- 製品・サービス
173件 - メーカー・取り扱い企業
企業
25件 - カタログ
71件
-
-
-
在庫販売で短納期！全品1個から販売
エドモンド・オプティクスは、業界屈指のVeeco SPECTOR イオンビームスパッタリング装置を自社内に導入し、精密IBSコーティングに 対応しています。 SPECTORプラットフォームの卓越した層厚制御と向上したプロセス安定性は、 コーティングバッチの高い再現性と、設計パラメータ内での一貫した コーティング性能を実現します。 高レーザーフルエンスのアプリケーション用にデザイ...
メーカー・取り扱い企業： エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社
-
-
-
-
面粗さRa0.03μm！スリットダイ ※液体塗布を高精度に均一に
東レのスリットダイは、世界屈指の超精密大型研削盤を駆使し、最高レベルの…
液晶モニター・液晶TV画面の大型化には、 レジストなど液体塗布を高精度に均一に行う必要があります。 この問題を解決したのが当社の超仕上研削加工技術です。 ナノメーター単位で磨き上げられたスリットダイで、 これまで実現不可能と思われていた大型液晶画面の量産化に大きく貢献。 超精密研削加工技術では他社の追随を許しません。 【スリットダイ 特長】 ・世界屈指の超精密大型研削盤を駆使...
メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社
-
-
-
-
太陽電池（ＰＶ）の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…
PV EXPO2013（国際太陽電池展）展示会にご来場いただけなかった方、MSTブースにお立ち寄りいただけなかった方、もう一度MSTの展示会資料をご覧になりたい方、ぜひご覧ください。 太陽電池の研究・開発・製造に必要な部品・材料、装置、セル・モジュールが一堂に出展する展示会『PV EXPO 2013』で使用したパネル資料全6枚のご紹介です。 [掲載内容] 有機薄膜太陽電池の活性層の...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
塗布幅を瞬時に自動可変可能なFSCC07セレクティブ スプレイコーター…
選択的にコーティングする塗布ガンで、１ｍｍ幅から１０ｍｍ幅を瞬時に自動変更可能な塗布ガンです。（特許出願中） FSCC07セレクティブスプレイコーターの特徴として、予め指定した塗布幅を自動可変する塗布バルブで、自動塗布幅調整装置と連動して動作するシステムです。使用する材料粘度や、それに伴う液圧、希望塗布幅等を事前に設定して置くと、希望する塗布幅を自動的に選定して各被塗面を塗布致します。自動塗布幅...
メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部
-
-
-
-
高い品質が求められるフィルターコーティングの精度を大幅に向上した事例を…
イオンビームスパッタリング(IBS)成膜装置の開発に従事している Cutting Edge Coatings GmbH(CEC社)と共同で分光放射計Neoシリーズを 導入した事例をご紹介いたします。 コーティングの実行中、生成され...
メーカー・取り扱い企業： Admesy Japan合同会社
-
-
-
-
航空宇宙・自動車分野の開発を加速。SUS、Ti、Alなど様々な基材に対…
当社では、優れた導電性・耐食性を実現する 『燃料電池セパレータ用セルテスコーティング』を提供しています。 ステンレス、チタン、アルミなど様々な基材に対応しており、 低温から高温環境まで対応可能な航空宇宙向けの金ベースコーティングと、 より低コストな自動車向けのカーボンコーティングを提供可能です。 【特長】 ■米国・エネルギー省の2020年技術仕様の要件に適合（IA/ピーク、IC...
メーカー・取り扱い企業： HEF DURFERRIT JAPAN株式会社
-
-
-
-
化合物半導体サンプルを試料に、深さ分解能を測定した結果を紹介。
SIMS(二次イオン質量分析法)は数 kV の 1次イオンビーム(O2+, Cs+)を試料 表面に照射し、スパッタされた二次イオンを質量分析して試料中の微量 不純物を分析する事ができる装置です。 Q-pole SIMS(アルバックファイ：ADEPT-1010)によっては、Al0.28Ga0.72As/GaAs を 50nm ずつ分子線エピタキシー(MBE)で成膜した化合物半導体サンプル...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター
-
-
-
-
スイス発のCoat-Xは生体適合性にも優れたPPXコーティングが可能！…
スイス発のCoat-X SA社開発の独自技術を用いた通常のPPXコーティングとは違うコーティング！ 弊社のPPXコーティングは防水、耐水、耐湿、生体適合、絶縁、耐熱性といった様々な外的要因からモノを保護できます。 今回はスイスでの実際に取り組んでいる事例をご紹介したいと思います。 Coat-X SAはISO13485の認証を取得、医療装置を取り扱うことに強みを持っています。 ス...
メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社グループ
-
-
-
-
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算
当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。 お客様のニーズに合わせた対応も可能です。 【ラインナップ】 《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》 ■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応 ■装置内全体のガス流れの...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
各種ガラス材料にて、成膜加工サービスをご提供いたします
当社のガラス加工事業では、自動車ミラーやITO成膜品、液晶パネル用 薄膜フィルムに最適な『成膜加工』を行っています。 各種のITO/Cr成膜などの加工を、真空蒸着・スパッタリングなどの方式で 行い、様々なワーク寸法に対応しています。 【膜の種類】 ■装置：スパッタ、蒸着 ■膜の種類：ITO、AL 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ....
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)
-
-
-
-
粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』
真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…
連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C/Cコンポジット） ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
当社保有蒸着装置で開発実験のお手伝いが可能！成膜加工受託加工を承ります
当社は、成膜加工受託加工を承っています。 ＜こんなお困りごとはございませんか？＞ ■量産で装置が開かず開発テストができない等、とりあえず薄膜加工して、開発の当りをつけたい また、マスク蒸着もでき、ご要望に応じメタルマスクを製作いたします。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...※詳しくはPDF資料...
メーカー・取り扱い企業： ナガセ研磨機材株式会社 本社
-
-
-
-
【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
マイクロ流路を必要としないインクジェットプロセスで微量溶液の混合や低温…
「InkjetLabo」は、シンプル＆多機能なインクジェット式吐出装置です。 この装置により、マイクロ流路（μTAS）を必要とせず、２液以上の液体を混合することが可能です。 当社のインクジェットヘッドは、pℓオーダーの微小液滴を正確に配置することが出来ます。 例えば、微量な２液を混合する場合、当社のヘッドを２台利用し、 同じ場所を狙って微小液滴を吐出させることにより、溶液混合することが...
メーカー・取り扱い企業： クラスターテクノロジー株式会社 本社
-
-
-
-
□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
高品質な真空をお届けします。
【特徴】 ○大型成膜装置等の生産装置に最適。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○メンテナンスインターバル 16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
-
-
-
-
小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。
xcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特徴】 ○ターゲットは3種類同時に装着可能 ○真空中にターゲ...
メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社
-
-
-
-
真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』
低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…
【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置
長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』
「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…
シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…
長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…
「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートに...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D
「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着 ・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能 【スモールフットプリント・省スペース】 ・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…
基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
-
-
-
-
高品質な真空をお届けします。
【特徴】 ○中、大型生産装置に最適です。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○熱負荷に強いタイプ。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
-
-
-
-
薄膜成分の付着量を試料間で比較
蛍光X線分析（XRF）では、元素分布の簡便な評価が可能です。 本事例では、蒸着装置を用いて任意量のAuを成膜した4inchのSiウエハA・Bを試料として、Auの分布および総付着量の比較を行いました。 面分析の結果より、Auの分布状態が確認できました（図1～4）。また、各画素から得られたXRFスペクトルのAu強度より付着量を比較し、ウエハBはAより多いことを確認しました（図5）。...詳しいデータは...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
-
-
-
高品質な真空をお届けします。
【特徴】 ○大型成膜装置に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル 16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...
メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社
-
-
-
-
不活性ガス雰囲気下で前処理からXPS測定まで行います
バッファー層/Alq3界面を物理的に剥離（ピーリング）し、剥離面（バッファー層側）のXPS分析を行いました。不活性ガス雰囲気下でピーリングすることで化学構造を破壊せずに界面を露出でき、さらに不活性ガス雰囲気を保ったままXPS装置に搬入することで剥離後の変質（酸化・吸湿など）を抑えました。バッファー層の主成分はLiFで、その一部が酸化している可能性が示唆されました。雰囲気を制御することで、成膜方法・...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
-
