VA提案　給水管　鳥取

鳥取でエア抜き弁の開発ならお任せください！【自動エア抜き弁　空気抜き弁…

【業界・使用用途】 空調機器関連業界 【ロット】 100～10000 【詳細】 こちらは自動エア抜き弁です。 配管内に溜まる空気を自動的に排出する装置です。 エア抜き弁の開発をご検討の際、以下の様なお悩みはございませんか？ ・設計した形状をどのような加工方法で製造すれば良いのかわからない。 ・従来品よりコストダウンを図りたいが、品質が低下するのは嫌だ。 ・設計形状か...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松井製作所

自動エア抜き弁　空気抜き弁　開発　VE・VA提案　給水管　大阪

大阪でエア抜き弁の開発ならお任せください！【自動エア抜き弁　空気抜き弁…

【業界・使用用途】 空調機器関連業界 【ロット】 100～10000 【詳細】 こちらは自動エア抜き弁です。 配管内に溜まる空気を自動的に排出する装置です。 エア抜き弁の開発をご検討の際、以下の様なお悩みはございませんか？ ・設計した形状をどのような加工方法で製造すれば良いのかわからない。 ・従来品よりコストダウンを図りたいが、品質が低下するのは嫌だ。 ・設計形状か...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松井製作所

自動エア抜き弁　空気抜き弁　開発　VE・VA提案　給水管　関西

関西でエア抜き弁の開発ならお任せください！【自動エア抜き弁　空気抜き弁…

【業界・使用用途】 空調機器関連業界 【ロット】 100～10000 【詳細】 こちらは自動エア抜き弁です。 配管内に溜まる空気を自動的に排出する装置です。 エア抜き弁の開発をご検討の際、以下の様なお悩みはございませんか？ ・設計した形状をどのような加工方法で製造すれば良いのかわからない。 ・従来品よりコストダウンを図りたいが、品質が低下するのは嫌だ。 ・設計形状か...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松井製作所