成膜装置 | イプロス医薬食品技術

ロールtoロール連続成膜装置

樹脂フイルムへのバリア性プラズマ成膜などに好適！技術資料無料進呈いたし…

『ロールtoロール連続成膜装置』は、中間層を必要としないプラズマイオン注入成膜法により、各種フィルム素材に機能性成膜が可能な装置です。独自のICPプラズマによる高速成膜機能フイルムの製造が可能。樹脂フイルム...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イトー

各種成膜・アニール装置

ニーズに合わせたラインアップ！成膜装置や、ランプ加熱によるアニール装置

大村技研では、お客様のニーズに合わせて、成膜装置やランプ加熱によるアニール装置を設計・製作します。縦型LP-CVD装置、縦型アニール装置、PE-CVD装置、 MO-CVD装置をラインアップしています。【特長】 ■ニーズに...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

マイクロ波ダイヤモンド成膜装置『MDD-2016』

安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成するマイ…

『MDD-2016』は、高出力（最大5kW）のマイクロ波電源および自動整合器（4Eチューナ）により、安定な高密度プラズマを発生させ、高品質ダイヤモンドを高速合成できる装置です。独自のプラズマ制御機能により、プラズマ点灯状態で基板上のプラズマ分布を制御できます。マイクロ波電源はマグネトロン発振（連続波、パルス波、高安定スペクトル）およびソリッドステート発振など、当社電源ラインアップからお選び頂け...

メーカー・取り扱い企業：日本高周波株式会社

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。真空環境下においても非接触・高速昇温性を持ったハロゲンランプヒータを使用することにより半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程においてタクトタイム短縮...

メーカー・取り扱い企業：ウシオ電機株式会社

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

成膜技術『真空蒸着』

真空蒸着技術の高い信頼性とそこから生まれる光学製品の多様性

真空蒸着とは成膜技術の一つで、高真空中で蒸着材料を加熱し気化させ、気体分子となった蒸着材料が基板に衝突、付着して蒸着薄膜が形成される技術です。沸騰して蒸発する水蒸気の上に板を持ってきた時に蒸発した水が付着するのと同じ原理です。誘電体、金属等の蒸着物質を、屈折率・厚み。層数等の組み合わせを変えて成膜し、光（紫外光・可視光・赤外光）を透過・反射・吸収させることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エツミ光学大野工場

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける　金属膜、絶縁膜の形成に用いられる　CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを　用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を...

メーカー・取り扱い企業：ウシオ電機株式会社

タツタ電線製（国内製造）コールドスプレー装置

手動およびロボット操作に対応可能な優れた安定性を誇る低圧型コールドスプ…

タツタ電線製（国内生産）コールドスプレー装置小型で搬送可能な低圧型コールドスプレー【特徴】 ■低温　粉末を固相のまま対象物へ成膜　酸化を抑制した信頼性の高い皮膜形成が可能 ■低圧　対象物へのダメージは小さく小型また薄物にも成膜可能な装置　装置は小型であり容易に導入可能...詳細はタツタ電線株式会社のWebサイトにて閲覧可能です。 https://www.tatsuta.co.jp/n...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

多層膜スパッタリング装置『S600』

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ…

『S600』は、多層・積層成膜プロセスの改善により電子部品の品質強化と生産性向上に貢献する多層膜スパッタリング装置です。高品質・高精度な成膜によりデバイス品質の向上。高スループット、生産歩留り向上、材料利用効率の最適化によりコスト競争力をアップします。多様な成膜条件に対応したオプションにより多品種少量生産、柔軟な生産計画へ対応可能です。【特長】 ■最大5基のカ...

メーカー・取り扱い企業：パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来のレーザー反射計測法と比較して本計測器の計測法は10倍以上の反り測定感度、高速計測周波数(...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

BS series 研究開発用電子ビーム蒸着装置

用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置

日本電子株式会社 BS series 研究開発用電子ビーム蒸着装置は、研究開発や少量生産に適した蒸着装置です。様々なオプション機器が搭載可能で、チャンバー形状やロードロック等、ご要望に合わせて制作します。〇特長・蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択でき、任意に組み合わせて複数台搭載することが可能。・電子銃＋反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社

大村技研株式会社　会社案内＆ウエーハファウンドリー

大村技研の技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連等で採用されていま…

大村技研株式会社はガス関連事業と半導体関連事業が密接に結びついている企業です。各種生産工場（半導体・液晶・食料品・機械）、研究所等が当社の得意なフィールドです。大村技研の技術は、半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連、食品工場、各種製造プラント、薬品研究所、研究機関等、精密性・緻密性・安全性を厳格に求められる多くの業界で採用されています。当社は半導体のフィールドで培った豊富な経験と、信頼のネッ...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

1インチ以下～450ｍｍで提供可能　「CZウェーハ」

1インチ以下～４５０ｍｍまで提供が可能です。各種成膜加工、ＦＺウェーハ…

弊社では、半導体製造装置テスト用のモニターウェーハ・ダミーウェーハ、太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ・ＳＯＩウェーハ・拡散ウェーハなどを取り扱っております。お客様の用途に合わせて適したウェーハをご紹介させていただきます。 CZウェーハは直径1インチ以下から450mmまでご提供が可能です。また貴社でお持ちのウェーハにＥＰＩ成膜を行ったり、SOIウェーハへの加工など...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エナテック東京本社

BS-60610BDS ボンバード蒸着源

ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

日本電子株式会社 BS-60610BDS ボンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことによりハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。〇特長・ライナー大容量化。・ハイレート化・大型装置対応。・厚膜対応。赤外用途への対応も可能・レート安定化・低ダメージ・低欠陥...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社

静電塗布装置『マイクロミストコーター』

静電気力によって液剤をミスト化して機材に成膜する特殊なコーティング装置

『マイクロミストコーター』は、エレクトロスプレーという現象を利用し、液体をミスト化して塗布するスプレーコーティング装置です。金属、カーボン、硝子、蛍光体などの様々な微粒子、超微細な液剤、フィラー分散、スラリー、ペースト等が含まれる液剤、幅広い粘度（数cp～数千cp）の液体に対応できます。静電気力により細かくミスト化した液体が基材に引き寄せられるため、ミストの飛散を最...

メーカー・取り扱い企業：ナガセテクノエンジニアリング株式会社横浜センター

電子材料向け『スリット・表面処理・熱ラミネート』【河村産業】

【技術紹介資料4点進呈】試作から量産までお応えします！材料調達もサポー…

河村産業では、スリット加工を始め、プラズマ表面処理やスパッタリング加工、熱ラミネート加工などを融合することで様々な機能を持つ電子材料を創り出し、提供しています。材料調達を含め、試作から量産まで一貫対応が可能です。小ロット依頼もお問い合わせお待ちしております。【当社の技術】　■スリット加工　約50年の豊富な実績。スリット幅2mm～2,000mmまで対応可。　クリー...

メーカー・取り扱い企業：河村産業株式会社

東北大学技術：高密度プラズマスパッタリング装置：T16-141

基板ダメージが少ない／イオン量とエネルギーを独立制御／磁性体ターゲット…

デバイスの微細化の進展または薄膜結晶の高品質化の要求が高まるにつれて、スパッタリングにおいて基板へのイオンダメージが大きな問題となっている。従来広く利用されているマグネトロンスパッタ法では、ターゲット材と基板の間に直接プラズマを形成するため、「1　イオンダメージの回避が困難」であり、高密度プラズマ生成時にはこの問題が顕著化してしまう。またプラズマ生成のための放電とイオン引き込みを同一の電源で同時に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東北テクノアーチ

RIBER　MBEセル（蒸着源）

MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要で…

分子線を作り出すMBEセルは、エピタキシャル膜の品質（均一性・組成・純度・モフォロジーなど）を左右する最も重要なコンポーネントです。RIBER社では、材料特性や用途に合わせて豊富なラインナップを用意しています。RIBERオリジナル装置のみならず、ありとあらゆるMBE装置の仕様に合わせてカスタマイズ提案が可能です。・標準型クヌーセンセル・ヒ素、リン、アンチモン向けバルブドクラッカーセル ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

汎用生産機『iDS500』

設置環境の静粛性を向上！ダスト対策のオプションもご用意しております！

『iDS500』は、磁場ステアリング方式を利用した新開発アーク蒸発源を搭載し、かつ各コンポーネントを高性能化したことにより、低コスト短サイクルのコーティング処理を可能とした次世代アークイオンプレーティング装置です。真空ポンプをカバー内部に収納することで、設置環境の静粛性を向上。また、アーク蒸発源の荷電部や配線類をカバーで覆い、インターロックを付与することで安全性も向...

メーカー・取り扱い企業：日本アイ・ティ・エフ株式会社

炭化ケイ素（SiC）　セラミックス

SiCは共有結合性が強いセラミックスで、アルミナを上回る硬度があります…

硬度が高いため、摺動摩耗に強い特性も兼ね備えています。　熱伝導率も高いです。　炭化珪素(SiC)は、半導体製造装置やLED製造装置などのチャンバー内部品、エッチング装置用基板トレーや、焼成用治具(コンデンサー他）　などに使われています。　　炭化珪素(SiC)は、耐熱（1,000度以上でも）性や耐薬品性（耐プラズマ性）、耐磨耗熱伝導率の良さ、緻密さ、強度が生かされています。　　こんな使い方は...

メーカー・取り扱い企業：アスザック株式会社ファインセラミックス事業部

BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃

学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます

日本電子株式会社 BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃は、真空チャンバー内に設置し、高密度プラズマを発生させるプラズマ源です。真空蒸着と組み合わせたプラズマアシスト蒸着 (イオンプレーティング) 法により、光学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます。また基板のクリーニングや表面改質にも有効です。〇特長・低電圧・大電流の高密度な直流プラズマにより、ガ...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社

高耐力コーティング　高出力レーザー用コーティング

高出力レーザー用の高耐力コーティングです。

高出力レーザー用コーティングは、高耐力コーティングで、大型装置での加工が可能であるため、量産時にはコストメリットがあります。低温成膜によるファイバー端面へのコーティングもできます。ご希望の波長に応じて、設計、ご提案いたします。【ラインナップ】 ○355nmコーティング ○532nmコーティング ○1064nmコーティング詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロー...

メーカー・取り扱い企業：東海光学株式会社

全長3700mmまで製作可能！スロットダイ　液体塗布を高精度均一

面粗さRa0.03μm、真直度0.002mm/mで、世界屈指の超精密大…

液晶モニター・液晶TV画面の大型化には、レジストなど液体塗布を高精度に均一に行う必要があります。この問題を解決したのが当社の超仕上研削加工技術です。ナノメーター単位で磨き上げられたスロットダイで、これまで実現不可能と思われていた大型液晶画面の量産化に大きく貢献。超精密研削加工技術では他社の追随を許しません。【スロットダイ　特長】長尺ワークをミクロンオーダの平面度...

メーカー・取り扱い企業：東レ・プレシジョン株式会社

面粗さRa0.03μm！スリットダイ　※液体塗布を高精度に均一に

東レのスリットダイは、世界屈指の超精密大型研削盤を駆使し、最高レベルの…

液晶モニター・液晶TV画面の大型化には、レジストなど液体塗布を高精度に均一に行う必要があります。この問題を解決したのが当社の超仕上研削加工技術です。ナノメーター単位で磨き上げられたスリットダイで、これまで実現不可能と思われていた大型液晶画面の量産化に大きく貢献。超精密研削加工技術では他社の追随を許しません。【スリットダイ　特長】・世界屈指の超精密大型研削盤を駆使...

メーカー・取り扱い企業：東レ・プレシジョン株式会社

ＰＶ（太陽電池）各種評価事例集

太陽電池（ＰＶ）の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

PV EXPO2013（国際太陽電池展）展示会にご来場いただけなかった方、MSTブースにお立ち寄りいただけなかった方、もう一度MSTの展示会資料をご覧になりたい方、ぜひご覧ください。太陽電池の研究・開発・製造に必要な部品・材料、装置、セル・モジュールが一堂に出展する展示会『PV EXPO　2013』で使用したパネル資料全6枚のご紹介です。 [掲載内容] 有機薄膜太陽電池の活性層の...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

『燃料電池セパレータ用セルテスコーティング』

航空宇宙・自動車分野の開発を加速。SUS、Ti、Alなど様々な基材に対…

当社では、優れた導電性・耐食性を実現する『燃料電池セパレータ用セルテスコーティング』を提供しています。ステンレス、チタン、アルミなど様々な基材に対応しており、低温から高温環境まで対応可能な航空宇宙向けの金ベースコーティングと、より低コストな自動車向けのカーボンコーティングを提供可能です。【特長】 ■米国・エネルギー省の2020年技術仕様の要件に適合（IA/ピーク、IC...

メーカー・取り扱い企業： HEF DURFERRIT JAPAN株式会社

Coat-Xの技術で生体適合性にも対応できる！

スイス発のCoat-Xは生体適合性にも優れたPPXコーティングが可能！…

スイス発のCoat-X SA社開発の独自技術を用いた通常のPPXコーティングとは違うコーティング！弊社のPPXコーティングは防水、耐水、耐湿、生体適合、絶縁、耐熱性といった様々な外的要因からモノを保護できます。今回はスイスでの実際に取り組んでいる事例をご紹介したいと思います。 Coat-X SAはISO13485の認証を取得、医療装置を取り扱うことに強みを持っています。ス...

メーカー・取り扱い企業：オーエスジー株式会社グループ

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社