スパッタ装置 QKG-Sputtering

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！ 〜サンプル測定実施中！…

従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。 ○省スペースで作業スペースにメリット ○成膜の再現性が上昇するメリット ○工数削減、エラー減少、気分上昇メリット ○ワンボタンで成膜までフルオート→作業効率メリット ○１インチカソードで材料費を削減メリット スパッタを高精度...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

マグネトロンスパッタ装置 カーボンコーター

誰でも使える簡単操作の卓上型コーティング装置

タッチパネル操作のフルオート多目的成膜装置です。 インサートを交換することでスパッタリング、カーボン蒸着（ロッド・ファイバー）、グロー放電と多目的に使用可能なハイブリッドモデルもございます。 多くの研究室で導入されている多目的成膜装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アド・サイエンス

【自動滴定装置 技術資料】酸性銅めっき浴中の塩化物イオン

半導体ウェハー上へのCu成膜に使われる酸性銅鍍金浴の塩化イオン濃度を電…

酸性銅めっき浴は、主に半導体ウェハ―状へのCu成膜に用いられます。 塩化物が少量含まれていると、成膜速度が上がり、アノード分極が抑えられます。 しかし、濃度が高くなりすぎるとCu成膜の品質が低下するため、好ましくありません。したがって、効率よく高品質のCu成膜を行うには、塩化物イオン濃度のモニタリングがきわめて重要です。 メッキ浴　鍍金浴...メトロームの自動滴定装置を使用して酸性銅めっき浴...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

株式会社C&Vテクニクス　会社案内

真空技術・プラズマ技術をコア技術とした価値・創造型のエンジニリング会社

体とした会社を目指しております。 真空技術と低温技術でプラズマ応用機器分野と分析機器分野で 貢献いたします。 【事業内容】 ■イオン付着質量分析計開発・設計・製造 ■RtoR真空成膜装置設計・製造 ■真空・低温分野コンサルタント業 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社C&Vテクニクス