自動レジスト塗布現像ベーク装置『LITHOTRACシリーズ』

知識と経験を活かし、お客様のニーズに最適な仕様でご提供致します！

当シリーズは、研究開発用途から生産用途まで、半導体製造プロセスに 関わるあらゆる分野に適応可能なレジスト塗布・現像・ベーク装置です。 自由度の高い設計になっていて、研究開発及び量産仕様に最適です。 また、塗布ユニット/現像ユニットを搭載し、2”/8”ウェーハの 簡易切換えが可能です。 【特長】 ■自由度の高い設計 ■塗布ユニット/現像ユニットを搭載 ■量産仕様に対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

株式会社エス・イー・エム　事業紹介

生産設備の開発・設計から設置まで！どんな要望にも当社が応えていきます

株式会社エス・イー・エムは、省力化機器及び各種システムの開発・設計・ 製造、コンピュータ関連機器の開発・設計・製造を行っている企業です。 マーケットニーズをいち早く製品化できるよう常にフレキシブルな体制で のぞんでおり、これまで培った経験と、エンジニアの独創的な発想で、求め られる性能を幅広い分野でカタチにしています。 各種生産設備等の設計から組立・設置まで社内一貫製造をおこなう...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エス・イー・エム