スパッタリング　薄膜加工　成膜加工（薄膜成膜受託加工）

スパッタリングは低温でもすぐれた密着が得られます。ローコスト・短納期に…

スパッタリングは乾式メッキ法に分類され、コーティングする対象物を液体や高温気体にさらす事なくメッキ処理が出来ます。それにより様々な基盤材料(樹脂・ガラス・セラミック・その他)の板物・成型品に、例えば電極・シールド・マスキングとして使用されています。 【特徴】 ・異なる金属を同一ターゲットに「合金」として加工し成膜する事が可能 ・クリーンな表面処理加工 ※詳しくは、お問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ビースパッタ

実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

DLC（ダイヤモンド状炭素）成膜装置

医療用途・光学部品に！イニシャル、ランニングコスト低減ができるプラズマ…

『ダイヤモンドライクカーボンの成膜装置』は、熱陰極PIG(ペニング イオンゲージ放電形式）プラズマCVD装置です。 低温かつ高真空での処理を可能とし､硬度と平滑性に優れた DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜の形成を実現。...

メーカー・取り扱い企業： 東製株式会社

低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series

低温ALD装置とバレル機構の融合

自社開発のバレル機構による均一撹拌とバラつきのない膜厚・膜質を実現 ・粉体材料や極小部品表面に均一に高品質な成膜が可能 ・平面ではないワーク形状や他の方法では成膜できなかった材料などにも技術応用可能 ...【コーティング活用例】 　磁性粉体（サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等）への保護膜形成 　　・保磁力、分散性の向上 　　・参加劣化防止 　　・帯電防止 　全個体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

『ロールtoロール (Roll to Roll) 成膜』

太陽電池、5Gアンテナなど、フレキシブルデバイスの製造に『ロールtoロ…

■概要 樹脂フィルムや金属箔などの大量生産に適し、ロール状に巻いた材料に成膜できます。 4µmの極薄の対応実績があります。 お客さまの目的用途に応じた仕様決定など、開発品のための機能性薄膜設計コンサルも承ります。 わたしたちが長年培った『透明導電膜・ITO膜』の技術と知見を、製品づくりにぜひご活用ください。...■特長・強み ・多様な成膜材料の豊富な経験実績 　-金属、金属酸化物、誘電...

メーカー・取り扱い企業： ジオマテック株式会社

低温ALD装置　CVA series

ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能！

緻密で均質、かつ均一の厚みの膜が形成可能 　・ほとんどの金属酸化膜に対応可能 　・どのような基板（材質、平坦性、形状等々）でも密着性良く成膜可能 　・用途に応じた膜厚の制御が可能 　・室温で成膜可能 PETボトルコーティング活用例 　・アルコール飲料（軽量化・ロングライフ化） 　・医療・化粧品（容器の低コスト化、意匠性・透明性、酸アルカリ封入） 　・燃料（軽量小型燃料電池、フレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

コーティング装置『IK-1000』

金属や部品の量産から全長500mm迄の大型品の処理に適した装置！

『IK-1000』は、金属や部品の量産から全長500mm迄の大型品の処理に 適した装置です。 高真空雰囲気中において、ターゲット（成膜材料）を陰極、アノード（陽極） との間で真空アーク放電を発生させ、成膜材料を蒸発、イオン化し、 基材に負バイアス電圧を印加することで、プラズマ中にイオンを引き付けて 成膜を行います。 また、テストピースの試作など、研究開発用途に適した「IK-50...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターフェイス

低温高周波励起DLC 成膜装置　CVC series

DLC(Diamond-like carbon）コーティング

高周波と直流負パルスを同時印加 ・高周波プラズマは反応容器外から供給 ・直流電圧はアークに直結 コンパクトでシンプルデザイン ・加熱源をもたない ・ワークの設置方向に制限なし グラファイトからDLC まで膜質を連続制御 ・高周波パワーで反応制御 ・直流電圧値で密着性制御...【アプリケーション例】 ・機械的特性 　耐摩耗：切削工具、摺動部品 　低摩耗：真空部品、エンジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、 潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。 イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、 アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

【特徴】 　・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 　・低温で低エネルギー照射が可能 　・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 　・超硬工具用保護膜（c-BN） 　・食品用バリア膜（アルミ） 　・太陽電池用下地膜（アルミ） 　・光学用フィルタ膜（ZrO₂、AI₂O₃等） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...装置販売...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

DLCコーティング加工　PEKURIS COAT

他に類を見ない三次元成膜技術で、不可能を現実にします。

PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

潤滑性表面処理『テクノフォス』

包装機械用部品や食品機械部品などへの使用に適した潤滑性表面処理！

『テクノフォス』は、無電解ニッケル皮膜の硬さに、フッ素樹脂のなめらかさをプラスした表面処理です。 フッ素樹脂塗装とは異なり、剥離が生じません。 食品衛生法にも適合しており、食品加工装置や包装機器に使用されています。 処理可能最大寸法(mm):1800×1800×450 《　特　徴　》 ・無電解ニッケルめっき膜にフッ素樹脂をコーティングしているため、非常に滑らかで硬い表面で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭プレシジョン 京都西工場

【資料】保有設備一覧

【薄膜パターニング加工】豊富な加工・検査設備を一覧でご紹介！

当資料では、弊社が得意とする「薄膜パターニング加工」関連の保有設備について掲載しております。 ”物作りへのこだわり”を大切にし、お客様へ価値あるQ（品質）、C（コスト）、D（納期）、S（サービス）を提供し、社会に貢献する弊社の設備一覧をご覧ください。 【保有設備(抜粋)】 ■洗浄工程 ・バッチ式洗浄装置 ・枚葉式洗浄装置 ■成膜工程 ・スパッタ成膜機 ■フォトリソ工程（塗布...

メーカー・取り扱い企業： テクノプリント株式会社

株式会社イオンテクノセンター　会社案内

イオン注入・成膜・分析の技術と設備をさまざまな分野のイノベーションにつ…

株式会社イオンテクノセンターは、時代の求めるプロフェッショナル 集団として、前身であるイオン工学研究所の事業を引き継いだ形で 誕生いたしました。 特にイオン注入、成膜、分析を中心とした技術と設備を備えた先端の 研究開発を行い、日本を代表する創造的ラボラトリーをめざします。 【事業内容】 ■イオン工学に関する研究開発受託 ■イオン工学に関する装置による金属、セラミックス、半導体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

潤滑性表面処理『テクノボロン』

めっき膜が硬く、耐摩耗性・耐熱性・耐焼き付き性に優れた表面処理！

『テクノボロン』は、高硬度の無電解NiBめっきにフッ素樹脂の非粘着性をプラスした処理です。 食品衛生法にも適合しており、食品加工装置や包装機器に使用されています。 処理可能最大寸法(mm):800×800×400　50ｋｇ 《　特　徴　》 ・無電解のニッケルボロンめっきにフッ素樹脂を含浸した処理です。 ・無電解ニッケルボロンめっきと比較して、 　非粘着性、撥水性、摺動性に優れて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭プレシジョン 京都西工場

「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集

光電子分光分析装置（ESCA）を使用した多層膜の深さ分析結果を掲載！

当事例集は、イオン注入、成膜・分析、研究・事業化マネジメントの サービスなどを提供している株式会社イオンテクノセンターの光電子 分光分析装置「ESCA」による多層膜の深さ分析の事例集です。 シリコン基板の上にシリコン酸化膜とチタン酸化膜の積層膜をESCA （Quantum-2000）によって分析した結果を掲載しております。 【掲載概要】 ■ESCAによる多層膜の深さ分析の分析結...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

化合物半導体系超格子サンプルにおける深さ分解能測定

化合物半導体サンプルを試料に、深さ分解能を測定した結果を紹介。

SIMS(二次イオン質量分析法)は数 kV の 1次イオンビーム(O2+, Cs+)を試料 表面に照射し、スパッタされた二次イオンを質量分析して試料中の微量 不純物を分析する事ができる装置です。 Q-pole SIMS(アルバックファイ：ADEPT-1010)によっては、Al0.28Ga0.72As/GaAs を 50nm ずつ分子線エピタキシー(MBE)で成膜した化合物半導体サンプル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

課題解決事例＜成膜加工受託加工＞

当社保有蒸着装置で開発実験のお手伝いが可能！成膜加工受託加工を承ります

当社は、成膜加工受託加工を承っています。 ＜こんなお困りごとはございませんか？＞ ■量産で装置が開かず開発テストができない等、とりあえず薄膜加工して、開発の当りをつけたい また、マスク蒸着もでき、ご要望に応じメタルマスクを製作いたします。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...※詳しくはPDF資料...

メーカー・取り扱い企業： ナガセ研磨機材株式会社 本社