真空装置

真空装置

大阪真空社の清浄高真空分野への取り組みは、 理化学研究分野をはじめ 半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。 操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置も ユーザーのニーズが 充分に反映されたものになっています。 【取扱い真空装置】 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置 ○真空排気装置 ○薄膜装置 ○FPD製造 ○真空環境試験装置 ●各種真空装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

湘南丸八エステック株式会社　事業紹介

独創的な発想で研究開発・生産・品質管理プロセスの技術革新に繋げます。

湘南丸八エステック株式会社(SMST)は、半導体・液晶製造装置用の真空機器部品の設計・製造・販売などを行っている会社です。 当社は、お客様のご要望を素早く理解し、異種業界・多分野で培った経験と知識の中から、迅速で的確なご提案を致します。 品質・機能・コストを総合的に判断した最善のご提案と製品は、知識と技術の橋渡しの可能性を最大にし、お客様の発展に貢献致します。 【事業内容】 ■半導...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社

【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

【事業内容詳細】 ■真空成膜加工装置製造・販売 　・半導体製造装置 　・ストレージデバイス製造装置 　・電子部品製造装置 　・研究開発・小規模生産装置 ■真空コンポーネント製品製造・販売 　・真空ポンプ 　・真空計測機器・分析機器 　・真空部品...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

コスラーズゲートバルブ

開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲート…

FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しまし...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

配管部品　真空配管類

真空配管を素材から切削加工、TIG溶接組付け一貫製作いたします。

当社では、半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管を、素材(SUS304～SUS316L)から切削加工、TIG溶接組付け一貫製作いたします。1本、1個からご注文承ります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

カナヤママシナリー株式会社　事業紹介

人々を幸福へと導くヒューマン・ソリューション・テクノロジー

当社は、真空機器事業部をはじめ、電子機器事業部、福祉機器事業部の 3つを柱として事業を展開している会社です。 福祉機器事業部では、モジュラーシステム車いす「LAPPOIII」や、次世代 歩行車「NOPPO（のっぽ）」、プラスチック（PVC）手袋など、幅広い 製品を取り扱っております。 また、真空加工においては、当社独自の技術により、各種ステンレス・ アルミ合金溶接構造から素材削...

メーカー・取り扱い企業： カナヤママシナリー株式会社

角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

*ロータリーポンプPascalシリーズ ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

SDシリーズ：標準ポンプ •大気/希ガス用、粗引きポンプ用途 I シリーズ：研究開発や分析機器用途 •質量分析計、電子顕微鏡 などの粗引き用途 C1シリーズ：腐食性用途 •研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途 C2シリーズ：腐食性用途 •イオン注入、スパッタリング装置などの用途 HWシリーズ: ウェットガス用途 •凍結乾燥、真空乾燥、化学研究、滅菌、ロード...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社