撹拌機「AJITER」×水圧モータ「NADS」

PR水の力で撹拌機を動かす！エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わない…

水道水を作動流にするNADSの水圧モータを使用した撹拌機です。 エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わないので環境に配慮した 安全・安心な撹拌機です。 【NADSとは？】 NADSはNACOL株式会社の新・水圧技術（ADS: Aqua Drive System）を 使用したポンプやモータ、リリーフ弁、ソレノイドバルブ等を展開する シリーズ。空圧や電気駆動では難しかった高性能な駆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島崎エンジニアリング 本社

【デモ機あり】 粉体溶解機 / 粉末溶解ポンプ

PR様々な粉体を液体中に分散・溶解が可能！　ダマや溶け残りなし・短時間処理…

粉体の液体中への分散・溶解というと、タンク内の大型撹拌機で攪拌（撹拌）する、もしくはハンドミキサーで小容量の攪拌（撹拌）を何回も繰り返す、というのが一般的かと思います。ただ、これらの方法ではダマや粉体の溶け残り、処理時間が遅い、作業者に負担がかかるなど、お悩みはありませんか？ 弊社の粉体溶解機を使用すれば粉体投入口が腰の位置にあるため、作業者の負担が軽減され効率的な作業が可能です。また、短時間で...

メーカー・取り扱い企業： 関西乳機株式会社

【導電性・熱伝導性・絶縁性】エポキシ接着剤『EPO-TEK』

高品質なエポキシ接着剤『EPO-TEK』シリーズ【導電性・絶縁性・熱伝…

世界の先進産業向けに高品質のエポキシ接着剤を供給するエポキシテクノロジー社のEPO-TEKシリーズ 半導体、航空宇宙、光電子工学をはじめとする様々な市場に対して、多様なエポキシ接着剤を取り揃えています。 ●詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 室町ケミカル株式会社 化学品事業部

アプリケーション例『 ウェットプロセス』

ケミカルリキッドのハンドリングに最適なバルブをご提案

ウェットプロセスとは生産システムの中で液体,特にケミカルリキッドを施用する工程を指し,半導体製造のコアとなる工程です。 GEMÜ製品は接液部がPTFEまたはPFAによってできており,腐食性ケミカルに影響を受けない高い耐薬品性を持ちます。 また,省スペース,フレキシブルでコンパ...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

システム【静止型ミキサー】混合君・分散君

混合・分散を効率良くコンパクトに実現、 製造プロセスの未来に無限の可…

配管に接続し、化学や食品、医薬品などの製造工程で気体や液体の混合・分散を効率よく行う部品です。また、半導体製造設備に設置すると、製造に使うガスを昇温させ、ウエハーを温めておくことが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

【資料】据置版アルキラーPlus ご提案書

自分専用のマウスピースで検知！ご利用イメージや導入メリットをご紹介！

当資料は、拠点での検知データも出先での検知データも一元管理ができる 『据置版アルキラーPlus』のご提案書です。 モバイル版(半導体式センサー)をはじめ、モバイル版(電気化学式センサー)、 据置版の「検知器比較」について掲載。 この他にも、「導入メリット」についても詳しくご紹介しております。 ぜひ、ご一読ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パイ・アール

OEM受託サービスのご案内

創業より一貫した品質を追求しメーカー様のご期待に応えます

はじめ、 お客様の多様なニーズに合わせたご提案をさせて頂きます。 各種化学品のブレンド、小分けも承っています。 小ロット、小容量でもお気軽にお問い合わせください。 【取扱製品】 半導体関連薬品 水処理関連薬品 教材関連薬品 RC燃料・RC用品 特殊塗料 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 東新化成株式会社

【技術資料】低真空SEM(接着界面の観察・評価)

真空蒸着などのコーティング処理を必要としない低真空SEMの観察・評価分…

当社では、分析ソリューション事業を行っています。 低真空SENでは、試料の前処理として真空蒸着などの コーティング処理(前処理)を必要としません。 絶縁体や半導体、食品などの試料でもコーティング処理なく 低真空SEM観察後は、そのまま他の分析に供することが可能です。 【掲載内容】 ■概要 ■分析事例 ・接着界面の観察・評価 ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： 日鉄環境株式会社 分析ソリューション事業部・営業部

R巾木サンプル配布中！食品工場やクリーンルームに好適！

【サンプル配布中】食品工場や半導体製造工場など、クリーンルームに好適な…

巾木にRをつけることにより、埃が溜まりやすい床の隅を清掃しやすくします。徹底的な衛生管理を求められる食品工場やクリーンルーム等に好適です。 【特長】 ■後付け施工で簡単に取付可能 ■出入隅や端部ふさぎも充実のラインナップ ■標準在庫品なので短納期に対応 ※サンプルをご希望の方は、「サンプル希望」と明記下さい。 ※「各種R巾木」のカタログは、ダウンロードからPDFデータをご覧下さ...

メーカー・取り扱い企業： サンワイズ株式会社 本社

特殊炭素製品　連続鋳造用

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

連続鋳造に使用するグラファイト・ダイス・モールド用として、鋳造する合金と半製品の形状に合わせて、より適した材料グレードを選択できます。...【特徴】 ○卓越した長寿命と安全性で好評を博しています。 ○鋳造する合金と半製品の形状に合わせて、より適した材料グレードを選択できます。 ○鋳造合金の種類 　ねずみ鋳鉄　ダクタイル鋳鉄 　真鍮 (Cu-Zn) 　ブロンズ 　りん青銅 　洋白 (...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

＝事例＝　TMロボットの産業への活用 ～品質検査～

【ロボットパッケージ事例】全自動品質検査をスピーディに実現！製品品質を…

実現します。 製品品質を確保するとともに、人的エラーによる検査漏れを回避。 テックマンのロボットは、複数の業界や用途に適用できる協働ロボットと スマートソフトウェアを提供しています。半導体、電子機器、プラスチック、 金属製造などの産業では、産業オートメーションが活用されてきました。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レステックス

東北大学技術：超高熱流束冷却システム：T07-149

噴霧開始からわずか4秒で105W/m2レベルの超高熱流束が可能です。

次世代の半導体部品やコンピュータチップに発生する局所熱流束は106W/ｍ2を超え、総パワーは300Wに達し原子炉内の発熱密度をも越えようとしている。発生した熱を効果的に冷却管理することが望まれているが有効な冷却...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

【資料】「3D検査・計測でできること」～画像処理でお悩みの方へ～

画像処理・外観検査に携わる方必見！3Dマシンビジョンでできること、その…

当社では、高精度画像処理・外観検査ソフトウェアを扱っています。 「光切断法」の原理を利用したカメラで3D検査を行っており、物流・バッケージ、自動車・航空宇宙、半導体・IC、金属・加工、樹脂・セラミックス・フィルムなど多くの業界、 また、医療・製薬、農業・食品などの多くの分野でご採用いただいています。 本資料では、3Dマシンビジョンでできること、その仕...

メーカー・取り扱い企業： テクニカルシステム株式会社 本社事務所

フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

当社施工実績の一部をご紹介。フッ素コーティング施工事例2　各種工業製品

【製品の特長】 ○ゴムやプラスチック成型金型、繊維機械の各種ロールやシリンダー、化学工業の薬品貯蔵タンクや配管 ○半導体関連では、各種チャンバー、ウエハーチャック、バキュームプレートなどの製品に、 　フッ素樹脂コーティングは必要とされています。 ○糊受タンク、分岐バルブ、湿布製造部品 ○加圧タンク、純水ラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YMM コーティング事業部

フッ化カルシウム汚泥で困った

排水処理でよくある課題とその解決策についてコラム形式でご紹介！

半導体工場や液晶ガラス加工工場では、排水処理は製造プロセスの 重要な一部を占めています。 製造プロセスはもちろんですが、排水処理が止まってしまったときも、 工場の大事な人員が作業に駆り出されるからです。 そこで今回は、この排水処理でよくある課題とその解決策について ご紹介します。 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 　詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社みつわポンプ製作所

EH32-F5200/EH36-F3200YC

特製カバーで高輝度を実現！国際規格CISPR15適合、CISPR11.…

『EH32-F5200/EH36-F3200YC』は、半導体工場向きの UVカット高輝度ベースライトです。 完全フリッカーレス、発光均一で目に優しい設計を実現。 取付簡単で、シームレスな連結構造になっています。 ご用命の際は当社へお気軽にご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電費半分 本社、埼玉営業所

オプトメカニック 「siskiyou」

ミラー波面の歪みを低減させるオプティクスクリップ誕生！

光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。 【ラインナップ】 ○IXF.50cM ○IXF1.0cM ○IXF2.0cM 詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

結晶欠陥分析装置(非接触、非破壊式)

結晶欠陥分析装置 SIRM-300は、非接触、非破壊にて結晶欠陥測定が可能な光学測定器です。 様々なバルク特性解析(バルク/半導体ウェハーの表面付近の酸素、金属　堆積物、空乏層、積層欠陥、スリップライン、転位)が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

UHV Cleaned Aluminum（アルミホイル）

パーティクルフリーでオイルフリー！ハンドリングしやすい1本10m巻のア…

当製品は、パーティクルフリー、オイルフリーのアルミホイルです。 クリーンルーム内での精密部品、半導体製造装置の梱包、養生並びに 真空装置内の防着板、マスキングシート、熱シールド等に好適。 パーティクル発生数が低く、ハンドリングしやすい1本10m巻きです。 【仕様】 ■厚さ：0.0...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アークステーション

システム【切替弁】Stream Switching System

流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。

みを分析機に供給し、 　閉時に内部に残る不要なガスを排出します。 2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。 3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。 4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、 　200万回以上の高耐久化を実現。 5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能を実現。 　貴重なサンプリングガスを無駄にしません。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

米粒サイズの小さな部品

全長１mm。横穴1mm。微細加工をお求めの方へ。

≪松井製作所の特徴≫ １．創業約70年の歴史の中で、ガス器具、空調機器、半導体、医療機器、厨房機器など数多くの業界に携わってきました。 ２．熱間鍛造⇒切削加工⇒ろう付け⇒組立といった一貫生産が自社内で可能です。 ３．大阪、鳥取、中国（江蘇省）の3拠点の工場を保有。中国生...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松井製作所

コストダウンは安定性で選ぶ。フッ素含有処理設備編

原水槽から反応槽へF系排水を移送する際の課題とその解決策についてご紹介…

半導体工場や液晶ガラス加工工場で行われるエッチングプロセスでは、 排水処理が重要な工程の一つとなっています。 とくに原水槽から反応槽へF系排水を移送する際には、いくつか特有の 課題が存在します。 今回は、この工程における課題とその解決策についてご紹介します。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 　詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社みつわポンプ製作所

真空機器用フィールドスルーを海外調達から国内調達へ切り替え

真空装置・半導体装置メーカーの方向け。自社でメタライズ～ろう付けまで可…

海外から調達している真空機器用フィールドスルーを、BCPの観点から国内調達に切り替えたいというご相談をいただきます。 当社ではメタライズ～ろう付けまで自社で行うため、外注への輸送手番に掛かる日数が不要。 海外調達に比べ安定かつ短納期での調達が可能です。 【特長】 めっき加工も自社で行っています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 富士通特機コンポーネント株式会社 本社

配管部品　真空配管類

真空配管を素材から切削加工、TIG溶接組付け一貫製作いたします。

当社では、半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管を、素材(SUS304～SUS316L)から切削加工、TIG溶接組付け一貫製作いたします。1本、1個からご注文承ります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社

ウエハホットチャック　PH101

小型ウエハチャック、高精度制御！！室温-200℃まで！

半導体ウエハの加熱プロセスに。 各種評価用テーブルとして、お手持ちに装置にインターフェースを合わせます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

ポリシリコン人工鉱石 （ナゲット）

天然珪石が原料。テラヘルツ波発信の新素材、性能を応用し多分野で活躍 …

純度はＮで表され、99.999の5Ｎクラスから99.999999999の11Ｎクラスまであります 最高純度のものはソーラーパネル原料や半導体原料にもなります 当社は全てのグレードを取り扱っております...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社M．I．T 大阪本社

ステンレス フレーム SUS HL仕上げ

大物のステンレスSUSフレームもきれいに精度良く仕上げます。

大物のステンレスSUSフレームもきれいに精度良く仕上げます。オガタ・エスメックでは、開発段階の困難なご相談に応える、高度なモノづくりが可能です。薬品・食品・液晶・半導体などの製造装置関連や、クリーンルームの設備部品、自動車部品・特殊車両などに実績があります。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オガタ・エスメック

【技術資料】-LIBの分析-ESCAによるMn価数解析

市販のマンガン酸リチウムを用いて、Mn価数を解析した事例などをご紹介

【適用分野】 ■電池・半導体材料 ■フラットパネルディスプレイ ■その他無機製品 ■その他有機製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東ソー分析センター

【イオンクロマトグラフ】H2O2中トリメチルアミンと標準陽イオン

半導体製造向け過酸化水素トリメチルアミンと標準陽イオンの測定をイオンク…

当資料では、イオンクロマトグラフィーにより、30％の過酸化水素（H2O2）中のトリメチルアミン（TMA）および標準陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。 分析にはマトリックス除去を伴うインライン濃縮（MiPCT-ME）を用いて、 陽イオンの連続サプレッション後電気電導度検出器により測定。 「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。 【掲載内容】 ■カラ...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社 本社

傷のトラブルを解決するKTFF！(自動溶接継手)

イハラはあたり前の『とある事』を少し工夫して 手を傷つけない、ヒータ…

半導体製造装置を組む際に 『ガス配管で手や手袋を傷つけて危ないよ』 『ガス配管にヒーターを巻き付けると破けたりする』 という声を良くお聞きします。 そこでイハラでその問題を解決できないか 『手を傷つける原因はなにか？』 その結果、手を傷つけない自動溶接継手KTFFをつくりました。 作り方から変えたので、 手や手袋を傷つけない、ヒーターが破けるなどの傷トラブルを削減できました ...

メーカー・取り扱い企業： イハラサイエンス株式会社

サスペンションキャスター

凸凹路面での振動や衝撃を吸収！2種類のバネを用意しております

当社で取り扱っている「サスペンションキャスター」について ご紹介いたします。 振動や衝撃をきらう精密機器や部品・半導体関連等の クリーンルー厶での使用に好適。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■CT 100/100S ■CT 100N/100NS ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

石英ガラス精密加工品

すべての材料を1個から！最高の品質管理で！

研磨、穴開け、丸め、溝切り、溶接、レーザー等のガラス加工技術を総合的に駆使し、あらゆる複雑な形状の製品のご注文、ご相談を承ります。 使用例には、半導体用／エレクトロニクス用ガラス治具、ガラス部品等があります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アトック

・日本エム・ケー・エス株式会社『製品案内』

幅広い分野のための”インテグレーテッド”ソリューションを提供いたします…

半導体やFPD製造を始めとする様々な製造プロセスに用いられるガスの、測定・制御・分析を行う機器・コンポーネンツ・サブシステムの開発・製造・供給、また反応性ガス発生器や電源の開発・製造・供給を行っている日本エム・ケー・エス株式会社のご紹介です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

超純水装置

完全オーダーメード！！高品質水・省スペース・環境負荷の低減などに対応！…

環運転を行い、滞留水による水質の低下を防ぐ ■装置起動時の立ち上がりが早く、超純水を素早く供給する事が可能 ■システム　機器などのオプションにたいして予め考慮した設計をすることが可能 ■主に半導体製造やレンズ製造おける精密洗浄・医製薬製造・化粧品製造・ 　 バイオ研究等の装置として広く利用されている □その他詳細についは弊社ホームページをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 伸栄化学産業株式会社

『最大65WPD対応急速充電器』ZU65PYJP

3台充電を可能にした急速充電アダプターです！

■特長 ・次世代半導体GaN（窒化ガリウム）を採用。小型で軽量、丈夫で壊れにくいメリットがあります。 ・多重保護システムで大切なデバイスを守ります。 ・従来品より約30％コンパクト化に成功。 ・3つのポートで同時...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社高昇

Embedded Linux プロフェッショナルサービス

豊富な経験を元にオープンソース特有の要求に適した各種支援サービスを提供…

大阪エヌデーエスの強みであるLinuxを中心とした高度なオープンソースのコア技術を活かし、大手半導体メーカー・自動車／電装メーカー各社とのアライアンス構築による共同企画、開発を主導し、ソフトウェアの開発だけでなく、長期メンテナンスサポートサービスを行います。 エンベデッド・エンタープライズ連携...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪エヌデーエス

アルコールセンサー　M85C-211T

呼気中のアルコール濃度を0.01mg単位で高精度に表示

【特徴】 ○測定方法：半導体ガスセンサー ○表示方法：LCD表示 ○測定範囲：0.05〜1.00mg ○最小単位：0.01mg/L単位 ○使用温度：5〜35℃ ○保管温度：-10〜50℃ ○電源：DC3V　アルカ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

【プロセス分析計 技術資料】ウェハ用洗浄槽の品質管理

ウェハ用洗浄槽の水酸化アンモニウム、過酸化水素、塩酸の同時分析をインラ…

半導体メーカーではクリーンルーム内のウェットベンチで標準的な洗浄工程を行い、環境を管理し、さらなる汚染を防いでいます。しかし、このような環境では分析装置を設置するためのスペースが非常に限定的であることが一般的です。 試薬を使わず、より安全で効率的、かつ迅速に洗浄液の主要パラメータを同時にモニタリングするには近赤外分光法（NIRS）によるインライン分析が有効です。 オンライン分析計　プロセス分析計　イ...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社 本社

石英ガラス管・石英ガラス棒（東ソークォーツ社製）

石英ガラスのパイオニアである東ソークオーツ社の製品です。

■旧・東芝規格相当の石英ガラス管がラインナップされています。 ■耐熱性・耐薬品性に優れ、半導体製造用治具や実験器具に使用されています。...

メーカー・取り扱い企業： 富士理化工業株式会社

特殊炭素製品　膨張黒鉛シートPAPYEX(R)

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

CARBONE LORRAINE社の膨張黒鉛シートPAPYEXR(R)には自己潤滑性があり、また摩擦係数の低い素材です。...【特徴】 ○最大密度2.25まで圧縮することができます。 ○広範囲の温度領域で使用できます。（－196℃から2500℃まで） ○カットが容易で、加工性に優れています。 ○最大寸法：1,500mm×1,500mm ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

オンラインTOC計 Sievers M500e型

半導体産業など純水や超純水中の極低濃度域のTOCを連続モニター！　無試…

●ガス透過膜式導電率測定方式で妨害イオンを除去 ●無試薬測定のためランニングコストを大幅に削減 ●分析時間を最大50％短縮（旧モデルと比較） Sievers 500RLe型の後継機種です。 正確性、効率性を向上させ、安定した超純水（UPW）の生産をサポートします。...測定範囲：0.03 ～ 2,500 ppb TOC 正確性：測定値に対して± 5%、±0.1 ppb 精度：測定値...

メーカー・取り扱い企業： セントラル科学株式会社

特殊炭素製品　フェルト

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

高温用断熱材として利用されますと優れた特性を発揮します。...【特徴】 ○フェルトの種類には、グラファイト・フェルト、カーボン・フェルト、 　 高純度フェルト、成形断熱材（リジット・フェルト）等があります。 ○これらのフェルトは、高温用断熱材として利用されますと優れた特性を発揮します。 ○成形断熱材とは、ソフト・グラファイト・フェルトの表面を強化（コーティング）したものです。 ●詳し...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

測定機器　アルコールセンサー　M85C-211T

センサーの交換でずっと使えるアルコールセンサー

【特徴】 ○半導体ガスセンサーで呼気中アルコール濃度を計測します。 ○センサーの交換時期は、約500回測定または使用開始から半年経過した場合です。 ○収納ケース、専用マウスピース×3個、専用センサーカバーなどが...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

機能性材料の受託製造サービス

専任チーム体制でお客様のご要望にキメ細かく対応します

【対応分野】 ●有機EL ●ディスプレイ材料 ●半導体関連 ●太陽電池関連 ●二次電池 など 低金属化、低水分化、高純度化、着色性不純物除去にも対応可 【対応量】 ミリグラムスケール～キロスケール 【頻度】 継続生産、スポ...

メーカー・取り扱い企業： 東京化成工業株式会社

アプリケーション例『一般産業のウェットプロセス』

用途に合わせた最適なコンポーネントをご提案

半導体や太陽電池の生産工程以外にも,ウェットプロセスは至るところにあります。それぞれの産業分野の各生産分野の皆様とともに,GEMÜは最適な製品群の構築に長く努めてまいりました。 GEMÜからはPP,PVDFコンポーネントが使われます。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にC60（フラーレン）とGC...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】

最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力…

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。...※詳しくはお問合せくだ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社