応力解析事例　温度サイクル・振動・落下衝撃シミュレーション

問題が発生した製品の一時的な対策だけでなく、次開発品の開発ロスコストの…

因を分析して対策案の提案をさせて頂きます。 「落下・衝撃シミュレーション」では、パッケージ構造を考慮したシミュレーション技術で応力分布をふまえた要因分析を行い、対策案の提案をさせて頂きます。 半導体ベンダと協力関係にある実績より、パッケージ構造を熟知しており、シミュレーションと実測との整合性に活かしています。 シミュレーション、実装、評価、筐体設計の専門エンジニアによる豊富な知見から信頼性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Wave Technology

走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

Scanning Microwave Microscopy

SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。 ・Si デバイスの場合、1015～1020...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ダイナミックマップ『双方向コンバータ（第6版）』

事業化ステージの《攻め》と《守り》の電子版特許調査報告書！

ンバーター」 ■ダイナミックマップ「車載DC-DCコンバーター（国内公開特許）（第2版）」 ■パテントガイドブック「環境とハーベスティングシリーズ」 ■ダイナミックマップ 　「SiCパワー半導体を用いた電力変換回路」 　「GaNパワー半導体を用いた電力変換回路」 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ネオテクノロジー

GaN(窒化ガリウム,ガリウムナイトライド)

次世代パワー半導体デバイスとしても期待されています。

Siと同じ10mΩ・cm2までオン抵抗を下げた時、耐圧は1600Vに達します。 また、青色や緑色といった比較的短い波長の光を発生でき、各種光デバイスにも 使用され、SiCと共に次世代パワー半導体デバイスとしても期待されています。 【特長】 ■シリコンに比べて、バンドギャップが約3倍広い ■絶縁破壊電圧も約10倍 ■耐圧1600V ■青色や緑色といった比較的短い波長の光を発生...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新陽

低温・短時間で硬化！ カーボンニュートラル に貢献する『接着剤』

カーボンニュートラル、低応力接合、ローコスト接合に絶大な効果を発揮する…

日邦産業の接着剤事業は、2021年4月より富士通グループの接着剤事業部を譲り受けております。 当グループで長年培った半導体実装/材料技術を背景に、 「低温環境」で「短時間の接着」と「高寿命化」を実現する 様々な”接着剤（接合材料）”をご用意しております。 低温・短時間接着という特徴により、接着・接合工程の短...

メーカー・取り扱い企業： 日邦産業株式会社

中赤外センサ『InAs,InAsSbセンサ』

Hg、Cd、Pb不使用！専用のTECコントローラ使用で高信頼性の計測が…

Vigo社製中赤外センサ『InAs,InAsSbセンサ』 を取扱っています。 当製品は、将来的にRohSなどの規制対象になることが懸念されている物質を 使用していない、中赤外に感度を持つ半導体型センサです。 常温もしくは電子冷却タイプなので小型で場所を選ばず、 長年培ってきた半導体型赤外センサの製造技術により 電子冷却ながら高感度を実現しています。 【特長】 ■MCT...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム

0.01ｍｍ～のレーザー加工で隙間を埋めるシムリング製作

工作機械メーカー様や半導体関連の企業さまにも納品実績多数！！0.01ｍ…

弊社の薄板加工技術にて0.01ｍｍ～のシムプレート、シムリング製作承っております。素材もＳＵＳ以外にも対応可能です。 工作機械メーカー様や制度を要求させる半導体関連企業様への納品など王品実績も多数ございます。また様々な板厚を用意しているので同形状の板厚違いもまとめて納品が可能です。 特徴 ・バリの少ない精密な加工 ・1点からのオーダーが可能 ・様々な素材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富山プレート

石英ガラス

紫外線から赤外線まで幅広い波長範囲！急激な温度変化にも耐えられる！

高純度と耐熱性が必要とされる半導体製造プロセスは、『石英ガラス』の 重要な応用分野の一つです。 近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、ますます高精度な製品が 求められるようになってきています。 CVD工程や酸化...

メーカー・取り扱い企業： 京浜ラムテック株式会社

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計 バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。 センサ内部を高温に保持し、プロセス副...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（不純物拡散）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い 　その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし 　ミリ秒単位という短時間で今までの...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

【TEM/SEM/EBSD】断面観察及び構造解析に関する事例集1

金属組織観察や相解析などTEM、FE-SEM、EBSD等による断面観察…

当事例集では『断面観察及び構造解析』にかかる事例についてご紹介します。 「線材（ばね材）の金属組織観察」、「2相ステンレスの相解析」、「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」の目的や手法、結果などを含めた分析事例を多数掲載。 他にも、観察や相解析、絶縁膜分析や測定などご紹介しています。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■線材（ばね材）...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

『電子機器の開発設計促進サービス』

予期せぬ開発の遅延でお悩みの企業をサポート。仕様検討から設計・評価まで…

当社では、半導体周辺回路と応用製品の『開発設計促進サービス』を提供しています。 仕様検討から回路設計・基板設計・ソフトウェア設計・筐体設計まで、 幅広い技術領域と柔軟な対応力で電子機器開発をワンストップで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Wave Technology

【加工事例進呈】精密機械加工・板金加工・製缶加工

【医療・半導体・液晶】50台のマシニングセンターを保有する充実の設備体…

工、五軸加工、長尺加工 ■精密板金加工 ・2D・3Dレーザーカット、曲げ加工 ■製缶加工 ・アルゴン溶接・TIG溶接、YAG溶接、鉄、SUS、アルミ ■樹脂精密切削・曲げ・溶接加工 ・半導体関連装置部品、洗浄装置の樹脂巻など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有明技研株式会社

【COTO】超小型・高信頼の面実装リードリレー＊9913シリーズ

【COTO】9913シリーズ　自動試験装置・計測機器・通信機器に適した…

リード SMDパッケージ Coto Technologyは米国ロードアイランド州のノースキングスタウンに本社とリレーの開発研究所をおき、 コイル巻線やリードリレーをはじめガラス管リードスイッチ、半導体リレー、 TMR技術をベースにした磁気センサーなどの分野で製品の設計・開発・製造を行うメーカーです。 Cotoは今日、リレー、スイッチ、センサーの製造に特化して、小型スイッチを使用した自動試験機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セイワ 東京本社、関西支社、名古屋営業所、中国無錫　　グループ会社　エレクトロン（長野県松本市）

ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』

ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』

紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○熱容量が小さく、3000K以上のフィラメントから照射される 　輻射光により、高温/急速昇降温といった加熱特性に優れた熱源 ○半導体や耐用電池の熱処理プロセスにおいて 　酸化膜形成、不純物拡散、シリサイド形成、電極焼成など 　多くの工程で使用される ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。伝統と豊富な実績...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

弘前大学技術：暗所下でも作用する新規光触媒：K23-026

暗所下での過酸化水素の酸化が可能

取り組む中で、有機p-n接合体がチオールの酸化に対して, 暗所下でも触媒として作⽤(＝デュアルキャタリシス) することを⾒い出した［1］。さらに, 鋭意研究を進めた結果, 有機p-n接合体中のp型半導体(FePc)が過酸化水素の存在下で酸化分解されることにより, その場で過酸化水素に対する助触媒を生じ, 結果として, 有機n型半導体によるデュアルキャタリシスの発現を見いだした。 　デュアルキャタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

【NANA270導入事例】製造ラインのペーパーレス化

ディスプレイタグを取り付け、内容物の情報を表示！4ライン分の紙削減を実…

自動車業界（半導体）にディスプレイタグNFCタイプ『NANA270』を 導入した事例をご紹介します。 目的は、ライン投入時の紙の発行工数の削減。工場のラインにてトレイに ディスプレイタグを取り付け、内容物...

メーカー・取り扱い企業： 高圧ガス工業株式会社

【応用事例】干渉分光　レーザ

幅広い選択肢！NPRO技術を搭載したMephistoレーザで、ノイズを…

コヒレント・ジャパン株式会社は、LIGO重力波干渉計の心臓部にある シードレーザのイノベーターの技術を活用しています。 LD励起固体レーザ、NPRO、光励起半導体レーザ(OPSL)、さらにイオンレーザに 基づく低ノイズの単一周波数製品の完全なポートフォリオから選択して、 すべての干渉計用途に適合。 ディレーティング電流で動作する半導体レーザとモノ...

メーカー・取り扱い企業： コヒレント・ジャパン株式会社 本社、大阪支店、厚木TEC

様々な分野で利用実績！赤外線ハロゲンヒータの用途

樹脂成形分野や半導体分野など！金型予備加熱や真空前水分除去に使用可能

『赤外線ハロゲンヒータ』は、優れた特性を活かして、樹脂成形分野をはじめ 自動車分野やPV分野、半導体分野など、さまざまな分野で利用されています。 シリコンやガラス、鋼鈑や炭素繊維などを加熱することが可能。 樹脂成形分野では、加熱対象はPET材や非球面レンズで、金型予備加熱や ペット...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

プラズマエッチャーチラー　NIKOLA3K/5K

フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー　半導体製造工程のプラズマエ…

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

ファインセラミックスの一貫生産＜素材選定から成形、加工まで対応＞

耐摩耗性・耐熱性・耐薬品性などに優れた次代を担うファインセラミックスを…

ファインセラミックスとは？ 耐摩耗性・耐熱性・耐薬品性などに優れ、高靭性・高剛性などの特長を有している、高機能材料です。 精密レンズ成形、電子部品、金属、工業用刃物などの高温熱処理治具や、 半導体装置、ヒーター部品、レーザー部品などの断熱絶縁部品といったものに使用されています。 当社では、素材選定→成形→加工→焼成→加工と一貫製造で、短納期に商品をお届け。 ◎PDFダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 大光炉材株式会社 新素材統括部

【事例紹介】液体の保温・加熱

【事例紹介】液体の保温・加熱

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄 　液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される 　純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた 　ハロ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

株式会社アイズ　エンジニアリング事業部　事業紹介

消耗部品の販売から技術者派遣まで！トータルソリューションパートナーを目…

株式会社アイズのエンジニアリング事業部では、チラーユニットの製造・販売、 メンテンナス、部品調達関連分野での人員確保などエンジニアリング集団として 各種サポートを行っています。 半導体・パネル製造に関わる装置、部品の古物の取り扱いでは、各種中古装置、 中古部品を国内外で調査致します。 また、各種コーティング（アルマイト・イットリア）の再生・新規も可能です。 ご希望の製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイズ ファクトリーオートメーション事業部

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例（加熱/成膜）のご紹介です 【特徴】 ○使用光源：ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける 　金属膜、絶縁膜の形成に用いられる 　CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

東北大学技術：光スピンデバイス：T20-546

磁気情報を不揮発的に保持し、低い消費電力で高速動作が可能

現在、情報化社会の発展に伴い、メモリの記録密度のさらなる向上が求められている。情報を長時間にわたり不揮発的に記録できる磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)は、半導体メモリに代わる次世代メモリとしての応用が期待されている。しかし、電力消費、動作速度、信号遅延などの面で、半導体メモリより劣っている上、光情報技術との親和性が低いという課題がある。 本発明によって...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は 　焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用 ○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において 　長年実績を積んだ長尺ヒータは 　各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

『ピエゾアクチュエーター・ステージ』

高パワーの高電圧ピエゾも多数ご用意！研究用途など数多く用いられています

ゾアクチュエーター・ステージ』は、オーテックスが取り扱う PIEZO SYSTEM JENA社の製品です。 ピエゾシステムイエナで作り出される商品群は、高精度・高剛性を誇り 研究用途から半導体装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に 数多く用いられています。 小型3軸ステージから多軸大型ステージまで、ピエゾ素子とメカニカルステージの 組み合わせの妙により作り出されるナノポジショ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

ECシリーズ 協働ロボット『EC616』

パレタイジングからマシンテンディング、溶接など、幅広いアプリケーション…

ECシリーズのラインアップの中で 最も強力で、最も優れた荷重/重量比を持つ協働ロボットです。 パレタイジングからマシンテンディング、溶接など、幅広いアプリケーションに好適。 とりわけ半導体産業などでの利用に好適なソリューションです。 【特長】 ■優れた荷重/重量比 ■パレタイジングからマシンテンディング、溶接など、幅広いアプリケーションに好適 ■半導体産業などでの利用に...

メーカー・取り扱い企業： Elite Robot Japan株式会社

応力シミュレーションサービス（解析）振動、衝撃、落下、耐久

製品の温度サイクル試験の問題で対応に追われていませんか？ （解析）振…

を考慮した シミュレーションで寿命の予測を行い、信頼に向けた改善案を提案します。 また、振動シミュレーションでは、輸送・動作時の振動による問題を解決し、 落下・衝撃シミュレーションでは、半導体部品接続部の落下衝撃における 問題を解決します。 【特長】 ■パッケージ構造を考慮したモデルで、温度サイクル試験における寿命の改善 ■追加試作・評価で発生する100万円単位のロスコスト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Wave Technology

小径レンズ研削機『SPM-10』

スムーズな加工をアシスト！微小光学部品の高性能研削機をご紹介！

NC制御による小径球面レンズの CG・精研削加工機です。 ツールスピンドルの回転数Max100,000rpmまでの高速回転により、 小径レンズのスムーズな加工をアシスト。 内視鏡、半導体、自動車業界で必要とされる小径レンズに対応します。 【特長】 ■微小光学部品の高性能研削機 ■球面：φ1mm以下～φ10mm、非球面：φ7mm～12mm ■小径レンズのスムーズな加工を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マブチ・エスアンドティー

【活用事例】液ダレゼロ＆誤接続防止機構で接続ミスもゼロに

フッ素系不活性液体の配管の接続箇所で液ダレをゼロにした事例をご紹介しま…

半導体業界で使用される一般的な継手を使用していましたが、年1回の 装置メンテナンス時の配管切り離し時に液ダレがあり、エンドユーザーである 半導体メーカーからメンテナンス時においても、配管の切り離し時には フッ素系不活性液体を外に漏らさないよう強い要望を受けていました。 そこで、当社の「液ダレしないカップリング」を採用。 現在使用中の継手と同等以上の気密性を維持しながらワンタッチで着脱が...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社 （旧社名：株式会社ソルトン）

ヒートスプレッダ低熱膨張高熱伝導材『WEL-Therm』

Mo、Wなどのレアメタルを使用しないため低価格！全金属製のため高い靭性…

『WEL-Therm』は、全金属製のため高い靭性を確保した特許取得済の ヒートスプレッダ低熱膨張高熱伝導材です。 「半導体パワーデバイス」をはじめ、「IGBT等パワーモジュール」や、 「半導体製造装置」などで適用可能。 Mo、Wなどのレアメタルを使用しないため低価格です。 【特長】 ■特許取得済 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社WELCON 本社

FA機器

FA機器

半導体関連をはじめ、FPD、電子部品、医療、食品など、製造業の幅広い分野に対応したFA機器を 展開しています。生産現場の生産性向上、自動化、省人化、品質向上、歩留まり向上、安全性向上、 環境対策といったニーズを的確に捕らえ、お客様の利益を生み出すFA機器を提供します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 長州産業株式会社

特殊炭素製品　放電加工用（EDM用）

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

あり、より精密性が要求される分野、スピーカーや携帯電話用金型等に広く使用されています。 ○Ellor +50 　超精密加工用であり、高度な表面仕上げを要する分野で広く使用されており、 　特に半導体、端子金型に使用されています。 ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

【開発事例】タイミング発生装置

紫外線露光装置2台を同時に、高速高精度に制御できる装置を開発した事例を…

協立電機株式会社 技術開発部の『タイミング発生装置』の開発事例を ご紹介いたします。 当社では、「半導体生産設備用の紫外線露光装置2台を同時に、 高速高精度に制御できる基板が欲しい」との依頼を受けました。 そこで、紫外線発生装置2台へ与えるシグナルパルス発生装置を開発しました。 【事例...

メーカー・取り扱い企業： 協立電機株式会社

『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈

高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に…

スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○高速の開閉機能 ○高温下でも安定した流量を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

熱源 「加熱用ハロゲンランプ」

赤外線ハロゲンランプは近赤外線域にピーク波長を持つ、極めて高効率な熱源…

赤外線ハロゲンランプは近赤外線域にピーク波長を持つ、極めて高効率な熱源です。 半導体製造の他、各種成膜工程の熱源として使用されます。 半導体製造工程での使用に適した制御性の良いクリーンな熱源です。 【特徴】 ○高効率・省エネ ○素早いレスポンス 詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 岩崎電気株式会社 光・環境事業部

世界の超解像顕微鏡（SRM）市場調査資料（～2027）

グローバルにおける超解像顕微鏡（SRM）市場（～2027）：技術別、用…

FPALM）、光活性局在顕微鏡（PALM）、誘導放出抑制（STED）顕微鏡法、確率的光学再構成顕微鏡（STORM）、構造化照明顕微鏡（SIM））、用途別分析（生命科学、材料科学、ナノテクノロジー、半導体）、地域別分析（南北アメリカ、アメリカ、カナダ、ブラジル、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、台湾、ヨーロッパ/中東/アフリカ、イギリス、ドイツ、フランス、ロシア、その他）、競争状況、企業情報...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター

『シリコンカーバイド』

幅広い分野で応用可能！高硬度で耐久性に優れたシリコンカーバイド

シリコンカーバイド 』は、石油製品の販売、石油化学製品の製造・加工・ 販売などを行う、中国精油株式会社の取り扱い製品です。 当製品は、高硬度で耐久性（耐熱性、耐薬品性等）に優れており、 半導体性も有することから、幅広い分野で応用可能な素材です。 評価用のサンプルも送付可能となっておりますので、ご興味がありましたら、 お問い合わせください。 【特長】 ■高硬度 ■耐久性...

メーカー・取り扱い企業： 中国精油株式会社

CdS Nanocrystals

量子ドット/硫化カドミウムナノ結晶

硫化カドミウムナノ結晶は量子ドットとしても良くしられている単結晶半導体ナノ粒子です。これらの量子ドットの独自性は、粒子のサイズにより光学、電気特性が異なり、柔軟なプロセス可能性によってもたらされます。これらの量子ドットのサイズは2～7ナノメーターで、紫外域から青色の...

メーカー・取り扱い企業： オプトシリウス株式会社

『切削加工品』

パッキン・ガスケット・軸受けなどの機械加工部品をラインアップ！

形状に切削加工した製品を取り扱っています。 耐熱性、耐薬品性、非粘着性を持つ部品として幅広い分野で使用されています。 「洗浄装置部品」をはじめ、「配管部品」や「食品加工関連品」、 「半導体製造装置用部品」などの加工実績がございます。 【加工実績】 ■洗浄装置部品 ■配管部品 ■食品加工関連品 ■半導体製造装置用部品 ■ベローズ ■パッキン ■ボール ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 中興化成工業株式会社 本社

高精度絶対圧真空計

高精度絶対圧真空計

MKSの製品は、半導体・液晶パネルを始めとする、先進技術を用いて製造される様々な製品の製造プロセスで活躍しています。 特に現在のハイテク電子製品に使われている半導体デバイスの製造に必要とされるプロセスを「Cont...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

東北大学技術：ＡｌＮ膜を有する基板および製造方法：T13-034

安価なサファイヤ基板上に、“超高品質”な窒化アルミニウム膜を作製可能！…

光素子は、蛍光灯の代替、高密度ＤＶＤ、生化学用レーザ、光触媒による公害物質の分解、Ｈｅ－Ｃｄレーザ、水銀灯の代替など、次世代の光源として幅広く注目されている。 この紫外発光素子は、ワイドギャップ半導体と呼ばれるＡｌＧａＮ系窒化物半導体からなり、サファイアなどの異種基板上に積層される。一方、サファイア上に成長したＡｌＮ膜には多数の貫通転位が存在し品質が悪いといった課題があった。 　本発明は、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

研磨補助材『研磨パッド』

半導体材料、金属、ガラス等の超精密研磨用に特化した研磨補助材です

『研磨パッド』は、シリコンウェハーをはじめ、さまざまな半導体材料、 金属、ガラス等の超精密研磨用に特化した研磨補助材です。 スクラッチフリー、ヘイズフリーで、無欠陥、高精度、高平坦度の 仕上げ面が研磨パッドを使用することで容易にコントロールできま...

メーカー・取り扱い企業： ナガセ研磨機材株式会社 本社