電源装置『アーク抑制型HF-HiPIMS用パルス電源 』

【限定5社デモ機受付中】アーク異常放電を抑制し成膜不良を激減！平均電力…

スパッタリングの最大の課題であるアーク異常放電を抑制する機能とHiPIMSの最大の課題である成膜レートを向上させる機能(特許取得済)を備えたHIPIMS用パルス電源です。 弊社独自のHF(High Frequency)モードはHiPIMSの波形の後段にHFパルスを入れることでターゲットのチャージアップをキャンセルし、アークレスな成膜を実現！ アーク異常放電を起こさないことにより平均電力をアップ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

研究開発用スパッタリング装置

高水準な仕様と豊富なオプションで様々な成膜用途に適した研究開発用スパッ…

特長 ■クリーンなサイドスパッタ方式を採用 ■ロードロック式タイプ、バッチ式タイプの2機種をご用意 ■タッチパネルで簡単な操作・成膜条件管理、メンテナンスも容易な装置コンセプト ■設置スペースを取らないコンパクトな装置 ■お客様のご要望・用途に応える豊富なオプション ■低温・高温スパッタにも対応 ■広範囲に分布が良いスパッタ源を標準搭載（±5%以内（SiO2でφ170mm以内）） ...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

ホットミラー：熱の原因となる近赤外光を反射するミラーです。

熱の原因となる近赤外光を反射するミラーです。温度上昇が懸念される投影機…

１）こんなことにお困りではありませんか？ ■光源から発生する近赤外の光で、温度が上昇するのを防ぎたい。 ■投影機や、照明装置などが熱くなってしまう。 ■可視光は透過させ、近赤外（NIR)は反射させたいが可能でしょうか？ ■ミラーの波長帯はカスタマイズ可能でしょうか？ ２）ホットミラーとは ホットミラーは、主に赤外放射により引き起こされる温度上昇が懸念される投影機や、照明装置などへ使...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

多層膜スパッタリング装置『S600』

ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ…

『S600』は、多層・積層成膜プロセスの改善により電子部品の品質強化と 生産性向上に貢献する多層膜スパッタリング装置です。 高品質・高精度な成膜によりデバイス品質の向上。高スループット、 生産歩留り向上、材料利用効率の最適化によりコスト競争力をアップします。 多様な成膜条件に対応したオプションにより多品種少量生産、柔軟な 生産計画へ対応可能です。 【特長】 ■最大5基のカ...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社

コールドミラー：近赤外線を透過し、可視光線を反射するフィルター

線を効率よく透過させ、光源に含まれる熱となる波長を除去することが可能で…

【１】こんなことにお困りではありませんか？ ◆光源から発生する近赤外の光で、温度が上昇するのを防ぎたい。 ◆装置自体が熱くなってしまうため、何とかしたい。 ◆可視光は反射させ、近赤外（NIR)は透過させたいが可能でしょうか？ ◆ミラーの波長帯はカスタマイズ可能でしょうか？ 【２】コールドミラーとは？ コールドミラーは、近赤外線を透過し、可視光線を反射するフィルターです。誘電体多層膜...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

アルミ増反射ミラー：光学センシングに広く活用できる反射率を実現！

反射性能とコストを兼ね備えたミラーをご提供します。 誘電体多層膜を差異…

こんなことにお困りではありませんか？ ■通常のアルミミラーより反射率が高いミラーがほしい。 ■耐久性に優れたミラーが欲しいけど、誘電体で設計可能ですか？ ■入射角の幅があるので、考慮できますか？ ■形状が特殊だけど、部品として出荷可能でしょうか？ 安達新産業株式会社製アルミ増反射ミラーは、誘電体を積層し制御する事で、反射する際の光量の損失が少なく、環境耐久性に優れた性能を実現できます...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました。 2005年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの 一員として、グローバル...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ダイクロイックミラー　異なる波長の光を分離、合成、遮断します。

特定の波長の光を反射し、他の波長の光を透過する持つミラーです。

【１】こんなことにお困りではありませんか？ ◆複数の波長に対して均一な反射率を維持する必要がありますが対応可能ですか？ ◆特定の波長での反射率が低下することがありますが、対処可能ですか？ ◆色の再現性は可能でしょうか？ ◆温度変化や環境条件の変化による光学性能の安定性は問題ありませんか？ ◆形状が特殊だが、部品として出荷可能ですか？ 【２】ダイクロイックミラーとは？ ダイクロイッ...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

1インチ以下～450ｍｍで提供可能　「CZウェーハ」

1インチ以下～４５０ｍｍまで提供が可能です。各種成膜加工、ＦＺウェーハ…

弊社では、半導体製造装置テスト用のモニターウェーハ・ダミーウェーハ、太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ・ＳＯＩウェーハ・拡散ウェーハなどを取り扱っております。 お客様の用途に合わせて適したウェーハをご紹介させていただきます。 CZウェーハは直径1インチ以下から450mmまでご提供が可能です。 また貴社でお持ちのウェーハにＥＰＩ成膜を行ったり、SOIウェーハへの加工など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エナテック 東京本社

お客様のご要望に応じた成膜を真空蒸着やスパッタリングにて提供！

ダイクロイックミラーや反射防止コートなど真空蒸着技術の分野で研究開発を…

当カタログは、主に光学ミラーや光学フィルターを取り扱う 河合光学株式会社の、取扱製品一覧を掲載したカタログです。 2つ以上の波長域の光に分離するダイクロイックミラーや、硝子製品や樹脂 成型品の表面反射率を抑える反射防止コートをはじめ、様々な光学製品を 掲載しております。 【掲載内容】 ■電磁波の名称と波長 ■真空蒸着・スパッタリングのしくみ ■光学膜のしくみ ■反射防止コ...

メーカー・取り扱い企業： 河合光学株式会社

枚葉式スパッタリング装置

電波透過膜を高品質に実現する枚葉式スパッタリング装置です。

特長 ■減衰率の低い電波透過膜（不連続膜） ■枚葉式だから自動化が容易 ■国内トップシェアの実績...先進運転システムに適したミリ波レーダー用エンブレムやドアハンドルの成膜に採用されています。 ご要望・ご予算等どうぞお気軽にご相談ください。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

株式会社イオンテクノセンター　会社案内

イオン注入・成膜・分析の技術と設備をさまざまな分野のイノベーションにつ…

株式会社イオンテクノセンターは、時代の求めるプロフェッショナル 集団として、前身であるイオン工学研究所の事業を引き継いだ形で 誕生いたしました。 特にイオン注入、成膜、分析を中心とした技術と設備を備えた先端の 研究開発を行い、日本を代表する創造的ラボラトリーをめざします。 【事業内容】 ■イオン工学に関する研究開発受託 ■イオン工学に関する装置による金属、セラミックス、半導体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

USTRON株式会社　会社案内

自社生産ならではのスピーディかつ正確な情報を提供可能！各バッチに於いて…

USTRON株式会社は、薄膜材料、石英製品、及びその付属部品について 20数年間の生産経験を持っており、中国にある21,000m2余りの生産工場にて 各種高純度蒸着材料及びスパッタリングターゲット材料等の生産をしています。 厳しい品質管理により、各バッチに於いて安定した成膜を保証。 薄膜技術の生産・研究に専念し、日々発展する業界の中でお客様の信頼できる パートナーとして尽力してい...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

非接触式 抵抗測定器『NC-700』

組込用 非接触（渦電流法）シート抵抗測定モジュール（フィルムサンプル用…

プローブ数）での製作が可能なため、研究開発から 生産ラインまで幅広い用途に対応します。 オフセットフリー仕様のため、測定値がシフトせずに最長24hの連続測定 ができます。 既設の搬送装置や成膜装置などへの取り付けにも対応。 また、お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です。 【特長】 ■インラインタイプ（非接触式） ■組込用測定モジュール ■幅広い用途に対応 ■最長...

メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社

IBSコート付きオプティクス一覧

在庫販売で短納期！全品1個から販売

エドモンド・オプティクスは、業界屈指のVeeco SPECTOR イオンビームスパッタリング装置を自社内に導入し、精密IBSコーティングに 対応しています。 SPECTORプラットフォームの卓越した層厚制御と向上したプロセス安定性は、 コーティングバッチの高い再現性と、設計パラメータ内での一貫した コーティング性能を実現します。 高レーザーフルエンスのアプリケーション用にデザイ...

メーカー・取り扱い企業： エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社