マイクロリアクターULREA（アルリア）シリーズ

PR各種ナノ粒子の超精密合成、大量生産ができます。

ULREA（アルリア）シリーズは2枚のディスク間にできるマイクロメートルオーダーの間隙を反応場、晶析場として応用した湿式法・連続式の反応装置です。 金属、合金、酸化物、複合酸化物、有機顔料など各種ナノ粒子の超精密合成・表面処理と大量生産が容易に実現できます。 その他、マイクロスフェア、ナノスフェアも容易に創製可能です。 【ULREA（アルリア）の特長】 1. 確実なスケールアッ...

メーカー・取り扱い企業： エム・テクニック株式会社

技術情報誌 202001-02 酸化ガリウムの結晶構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 酸化ガリウム（Ga2O3）は次世代パワー半導体材料として注目を集めており、近年研究が盛んになってきている。半導体デバイスの信頼性、特性改善にはプロセス技術の最適化が必要であり、その評価方法が重要となる。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】酸化アルミニウム薄膜の局所構造解析

成膜条件の違いによる膜の微細構造の変化を捉えることが可能です

酸化アルミニウムは優れた耐摩耗性、耐熱性などの性質から各種産業用機械・製造装置用部品などに用いられています。 また、化学的安定性や高い絶縁性も有していることから、その薄膜は触媒の担体や磁気トンネル接合の絶縁層などにも用いられています。成膜条件によってアモルファス構造や様々な結晶構造をとり得る酸化アルミニウム膜の微細構造の評価はXAFSが有効です。 本資料ではアモルファス酸化アルミニウム薄膜について配...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可…

金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物そのものの組成・状態評価が可能です。 本...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

大気下におかれた金属銅（Cu）の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。 市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。 今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。 本資料では窒化シリコン（SiN）膜のバンドギャップ評価事例をご紹介します。 測定法：XAFS・XPS 製品分野：太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイス...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価

シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

シリコン酸化膜はMOSデバイスやリチウムイオン二次電池の負極材料として広く利用されていますが、中間酸化物の有無や界面での結合状態がデバイス特性に大きな影響を与えることが知られています。 放射光を用いたXAFS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析

非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解…

二酸化ケイ素（SiO2）は半導体における絶縁膜・FPDの基板材料・光学材料・医療機器から装身具に至るまで幅広く用いられていますが、非晶質であるガラスとして構造解析を行うことは非常に困難です。ガラス中でSi...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

業製品・部品として使用されています。腐食に強い材料ですが、経年劣化や加工処理によって表面不動態皮膜の組成に変化が生じると不具合の原因につながります。今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析した事例をご紹介します。TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布を評...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察

低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます

とは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置によるSTEM観察 測定法：TEM・SEM 製品分野：LSI・メモリ・ディスプレイ・太陽電...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

ル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】指定外酸化防止剤（TBHQ）のLC/MS/MS分析

高い回収率で低濃度の食品中TBHQ定量分析を実現

TBHQ(tert-ブチルヒドロキノン)は米国・中国などで酸化防止剤として食品に添加されている化合物です。しかし、日本ではTBHQを含む食品の輸入・販売が認められていません。そのため、輸入食品にTBHQが含まれていることがあり、国内で検出された場合は自主回収な...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことによ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別

TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン（TiO2）には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料（写真1）について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価

球体形状試料の評価事例

定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。 以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC基板のゲート酸化膜評価

膜厚・密度・結合状態を評価

SiCパワーデバイスは、電力損失を抑え、小型で大電力を扱える電力変換素子として期待されています。 デバイスの特性を向上させるために必要なゲート酸化膜の膜厚、密度をXRR（X線反射率法） および結合状態をXPS（X線光電子分光法）で評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

耐薬品試験

高度な分析と”考察力”でお客様の問題解決！耐薬品試験のご紹介

【酸の特長（抜粋）】 ■塩酸：酸化力は無い、還元力を有す、Clが金属と錯体形成 ■硝酸：多くの金属の溶解に向く、Al、Crの溶解時不動態化 ■硫酸：濃硫酸は酸化力があり、希硫酸は酸化力がない 　　　　高温での濃硫酸はきわめて酸...

メーカー・取り扱い企業： イビデンエンジニアリング株式会社 環境技術事業部

技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

エリプソメトリーについて ３. PVA膜スピンコート直後の経時変化 ４. シリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価 ５. おわりに 【図表】 図1　反射光の偏光状態の変化 図2　PVA膜/熱酸化膜/Si基板の測定解析結果 図3　PVA膜(赤)と熱酸化膜(青)の屈折率の波長分散 図4　スピンコート後大気下乾燥中のPVA膜の膜厚と屈折率の経時変化 図5　スピンコート後大気下乾燥中のPVA...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染･酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。 薬包紙・アルミホイル保管では、一般的に見...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ＭitoPlate-ミトプレート

高解像度でのミトコンドリア解析 ＭitoPlate Technolog…

阻害剤の影響が判明 ■接着細胞、浮遊細胞、形質転換細胞、初代細胞等いかなる細胞でも簡単で使いやすいプロトコル ■１ウェルあたり20,000から40,000の少ない細胞数で可能 ■テトラゾリウム酸化還元色素は、最終電子受容体として簡単に比色分析が可能 ■オムニログ測定装置は温度制御でプレートを培養、自動で複数のプレートのかいねティックデータを測定（50枚の場合は15分間隔、16枚の場合は4分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セントラル科学貿易

【特注加工・受託サービスのご提案】抽出・洗浄

超臨界二酸化炭素試験装置による抽出試験を実施！

株式会社アイテックでは、マルチユースCO₂試験機を用いた、 無水・無溶剤抽出試験などの受託試験を行っています。 健康食品、医薬品、香料等の有効成分を原材料から 超臨界二酸化炭素を用い、抽出する技術で 二酸化炭素は気化するため乾燥工程が不要です。 また、半導体等の洗浄にも用いられます。 当試験は、国公立大学、国立研究機関、食品メーカー、医療品メーカーなど、 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテック

【分析事例】雰囲気制御下での有機金属錯体の定性分析

酸化の影響を受けない条件でTOF-SIMSによる質量分析が可能です

チタンテトラアルコキシドは、香月・シャープレス不斉エポキシ化に欠かせない試薬であり、大気下では酸化の影響を受けます。 今回、チタンテトラアルコキシド（チタンテトライソプロポキシド）について、雰囲気制御下と大気暴露後において、どのように変化するかTOF-SIMSを用いて調べた事例を示します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

哺乳類細胞用フェノタイプマイクロアレイ

哺乳類細胞の最大1,400種類の代謝や感受性の表現型を調べるための細胞…

炭素エネルギーや窒素を含む基質、イオン、ホルモンやサイトカイン、抗がん剤など、予めセットされている９６ウェルプレートを使用します。 プレートには対象の細胞とバイオログ社独自の酸化還元色素を接種。あるウェルでは細胞が活性化し、他のウェルでは抑制されます。 細胞が高エネルギーのNADHを生成すると、酸化還元色素が還元されて色が変化するので、バイオログ社のオムニログ（自動インキ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社セントラル科学貿易

【分析事例】食用油の劣化評価

～食用油の加熱によるトリグリセリドの組成・においの変化～

食用油は、揚げ物、炒め物など調理に欠かせません。 加熱調理に繰り返し使用することにより、 油は加水分解および酸化され、においも変化していきます。 そのスピードは、油の種類によって異なり、飽和脂肪酸は酸化しにくく、 不飽和脂肪酸は酸化しやすいと言われています。 そこで、飽和脂肪酸の多いココナッツオイルと不...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

技術情報誌 202305-01 水銀プローブによるSiO2膜評価

Si基板上のSiO2膜の電気特性と膜質を、成膜方法ごとに詳細に調査した…

お役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 水銀プローブ（Hg-Probe）および各種物理分析手法を用いて、Si基板上に異なる方法で成膜したSiO2膜の電気特性と膜質との関係を詳細に調べた。熱酸化SiO2膜と比べて、化学気相蒸着法（CVD）で成膜したSiO2膜は水分や水酸基含有量が高く、SiO2ネットワーク構造の秩序性が低いことをRBS、XPS、FT-IR、SIMSにより明らかにした。Hg-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 201901-01 Ga2O3膜の分析評価技術

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 SiCやGaNより大きなバンドギャップを持つ酸化ガリウム（Ga2O3）は新たなパワーデバイス材料として注目されている。デバイス応用に向けた薄膜成長技術の発展とともに、Ga2O3薄膜の分析評価技術の重要性は益々高まると考えられる。本稿では、サファイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】量子化学計算によるアゾベンゼン類の電気化学特性評価

電池などに用いられる有機化合物の酸化還元特性・電子状態を予測・評価

リイオン電池やレドックスフロー電池において現在主力の金属活物質を代替する低環境負荷の次世代有機活物質として注目されています。 電池性能の評価には、実験に加えシミュレーションを用いた物質の電子構造や酸化還元特性の検討が有用です。本資料では、量子化学計算によりアゾベンゼンとそのカルボン酸誘導体塩の還元電位、分子軌道計算を行った事例を紹介します。このようにシミュレーションで物質の電気化学特性を推定でき...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

血痕（付着血液）検査／血痕判別試薬

※箱や包装資材に付着した血痕（血液）トラブルを早期解決！※ 法科学・D…

◆ロイコマラカイトグリーン法 血中に存在するヘモグロビンの触媒作用によって、過酸化水素水から遊離した酸素が、無色のロイコマラカイトグリーンを酸化させて緑色のマラカイトグリーンに変える反応を利用する方法です。 ◆イムノクロマトグラフィー法 血液中のヘモグロビンが、抗ヒトヘモ...

メーカー・取り扱い企業： ビジョンバイオ株式会社

【分析事例】デヒドロアスコルビン酸の分析

飲料中のデヒドロアスコルビン酸の分析が可能です

味しさを一層高めるため種々の検討が行われています。そのひとつとして、清涼飲料水中に適量のデヒドロアスコルビン酸が含まれていると、風味が改善されるとの報告があります。デヒドロアスコルビン酸は、飲料等に酸化防止剤として含まれているL-アスコルビン酸の酸化によっても生成されるため、試料中の正確な値を得るためには、試料開封後速やかな分析が必要です。本資料では試料開封後の時間経過に伴うデヒドロアスコルビン酸...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定

XPS：X線光電子分光法など

高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理、搬送、測定を行うことで表面酸化、水分吸着を抑えた評価が可能です。 ■適用例 ・半導体電極材料 　剥離面の評価等には二次汚染、酸化の影響を抑えて評価ができます。 ・有機EL材料 　開封から不活性ガス雰囲気下で作業を行...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価

XPS：X線光電子分光法

XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト（ケミカルシフト）が大きい元素では、複数の価数の存在、及び存在割合についての評価も可能となります。以下に、複数価数評価可能な主な金属元素...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察

FIB法による特定箇所の平面TEM観察

ノオーダーでの加工が可能なFIB技術を用いることにより、特定箇所の平面TEM観察が可能です。 これにより、断面からの観察では構造の確認が困難なホール側壁のキャパシタ絶縁膜のONO三層構造（シリコン酸化膜／シリコン窒化膜/シリコン酸化膜）が確認できます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集

光電子分光分析装置（ESCA）を使用した多層膜の深さ分析結果を掲載！

・分析、研究・事業化マネジメントの サービスなどを提供している株式会社イオンテクノセンターの光電子 分光分析装置「ESCA」による多層膜の深さ分析の事例集です。 シリコン基板の上にシリコン酸化膜とチタン酸化膜の積層膜をESCA （Quantum-2000）によって分析した結果を掲載しております。 【掲載概要】 ■ESCAによる多層膜の深さ分析の分析結果 ※詳しくはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【分析事例】XPSによるSiC表面の状態・膜厚評価

詳細な状態評価と併せ、膜厚計算が可能

XPSでは試料表面の化学結合状態を評価することができ、波形解析により更に詳細な評価をすることが可能です。加えて、波形解析結果に仮定パラメータを用いることで、表面酸化膜等の膜厚を算出することも可能です。 本資料では、SiC表面の組成・状態評価を行うとともに、取得したピーク強度から酸化膜厚を算出した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ECLIA法による免疫関連項目の測定

甲状腺関連項目、腫瘍マーカー、感染症などの測定が可能です

します。 ECLIA法（電気化学発光免疫測定法）は、化学発光性物質で標識した抗体（抗原）に磁性粒子結合抗体（抗原）を反応させ、この免疫化合物をTPA（Tripropylamine）存在下の電極上で酸化還元反応により発光させてその発光量を測定する方法です。 甲状腺、循環器、婦人科などの専門領域に対応する60以上の検査項目に加え、新型コロナウイルスなど感染症関連の抗原・抗体の定量検査を行うことが可...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

異物分析・表面分析サービス

お客様の“こんなことで困っている”に対して、信頼性の高い解析データを提…

ている”に対して、 分析・解析、評価方法を当社の経験豊かな技術スタッフがコンサルティング。 信頼性の高い解析データを提供します。 【具体的な対応例（抜粋）】 ＜表面分析＞ ■金属表面の酸化皮膜・化成皮膜の調査 ■塗装やめっきの構成・成分調査 ■金属、高分子、セラミック等の材料表面の変色調査 ■材料表面の腐食及び劣化原因調査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境技研 本社

異物・異臭分析

食品中に混入した異物を分析！物質調査や虫やカビの種類を特定します。

た検査項目のご提案をさせていただきます。 【検査概要】 ■異物検査 ・虫の同定検査 ・カビの同定検査 ■異臭分析 ・腐敗臭・カビ臭・酸敗臭・シンナー臭・薬品臭・塩素臭 　溶媒臭・酸化臭・劣化臭など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本食品機能分析研究所 本社

生分解性プラスチックの生分解速度測定(MODA)

当社は日本バイオプラスチック協会(JBPA)の認定を受けた試験機関です…

生分解速度を測定可能。 微生物がプラスチックを分解するときに呼吸で生じたCO2を 測定することで、分解度(分解速度)を計算するという測定原理です。 【装置情報】 ■試験装置：微生物酸化分解測定装置(MODA-CS) 八幡物産株式会社製 ■分析項目：分解度、分解速度 ■試験規格：JISK6953-2、ISO 14855-2、ISO 17556​ ※詳しくは関連リンクをご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ロンビック

⽣物物理学的特性評価サービス

超遠⼼分析（AUC）、蛍光超遠⼼分析（FDS-AUC）などを行っていま…

当社では、⽣物物理学的特性評価サービスをご提供しています。 様々な⼿法により、幅広いサイズ領域の凝集体を定量・特性評価する タンパク質凝集体の分析や、ペプチドマッピングによるタンパク質の酸化、 ジスルフィド結合、脱アミド化などの翻訳後修飾の分析を行う LC-MS/MSなどを承っております。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【サービス内容】 ■タンパク質凝集...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユー・メディコ

【分析事例】ビタミンB1・ビタミンB2の定量分析

蛍光検出器付HPLC法（公定法）による含有量の検査

B2の含有量は前処理として酵素処理を行い遊離型に変えた後、蛍光検出器付HPLCで分析することにより定量できます。ビタミンB1自体に蛍光性はありませんが、ポストカラム法で赤血塩アルカリ溶液と反応させ、酸化型のチオクロームに変換することで蛍光を検出することが可能となります。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

熱重量分析 (TGA)

ガラス繊維、タルク、カーボンブラック等の無機系充填剤の配合量が測定可能…

熱分析の一つである「熱重量測定(TGA)」では、サンプルを 一定条件で加熱した際の重量変化を測定いたします。 また、示差熱分析(DTA)の同時測定も可能。 これにより分解、酸化、還元などの重量変化を伴う化学変化や、 転移、結晶化などの重量変化を伴わない変化についても、捉える事が 可能となります。 【測定条件】 ■温度範囲：室温～1300℃ ■測定雰囲気：Ai...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ロンビック

【分析事例】CFRP炭素繊維強化プラスチック内部の繊維配向解析

X線CTによるCFRPの解析事例

。 CFRP内部の繊維構造についてX線CTを用いて観察しました。その結果、直径約7μmの炭素繊維の集まりを観察することができ、また繊維の配向性解析を行いました。 測定法：C-SAM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス・LSI・メモリ 分析目的：形状評価・故障解析・不良解析・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ワイドギャップ半導体β-Ga2O3のドーパント存在

ミクロな原子構造を計算シミュレーションによって評価可能

β-Ga2O3は広いバンドギャップを有し、優れた送電効率や低コスト化の面で次世代パワーデバイスや酸化物半導体の材料として期待されています。近年、β-Ga2O3はSiまたはSnのドーピングでn型化することが報告されています。本資料では、β-Ga2O3にSiもしくはSnをドープしたモデルに対して構造最...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

不良原因の調査に欠かせません。TOF-SIMSは最表面での深さ方向分解能に優れ、無機物の状態をモニターしながら高感度に深さ方向分布を測定することが可能です。OHと併せて深さ方向分布を評価することで、酸化膜厚の変化を伴わずにOHが増加していた現象を見出しました。このようにTOF-SIMSでは元素分析では得られない、無機物の分子情報の深さ方向分布を評価することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

クタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。 ※High-Angle Annular Dark-Field： 原子量（Z)...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST