- 製品・サービス
46件 - メーカー・取り扱い企業
企業
25件 - カタログ
71件
-
-
-
卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積（ALD）装置
Arradiance社製卓上型ALD装置 卓上型ながらプラズマユニット…
テーブルトップのコンパクトサイズALD装置ながら原子レベルレイヤーの成膜が可能。プラズマユニットを装備したPEALD装置もございます。 直径200mm、高さ25mmまでの構造物、カーボンナノチューブ（CNT）やグラフェンにも成膜可能。 酸化膜以外にも窒化物、PtやRuの金属の成膜も対応。 4系統のマスフロー制御プラズマ・ガス入力を備えた300W空冷ダイレクトICPプラズマヘッド 最...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイチ・ティー・エル HTL（エイチティーエル）
-
-
-
-
3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…
当製品は、酸化シリコンを成膜する為のCVD装置です。 コンパクトな設計となっており省スペース化を実現。 内面処理は電解研磨、チャンバー材質はSUS316です。 また、3インチウェハ対応となっております。 【特長】 ■酸化シリコンを成膜 ■コンパクトな設計となっており省スペース化を実現 ■3インチウェハ対応 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック
-
-
-
-
有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜しま…
『AD-230LP』は、原子レベルの膜厚制御が可能なALD装置です。 有機金属原料および酸化剤を交互に反応室に供給し、表面反応のみで成膜。 ロードロック室を有し、反応室を大気開放することがないため、再現性に 優れた成膜が可能です。 また、容量結合プラズマ(CCP)方式を採用することで、反応室容積を最小化 しており、ガスのパージ時間を短縮し、1サイクルを高速化します。 【特長...
メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社
-
-
-
-
【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省ス...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
ターゲットにパルスレーザーを照射してナノ粒子を生成させる技術です。基板…
固体ターゲットにパルスレーザーを照射して数nmから数10nmのナノ粒子を生成させる技術です。減圧雰囲気中で基板への成膜、また流動化している粒子に対してのコーティングも可能です。また、任意の溶媒中でナノ粒子の分散したサスペンションを調製することも可能です。金属やセラミックス材料など無機物はもちろんのこと、医薬品、高分子などの有機化合物もレーザー波長や出力の制御により、処理可能です。...【特長】 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良機械製作所
-
-
-
-
簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…
当製品は、高周波加熱コイルの中心に試料ステージ（自動回転機構付き）があり、 外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができるCVD装置です。 サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能。 簡単に試料セットする事ができます。 オプションでチャンバー上部にガス供給系（最大5系統）を設置する事も可能です。 【特長】 ■外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック
-
-
-
-
プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』
引張り～圧縮の応力制御が可能！スペースに合わせて柔軟に設置できます
サムコ株式会社では、プラズマCVD装置である『PD-270STLC／PD-2201LC』を 取り扱っております。 「PD-270STLC」は、上部、中部、底部とカバレッジ性良く成膜が可能。 また「PD-2201LC」は、トレイ搬送による小径ウエハの複数枚同時成膜から、 ウエハ枚葉処理による高均一な成膜まで、お客様の要望に応じて幅広く 対応できます。 【特長】 <PD-27...
メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社
-
-
-
-
真空ドライプロセスよりコストメリットの優れたウエットプロセスでの反射防…
常温・常圧でコート可能なウエットプロセス「交互積層法」での反射防止成膜を是非ご検討下さい。 反射防止成膜プロセスの主流である真空蒸着などのドライプロセスは、真空条件を必要とするためコスト面での負担が大きいプロセスです。 一方、ウエットプロセスの「交互積層法」では、常温・常圧下で2種類の溶液（カチオン・アニオン）に基材を交互に浸漬させて積層する手法のため真空条件を必要としない手法です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エコートプレシジョン
-
-
-
-
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…
ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、目的とする性能の膜をどのように作ればいいのか、お悩みになる方も多いのではないでしょうか。 そこで設計段階でのお悩みの方には、材料選定やレシピ設定、評価方法についてアドバイスをいたします。 ALD法の開発最初期から現在までノウハウの蓄積があるPICOSUNだからこそご提案できるサービスで、技術の導入検討からお客様をサポートいたします。....
メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
-
-
-
-
工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…
当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
アルミ増反射ミラー：光学センシングに広く活用できる反射率を実現！
反射性能とコストを兼ね備えたミラーをご提供します。 誘電体多層膜を差異…
こんなことにお困りではありませんか？ ■通常のアルミミラーより反射率が高いミラーがほしい。 ■耐久性に優れたミラーが欲しいけど、誘電体で設計可能ですか？ ■入射角の幅があるので、考慮できますか？ ■形状が特殊だけど、部品として出荷可能でしょうか？ 安達新産業株式会社製アルミ増反射ミラーは、誘電体を積層し制御する事で、反射する際の光量の損失が少なく、環境耐久性に優れた性能を実現できます...
メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社
-
-
-
-
【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション
真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
実験機として活用したディップコーターへ塗料の循環ユニットと空調設備を追…
実験を終え次のステージへ進むと休眠しがちな実験機に拡張機能を持たせることでお客様へ提案できるサンプル品の作成や小ロッドの生産に対応が可能な設備に変身出来ます。 ディップコーティングなどの塗装実験機で成膜した製品は、往々にして塗工膜外観の乱れからお客様へ提案するサンプル品や実製品へ転用できるケースが少ないことが現実です。 その外観乱れの主な原因であるコンタミを塗工システム内から低減すること...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エコートプレシジョン
-
-
-
-
高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…
電子顕微鏡観察用前処理のための新型オスミウムコーター。 これまで人の手によるオペレーションの難しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス
-
-
-
-
ディップコーター：DC300S2～昇降・傾斜2軸タイプ実験装置～
複雑形状なワークに対して昇降・傾斜機能を用いることで均一な塗工膜の実現…
垂直姿勢の引上げでは液ダマリが起こりやすい複雑形状のワークに対して、昇降中（1軸側：X）に液の流れやすい角度にワークを傾斜させる（2軸側：Y）ことで、液ダマリを防ぎ均一な塗工膜に近づけることが可能な装置です。 ※引上げ後の姿勢により液ダレを起こす高粘度の液には、傾斜機能を利用しワーク姿勢を変えることで液ダレを防ぐ効果も期待できます。 オプションとして、更に1軸追加し傾斜に回転機能を加えるこ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エコートプレシジョン
-
-
-
-
分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…
気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ○流量精度は±1.0%F.S.を保証 ○幅広い流量レンジに対応 ○オプションのバリアブルレンジ機能により、1台で複数の仕様に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所
-
-
-
-
真空ポンプとして開発！冷凍機吐出ガスの高温+50℃を利用して瞬時に+2…
力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを 瞬時に発揮できます。（コールドトラップによる排気作用） 【特長】 ■生産性を30％向上 ■高品質の成膜を保証 ■高温成膜装置に好適 ■液体窒素トラップは不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック
-
-
-
-
ALD（アトミックレイヤーデポジション） アプリケーション例
ALD（アトミックレイヤーデポジション） アプリケーション例を写真付き…
当社では、フィンランド・Picosun社のALD成膜装置を取り扱っております。 ALD (アトミックレイヤーデポジション)は、既存のPVD, CVD,蒸着等の 成膜技術より、段差被覆性に優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、 バリア性が高く膜...
メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社
-
-
-
-
事例集＆カタログ進呈！均一なナノ分散ができる湿式超高圧キャビテーション…
湿式超高圧キャビテーション・ミルの事例集カタログ進呈中です。 超高圧ポンプの加圧によるキャビテーションの効果でコンタミレス・ナノ分散をじづげんします。 事例集にはセラミックス、カーボンナノチューブ、ナノ成膜技術などナノ・スラリーの応用事例が満載です。 【特 長】 ■沈降・分離を長期間防止する安定した混合・乳化・分散が可能。 ■比表面積の増加及び粒子表面の活性化に伴い、反応性、吸着...
メーカー・取り扱い企業： アドバンスト・ナノ・テクノロジィ株式会社
-
-
-
-
扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…
『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9To...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル
-
-
-
-
Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…
「SC-701Mk II ADVANCE」は、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックコンパクトコーターです。 DCスパッタのカテゴリーの内でシリーズ最小の超コンパクトモデルです。 各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。 【特徴】 ○真空計を装備し、成膜条件の再現性を確保 ○スモール、コンパクト＆ハイスペック ○手動式シャッター標準装備...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
-
-
-
-
イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します
TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。...TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コン...
メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社
-
-
-
-
粒子設計・表面改質「ハイブリダイゼーションシステム」(NHS)
乾式で微粒子の表面改質・複合化を短時間で行う装置です。新素材の創製や大…
高速気流中に原料を分散させながら、衝撃力を主体とした力を用いて乾式で微粒子の表面を微粒子で表面改質・複合化する技術です。粒子の表面改質や複合化を行うことにより、従来にはない新規材料の創製や大幅な性能向上をもたらすことが可能です。核となる粒子（母粒子）表面への微粒子（子粒子）の固定化や成膜化を3分程度と極めて短時間で行います。原材料の組み合わせによって非常に幅広い分野で活躍中です。また、不定形粒子の...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良機械製作所
-
-
-
-
高品質な真空をお届けします。
【特徴】 ○大型成膜装置、スペースチャンバー等に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル 16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
-
-
-
-
理化学器具・研究器具へのICFコーティングを承ります。 「1点物の試…
DLC （Diamond‐Like Carbon）はその名の通り、「ダイヤモンドのようなカーボン」で非常に硬く、平滑な表面で摩擦係数が低いうえに、様々な特性を持たせることが出来るようになりました。 トッケンのICFコーティング（DLCに様々な機能を付加したもの）は、抗菌性、抗血栓、低溶血性、耐腐食性、耐薬品性、耐体液性などに非常に優れ、科学的に不活性で安定しており、生物に与える影響がなく、環境に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社トッケン
-
-
-
-
ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算
当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れの...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』
真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
高品質な真空をお届けします。
【特徴】 ○大型成膜装置等の生産装置に最適。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○メンテナンスインターバル 16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
-
-
-
-
真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置
長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…
長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D
「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…
基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
高品質な真空をお届けします。
【特徴】 ○中、大型生産装置に最適です。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○熱負荷に強いタイプ。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
-
