アネスト岩田　真空機器

低振動・低騒音・高効率。クリーンな真空はアネスト岩田にお任せください。

関連機器　など 【特長】 ■真空領域：低真空～高真空 ■低騒音・低振動 ■軽量・コンパクト ■大容量 ■水蒸気吸引 ■RoHS対応　　など 【主な用途】 ■分析装置 ■成膜装置 ■放射光施設 ■ガス循環・回収・置換 ■排気装置 ■乾燥・解凍　　など お客様に最適な機種を選定しますので、お気軽にご相談ください！ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただ...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

クラスター真空成膜・評価装置紹介

測定・研究したい要素をそのまま！お客様のニーズに合致させることが可能な…

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、 サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置 などの分析機を備えた評価室から構成されます。 また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。 試料を真空中でロボット搬送し試料作製から評価までを自動で行います。 尚、すべてのチャンバーは高真空環境で接続させることも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

『FRS-HGシリーズ』は、2源/3源の同時スパッタ機能を搭載した 研究開発用の多源同時マグネトロンスパッタ装置です。 据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計。 成膜ソース導入ポートは3ヶ所用意されており、スパッタリングカソードに 加え、アークプラズマ蒸着源などスパッタリングとの相乗効果が期待できる 成膜ソースを搭載することが可能です。 【特長】 ■据付タイプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました。 2005年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの 一員として、グローバル...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の 卓上型マグネトロンスパッタ装置です。 基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで 構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの 拡張オプションにより、研究ステージに合せて グレードアップしていただくことが可能です。 【特長】 ■初期導入コストを抑え、後の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

USTRON株式会社　会社案内

自社生産ならではのスピーディかつ正確な情報を提供可能！各バッチに於いて…

USTRON株式会社は、薄膜材料、石英製品、及びその付属部品について 20数年間の生産経験を持っており、中国にある21,000m2余りの生産工場にて 各種高純度蒸着材料及びスパッタリングターゲット材料等の生産をしています。 厳しい品質管理により、各バッチに於いて安定した成膜を保証。 薄膜技術の生産・研究に専念し、日々発展する業界の中でお客様の信頼できる パートナーとして尽力してい...

メーカー・取り扱い企業： USTRON株式会社

【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を可能にしました。...TELEMARK製イオンソースシリーズは、 1. 軽量コン...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

自動圧力制御コントローラ『MGCS-11』

簡単で親切なタッチ画面操作！上位システムからの遠隔操作が可能な自動圧力…

『MGCS-11』は、静寂なバルブ動作で安定した制御性を実現した 自動圧力制御コントローラです。 オートチューニングによりPIDパラメータは自動的に素早く最適化。 簡単で親切なタッチ画面操作と上位システムからの遠隔操作が可能です。 成膜、エッチングをはじめとする電子デバイス製造プロセスや真空乾燥、 脱気プロセスの定圧コントロールに適しています。 【特長】 ■電源投入で自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社美幸輝

クライオポンプ　CRYO-U30H

高品質な真空をお届けします。

【特徴】 ○大型成膜装置、スペースチャンバー等に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ　CRYO-U20P

高品質な真空をお届けします。

【特徴】 ○大型成膜装置等の生産装置に最適。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

クライオポンプ　CRYO-U16

高品質な真空をお届けします。

【特徴】 ○中、大型生産装置に最適です。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○熱負荷に強いタイプ。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ　CRYO-U22H

高品質な真空をお届けします。

【特徴】 ○大型成膜装置に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社