• [TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法 製品画像

    [TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

    TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

    電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。ACOM(Automated Crystal Orientation Mapping)-TEM法とも呼ばれます。 結晶粒径解析が可能 測定領域の配向測定が可能 双晶粒界(対応粒界)の観察が可能 特定結晶方...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察 製品画像

    TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察

    低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます

    密度が低い膜について、高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置に...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 微少領域形態観察 透過電子顕微鏡(HR-TEM) 製品画像

    微少領域形態観察 透過電子顕微鏡(HR-TEM

    物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行ってい…

    主な装置は「HR-TEM」「Q-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。 【微少領域形態観察 透過電子顕微鏡(HR-TEM)】 ○高速電子線を薄く加工された試料に照射し、透過および散乱する電子の結像により拡大像や結晶構造の...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター

  • 【分析事例】PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価 製品画像

    【分析事例】PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価

    PLマッピングで検出した結晶欠陥の高分解能TEM観察

    PL(フォトルミネッセンス)マッピングでは、発光箇所から結晶欠陥位置の特定が可能です。 更に同一箇所を高分解能STEM観察(HAADF-STEM像)を行うことで積層欠陥を捉えることができます。 本事例では、市販のSiCパワーデバイスについてPLマッピングとSTEMを用いて調査を行いました。 PLマッピングにより積層欠陥位置を特定後、欠陥端部分についてμサンプリングを行い、断面STEM観察...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 技術情報誌 201905-01 高空間分解能の結晶方位解析 製品画像

    技術情報誌 201905-01 高空間分解能の結晶方位解析

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 TEMベースの結晶方位解析システム“ASTAR”を用いると、SEMをベースにしたEBSDよりも高い空間分解能が実現可能である(各種EBSD法の空間分解能が数十 nm程度に対してASTARを用いたACOM-TEM法では2~5 nm)。また、識別できる結晶構造が多いことも特長である。通常のTEM解析では取得困難な結晶方位マップ、結晶相マップおよび粒径分布などを得ることで定量的な解釈が可能で...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 技術情報誌 201904-02 セルロースナノファイバー構造解析 製品画像

    技術情報誌 201904-02 セルロースナノファイバー構造解析

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 CNFを扱う研究開発のうち、ほぼすべての材料分野、研究フェーズで電子顕微鏡を用いた観察は必要な評価となっている。特にポリマー中に分散するCNFをTEM観察するためには、これまで高分子材料のTEM試料作製を実施する上で不可欠であった「電子染色」の技法を駆使する必要がある。今回、CNFを用いた複合材料の形態観察事例を紹介すると共に、CNF自体の観察事例、構造解析例として13C核 固体NMR...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 技術情報誌 201910-03 in-situ 昇温手法 製品画像

    技術情報誌 201910-03 in-situ 昇温手法

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 LIB正極活物質LiCoO2について、TPD-MSによるガス分析とin-situ 昇温TEM法の2つのin-situ 昇温手法を用いて、昇温時におけるLiCoO2粒子の発生ガスと形態・組織・構造変化の関係性を調査した。その結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 初心者向けオンライン講座(e-learning)【形態観察】 製品画像

    初心者向けオンライン講座(e-learning)【形態観察】

    形態観察を基礎から学びたい方向きの講座です。 SEM、TEM、球面収差…

    形態観察を基礎から学びたい方向きの講座です。受講期間中、本講座に関する質問を受け付けております。 以下について、易しく、コンパクトに解説しています。 形態観察手法について ・  走査型電子顕微鏡(SEM):原理、試料作製法、分析例 ・  透過型電子顕微鏡(TEM):原理、試料作製法、分析例 ・ 球面収差補正走査透過型電子顕微鏡:原理、分析例 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 技術情報誌 202001-01 in-situ STEM 製品画像

    技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ(magnetic tunnel junction)構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 技術情報誌 202001-02 酸化ガリウムの結晶構造解析 製品画像

    技術情報誌 202001-02 酸化ガリウムの結晶構造解析

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 酸化ガリウム(Ga2O3)は次世代パワー半導体材料として注目を集めており、近年研究が盛んになってきている。半導体デバイスの信頼性、特性改善にはプロセス技術の最適化が必要であり、その評価方法が重要となる。本稿ではエピタキシャル膜の品質評価に必要な結晶構造解析と、デバイス特性への影響が大きいイオン注入プロセスにおける不純物、欠陥、キャリア濃度解析を行った事例を紹介する。 【目次】 1....

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術 製品画像

    【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術

    目的箇所のみサンプリングし、ウェハを割らずにサンプル作製します

    ウェハ・チップを割らずに小片を抜き出して薄片化し、高分解能TEM観察・分析を行います。 さらに分析したい箇所を残してカットしてサンプルを作製することで、目的箇所をご要望のあらゆる方向からTEM観察・分析し、データをご提供します。高度なTEMサンプル作製技術を通じて、様々な観察・分析・評価ニーズにお応えします。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】FIB低加速加工 製品画像

    【分析事例】FIB低加速加工

    FIB:集束イオンビーム加工

    FIBを用いたTEM観察用薄膜試料作製法では、高エネルギーのGaイオン(加速電圧30kV)を用いており、加工面にダメージ層が生じ、TEMの像質低下の原因となっています。そこで従来より低加速(2kV)の加工を行うことでダメージ層が低減でき、像質が改善されました。 FIB低加速加工によりFIB加工面のダメージを低減することで、TEM像観察、EELS測定において高品質で信頼性の高いデータが得られます。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】アイシャドウ成分の元素分析 製品画像

    【分析事例】アイシャドウ成分の元素分析

    ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能

    透過型電子顕微鏡(TEM)はμm~nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を推定しました。 さらに、EELS分析により結晶型を区別することが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 技術情報誌 201910-02 DDS技術 製品画像

    技術情報誌 201910-02 DDS技術

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 近年、医薬品の副作用の軽減や有効性の向上を目指し、ドラッグデリバリーシステム(DDS:Drug Delivery System)に着目した研究・開発が進められている。DDSに用いられるキャリアとして、リポソーム、高分子ミセル、無機ナノ粒子といったバイオマテリアルやDrug Conjugates(ADC等)が挙げられる。そ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 技術情報誌 201902-01 DPC-STEMを用いたポリマー 製品画像

    技術情報誌 201902-01 DPC-STEMを用いたポリマー

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 走査透過型電子顕微鏡(STEM)の測定手法の一つである微分位相コントラスト(DPC)-STEMは、微小部の電場を測定することが可能である。我々は、本手法をポリマーアロイに適用することで、従来の電子顕微鏡では観察が困難な相分離構造のコントラストが出現することを見いだした。 【目次】 1.はじめに 2.元素分析によるソフトマテリアルの可視化 3.DPC-STEM法の適用 4.おわ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価 製品画像

    【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価

    大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います

    容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100~200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。 適用可能な手法観察手法:FIB‐TEM, SEM 表面分析:SIMS,XPS,AES,TOF‐SIMS その他構造評価等も可能です。 測定法:SEM・FIB・TEM・XPS・EDX 製品分野:二次電池 分析目的:化学結...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】リチウムイオン二次電池の加熱劣化試験 製品画像

    【分析事例】リチウムイオン二次電池の加熱劣化試験

    加熱劣化後のサンプルをLC/MS/MS,TOF-SIMS,TEM+ED…

    リチウムイオン二次電池の開発には、高性能化・長寿命化・信頼性向上などの課題があります。これらの課題を解決するためには、電池の劣化機構の解明が重要です。今回は、温度による劣化機構についての評価のために、加熱劣化試験を行いました。加熱劣化試験後、大幅な容量低下が見られたサンプルについて、電解液をLC/MS/MS、負極表面をTOF-SIMS、負極断面をFIB-TEM+EDXで評価しました。...詳しいデ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】LIB(リチウムイオン)正極材料の解析 製品画像

    【分析事例】LIB(リチウムイオン)正極材料の解析

    雰囲気制御+冷却下での原子レベル観察

    MSTでは、雰囲気制御(+冷却)下で原子レベルのTEM分析が可能です。 本資料では、リチウムイオン二次電池から大気非暴露で解体して取り出した正極材料のLiCoO2粒子を、雰囲気制御+冷却下でFIB加工・TEM分析した事例をご紹介します。-174℃に冷却しながらSTEM観察とEDX分析を行い、視覚的に原子配列を確認しました。 熱的安定性の低い材料や、大気下で変質する結晶材料の高分解能分析に適...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析 製品画像

    【分析事例】CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析

    Csコレクタ付STEMによる原子レベル分解能EDX分析

    TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例ではCIGS薄膜太陽電池の光吸収層の高分解能(HR)-STEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。4種類の元素からなる多結晶構造を持つCIGSにおいて、原子分解能レベルのEDX分析を行うことで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができました。...詳しいデ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】DRAMチップの解析 製品画像

    【分析事例】DRAMチップの解析

    製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング

    代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。 外観観察からレイヤー解析、Slice&Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察 製品画像

    【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察

    FIB法による特定箇所の平面TEM観察

    ナノオーダーでの加工が可能なFIB技術を用いることにより、特定箇所の平面TEM観察が可能です。 これにより、断面からの観察では構造の確認が困難なホール側壁のキャパシタ絶縁膜のONO三層構造(シリコン酸化膜/シリコン窒化膜/シリコン酸化膜)が確認できます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 技術情報誌 201907-01 全固体電池設計・開発のための分析 製品画像

    技術情報誌 201907-01 全固体電池設計・開発のための分析

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 全固体電池の本格的普及に向け、特性向上及び安全性、耐久性の確保など、様々な課題を解決する必要がある。電解液系リチウムイオン電池とは異なり、固体電解質の材料物性値など、新たな評価技術への取り組みは今後重要になると考えられている。本稿では全固体電池の設計・開発において、「材料開発」、「電池作製プロセス改善」に有用な、最新の分析評価技術について事例も交え紹介する。 【目次】 1.はじめに...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • 技術情報誌 201901-01 Ga2O3膜の分析評価技術 製品画像

    技術情報誌 201901-01 Ga2O3膜の分析評価技術

    技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

    【要旨】 SiCやGaNより大きなバンドギャップを持つ酸化ガリウム(Ga2O3)は新たなパワーデバイス材料として注目されている。デバイス応用に向けた薄膜成長技術の発展とともに、Ga2O3薄膜の分析評価技術の重要性は益々高まると考えられる。本稿では、サファイア基板上に作製したGa2O3膜の結晶構造解析、および不純物、欠陥評価を行った事例について紹介する。 【目次】 1.はじめに 2.試料 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社東レリサーチセンター

  • バルクロットリリース試験 製品画像

    バルクロットリリース試験

    製品の安全性と品質を確保!JP/FDA/EMAなどのグローバル規制に対…

    メディリッジでは、バイオ医薬品開発の様々な段階で求められる 生物学的安全性試験および分析サービスを提供しています。 有効性の確認や純度試験、同等性/同等性評価、 バイオ医薬品の無菌試験まで幅広く対応可能。 これらの試験サービスやアッセイは、JP, FDA, EMAなどの グローバル規制の要件を満たして提供いたします。 経験豊富な科学者が、バイオ医薬品の特性や特殊な要求に応じて ...

    メーカー・取り扱い企業: メディリッジ株式会社

  • 表面分析 二次イオン質量分析(SIMS) 製品画像

    表面分析 二次イオン質量分析(SIMS)

    物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行ってい…

    主な装置は「HR-TEM」「Q-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。 【表面分析 二次イオン質量分析(SIMS)】 ○数keVのCsやO2イオンをサンプルに照射して放出される2次イオンの質量分析によって、水素を含む全元...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター

  • 【分析事例】高電子移動度トランジスタの評価 製品画像

    【分析事例】高電子移動度トランジスタの評価

    Csコレクタ付STEMにより結晶整合性および組成分布の評価が可能

    GaN系高電子移動度トランジスタ「GaN HEMT(High Electron Mobility Transistor)」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層が得られ、電子移動度が高くなります。 本資料では、市販のGaN HEMTデバイスを解体し評価した事例をご紹介します。 HAADF-STEMにより、AlGaN/GaN界面近傍の結晶整合性を確認しました。また、EELSによ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化 製品画像

    【分析事例】化合物へテロ接合界面歪の可視化

    FFTM法による格子像解析

    Fast Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFTM解析により、(1)画像のx, y方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】ABF-STEM観察によるGaNの極性評価 製品画像

    【分析事例】ABF-STEM観察によるGaNの極性評価

    Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です

    パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性(Ga極性とN極性)が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にG...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】有機薄膜太陽電池の断面観察 製品画像

    【分析事例】有機薄膜太陽電池の断面観察

    低加速電圧のSTEMを用いると有機膜のわずかな密度の違いが観えます

    p型・n型材料の混合膜を使用するバルクへテロ接合型太陽電池では、高効率化のために膜内の材料の混合状態を適切に制御する必要があります。密度が低い膜(有機膜など)においては、TEM専用機を用いた高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることが困難です。 一方、わずかな密度の違いが反映される低加速電圧のSTEM像観察では膜内の混合状態が明瞭に観察できています。...詳しい...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価 製品画像

    【分析事例】SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価

    コンタクト電極/SiC層の界面の相同定・元素分布評価

    市販のSiCパワーMOS FET素子の解析事例をご紹介します。 SiC材料では、SiだけでなくCを含めた系での材料制御が必須となり、従来のSi半導体の製造方法と違いがあります。コンタクト電極とSiC層のオーミック接合形成プロセスにおいて、TEMを用いたEDX/EELS分析および電子回折から、Cを含めた元素分布や結晶相を評価しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】CMOSセンサの総合評価 製品画像

    【分析事例】CMOSセンサの総合評価

    スマートフォン部品のリバースエンジニアリング

    市販品のスマートフォンからレンズ、CMOSセンサチップをそれぞれ取り出し、評価した事例をご紹介します。 目的に応じて研磨・FIB加工により、平面、断面を作製し、TEM,SEMにより層構造やレイヤーを確認しまた。さらに、EDXにより膜種の同定を行いました。MSTでは、解体から分析まで一貫してお引き受けが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察 製品画像

    【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察

    Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察

    ABF-STEM像(走査透過環状明視野像)により軽元素の原子位置を直接観察することができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。 測定法:TEM・EDX 製品分野:LSI...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】HAADF-STEM像とは 製品画像

    【分析事例】HAADF-STEM像とは

    HAADF-STEM:高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法

    ■原理 HAADF-STEM( High-angle Annular Dark Field Scanning TEM)像は細く絞った電子線を試料に走査させながら当て、透過電子のうち高角に散乱したものを環状の検出器で検出することにより得られます。 ■特徴 Z2ρが大きな材料の方がより高角に散乱される ↓ 重い元素はSTEM像では暗く、HAADF-STEM像では明るい 原子量(Z)...

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  • 【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別 製品画像

    【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別

    TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

    電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン(TiO2)には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料(写真1)について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一致しています(図1, 2...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】球面収差補正機能 製品画像

    【分析事例】球面収差補正機能

    TEM:透過電子顕微鏡法

    球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察・高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのSEM分析 製品画像

    【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのSEM分析

    雰囲気制御下での処理 クライオ加工 冷却 SEM: 走査電子顕微…

    大気に暴露すると変質してしまうリチウムイオン二次電池材料や、加工・観察時の熱で変質する有機系材料等の試料は、TEM・SEMを用いて本来の構造を観察することが困難でした。 大気暴露することなく(雰囲気制御)FIB付き高分解能SEM装置で観察することで、粒子や電解質等の本来の状態を知ることが出来ます。また冷却にも対応しており、熱による変質も抑えることが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧くだ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのTEM分析 製品画像

    【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのTEM分析

    雰囲気制御下での処理 クライオ加工 冷却 TEM: 透過電子顕微…

    大気に暴露すると変質してしまうリチウムイオン二次電池材料や、加工・観察時の熱で変質する有機系材料等の試料は、通常の環境下でTEMを用いて構造を観察することは困難です。 弊団では雰囲気制御によって大気暴露を抑え、更に冷却して加工・観察・分析を行うシステムを整備しておりますので、試料本来の構造を保ったままTEM薄片試料を作製し、観察・分析することが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】微細トランジスタの構造評価 製品画像

    【分析事例】微細トランジスタの構造評価

    Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察

    TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のMPUトランジスタ部の高分解能(HR)-TEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。3次元的な構造を持つFinFETのような微細な多層構造でも、Csコレクタ付TEMを用いることで素子の構造や元素分布を明瞭に観察することが可能です。...詳しいデータは...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】磁気ヘッドMTJ部の構造評価 製品画像

    【分析事例】磁気ヘッドMTJ部の構造評価

    Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察

    TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ:磁気トンネル接合(Magnetic tunneljunction)部の高分解能(HR)-TEM観察を行ったデータを紹介します。 このように金属の極薄膜の多層構造でも明瞭に構造を観察することが可能です。...詳しいデ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiCパワーMOSFETの活性層評価 製品画像

    【分析事例】SiCパワーMOSFETの活性層評価

    活性層の形状とドーパントを評価

    市販のSiCパワーMOS FET素子領域で拡散層分布を評価した事例をご紹介します。 SiC MOSFET製造プロセスでは、イオン注入と活性化熱処理、エピタキシャル層形成などによってチャネル形成します。活性層形成プロセスにおいて、TEM観察からデバイス構造を把握し、SCM測定からp型/n型の断面の拡散層分布やエピタキシャル層、SIMS測定からドーパント元素(N,Al,P)の深さ濃度分布を評価しまし...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察 製品画像

    【分析事例】燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察

    XPS・SEM・TEMを用いた多角的な評価

    燃料電池の電極は、カーボン担体に触媒粒子が担持された構造をしています。担体や触媒粒子がどのような状態にあるか評価することは、劣化メカニズム解明や設計指針の検討に欠かせません。 触媒被毒(酸化)の状態評価には、XPS分析が有効です。また、触媒凝集や粒成長の評価にはSEM・TEM観察が有効です。 複数の分析手法を組み合わせることにより、多角的な評価をご提案します。...詳しいデータはカタログをご覧...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】燃料電池の触媒の評価 製品画像

    【分析事例】燃料電池の触媒の評価

    XPSによる化学状態分析とTEMによる形態観察

    燃料電池の電極は、カーボン担体に触媒であるPt粒子が担持された構造をしています。Ptの評価法として状態分析にはXPS分析、形態観察にはTEM観察が有効です。Pt触媒の酸化(被毒)や凝集(比表面積低下)などのPt触媒の劣化についてもこれらの手法で評価可能です。 角度を変えながら撮影した画像を再構築することによりPt粒子の三次元像を得ています。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 表面分析 X線光電子分光分析(ESCA・XPS) 製品画像

    表面分析 X線光電子分光分析(ESCA・XPS)

    物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行ってい…

    主な装置は「HR-TEM」「Q-pole型SIMS」「μESCA」「RAMAN」など。ミクロ・ナノレベルの表面分析におけるノウハウの蓄積があり、信頼性の高いデータを短期間で提供することができます。また未知試料の分析についてもアドバイスします。 【表面分析 X線光電子分光分析(ESCA・XPS)】 ○X線をサンプルに照射して表面から数nmの深さから放出される光電子のエネルギー分析により元素を...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社イオンテクノセンター

  • 【分析事例】固体高分子燃料電池 触媒材料の形態観察・成分分析 製品画像

    【分析事例】固体高分子燃料電池 触媒材料の形態観察・成分分析

    SEM・STEM・EDXによる触媒粒子の評価

    燃料電池の電極は、カーボンに触媒であるPt粒子またはPt合金(PtRu等)粒子が担持されています。この触媒粒子は数nmと微細構造のため、形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。 初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価に高空間分解能でのHAADF観察やEDX分析が非常に有効です。また、SEM観察では...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】CIGS薄膜太陽電池へテロ接合界面の観察 製品画像

    【分析事例】CIGS薄膜太陽電池へテロ接合界面の観察

    超高分解能STEMによるCdS/CIGS接合界面高抵抗層の結晶構造評価

    Csコレクタ付STEM装置を用いてCdS/CIGSヘテロ接合界面を直接観察しました。 TEM像・高分解能HAADF-STEM像および第一原理計算を用いたシミュレーションから、CIGSとCdSがヘテロエピタキシャル接合している様子が確認されました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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