ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラ…

洗浄・表面改質・親水化・接着強化に優れた、ペン型タイプの大気圧プラズマ装置の販売・レンタル・受託をおこなっております。 【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

【素材】有機半導体

サンプル販売から工業生産まで対応！純度アップや追加分析などのカスタム対…

有機半導体とは半導体としての性能を示す有機物のことで、電界効果 トランジスタや有機太陽電池などへの応用が期待されています。 ナード研究所では自社昇華精製装置を使い、ピセンなど高純度の有機半導体を ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナード研究所

【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…

他手法では評価が難しい半導体基板中のH,C,N,Oを1ppm(約5E16atoms/cm3)以下まで、Fを1ppb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例（図1）とIII-...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

半導体分析

各種半導体の様々な目的に合わせて、各種手法で分析が可能！

半導体の微細な形状の観察、結晶性評価、不純物濃度測定、硬度測定、故障解析など　各種手法により研究開発のサポートを致します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

技術情報誌 202102-03 XAFSによる半導体中の状態評価

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 半導体へのドーパント添加は、電気特性を制御する上で非常に重要な技術であり、添加によるキャリア発生のメカニズムは固体物理の理論に基づいて理解されているが、ドーパント元素における直接的な化学状態や配位環境の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

第一原理計算によるワイドギャップ半導体GaNにおける欠陥準位解析

点欠陥の形成エネルギー、電荷、光学遷移など様々な物性情報が得られます

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム（GaN）は主にパワーデバイスの分野で用いられ、近年では急速充電器や5G通信基地局用途としての需要が高まっています。高信頼性を有するGaNの開発にあたっては、結晶中の欠陥量の低減...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

食品などの安心・安全の証明に『放射能検査』

厚生労働省から通知された検査法に準拠。食品、土壌、肥料などの放射性物質…

省から通知された検査法に準拠 食品中の放射性セシウムスクリーニング法に対応した検査（NaI（Tl）シンチレーションスペクトロメータ）、および食品中の放射性物質の試験法に対応した検査（ゲルマニウム半導体検出器）を受託しています。 ◆個別のご要望にも対応 通常、検出下限値は「25Bq/kg」「10Bq/kg」「10Bq/kg以下」にてご案内しておりますが、「”1Bq/kg”で検査したい」な...

メーカー・取り扱い企業： ビジョンバイオ株式会社

電子顕微鏡での受託観察

走査型電子顕微鏡（ＦＥ-ＳＥＭ）による表面観察を受託いたします：分解能…

■試料をお送り頂きますと、試料台作成～画像撮影～画像ファイル（jpeg）変換を行い、お送り致します。 ■格安料金を設定しておりますので、ぜひご利用下さい。 ...【主要設備】 ・設備（機械名）：走査型電子顕微鏡（FE-SEM）　S-4000（日立） ・主な仕様 　倍率：　×100～300,000倍　（～100,000までは保証範囲） 　試料台サイズ：　15mm（径） 　加速電圧：...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

化合物半導体系超格子サンプルにおける深さ分解能測定

化合物半導体サンプルを試料に、深さ分解能を測定した結果を紹介。

置です。 Q-pole SIMS(アルバックファイ：ADEPT-1010)によっては、Al0.28Ga0.72As/GaAs を 50nm ずつ分子線エピタキシー(MBE)で成膜した化合物半導体サンプルを 試料として用い、深さ分解能を求めました。 1次イオンビームを最適化したところ、Al0.28Ga0.72As 膜と GaAs 膜の界面での 27Al のプロファイルの傾きから深さ方...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【分析事例】半導体パッケージのはんだ濡れ性試験_C0699

劣化加速試験後の電極のはんだ濡れ性試験が可能です。

半導体を多く使う電子機器では各部品をはんだ付けにより実装しています。このはんだ接合部に不良が生じると電子機器に不具合が生じます。その為はんだに関して濡れ性を評価することは部品の信頼性を評価するうえで重要です。今回は疑似的に試料を劣化させ、はんだの濡れ性がどうなるかを検証しました。恒温恒湿試験後、電極表面の濡れ性が変化することが分かりました。 測定法：恒温恒湿試験,はんだ濡れ性試験 製品分野：パワーデ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ワイドギャップ半導体β-Ga2O3のドーパント存在

ミクロな原子構造を計算シミュレーションによって評価可能

β-Ga2O3は広いバンドギャップを有し、優れた送電効率や低コスト化の面で次世代パワーデバイスや酸化物半導体の材料として期待されています。近年、β-Ga2O3はSiまたはSnのドーピングでn型化することが報告されています。本資料では、β-Ga2O3にSiもしくはSnをドープしたモデルに対して構造最適化計...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析

化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能

一般的にSIMSでは含有量が％を超える主成分レベルの元素の定量性は低いとされていますが、一次イオンにCs+を用いたMCs+(M:着目元素）検出モードを用いることで、主成分元素の深さ方向の組成分布を求めることが可能です。 AlGaAs中のAl,Gaについて、深さ方向の組成評価を行った例を示します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202305-02 加熱in-situ TEM

加熱in-situ TEMを用い、半導体デバイスの熱処理中の材料の構造…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 半導体デバイスの開発・製造において、熱処理工程における材料の構造変化を把握することは非常に重要である。加熱in-situ TEMを用いることにより、熱処理中の材料の熱挙動をnmレベルで可視化し、構造変化...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

技術情報誌 202001-02 酸化ガリウムの結晶構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 酸化ガリウム（Ga2O3）は次世代パワー半導体材料として注目を集めており、近年研究が盛んになってきている。半導体デバイスの信頼性、特性改善にはプロセス技術の最適化が必要であり、その評価方法が重要となる。本稿ではエピタキシャル膜の品質評価に必要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

ハンディタイプUV照射装置ハンディキュアラブ【セン特殊光源社製】

最も小型で低価格の紫外線硬化装置【セン特殊光源社製】

従来の熱乾燥などと比較すると、硬化・乾燥までに至る時間が圧倒的に短く、溶剤等の使用量が飛躍的に削減され、「省エネ」「省スペース」や、「環境改善」 に於いてもその特性を発揮し、更に近年UV硬化樹脂の性能が著しく進歩した事で、その用途と市場が飛躍的に拡がっています。...【特徴】 ○UV硬化装置では、一番小型でハンディタイプ ○UV強度は、100Wでも1000W(80W/cm)なみ ○UV硬化技...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

分析・測定『放射能検査』

食品や井戸水、土壌、飼料、廃棄物など、あらゆる媒体の放射能を測定

『放射能検査』では、放射性物質を高精度に測定することが可能な ゲルマニウム半導体検出器を導入し、平成24年4月1日から適用された 食品中の放射性物質の規格基準に対応した検査を実施します。 また、環境・廃棄物等については環境省の廃棄物ガイドラインに沿って 検査を実施し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日吉

【分析事例】半導体のイオン化ポテンシャル評価

UPS：紫外光電子分光法

半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。 表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価電子帯立ち上がり位置(VBM)の決定 価電子帯頂点近傍のスペクトルを直線で外挿し、バックグラウンドとの交点を求めます。 ■イオン化ポテンシャルの算出 イオン化ポテンシ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

放射能測定

サーベイメーターによる空間線量率測定！放射能濃度等測定方法ガイドライン…

ます。 全国に事業所を配備し専門スタッフが試料採取から分析まで自社で対応。 サーベイメーターによる空間線量率測定を放射能濃度等測定方法ガイドライン により実施します。 ゲルマニウム半導体検出器によるγ線スペクトロメトリーによる放射能核種分析を 実施。ゲルマニウム半導体検出器は自社保有し公益財団法人日本適合性認定協会より 試験所として認定されています。 【特長】 ■当社...

メーカー・取り扱い企業： エヌエス環境株式会社 営業本部

振動モニタリングセンサー　２軸・３軸加速度計　多点での計測に最適

構造物等の振動解析に最適　低い加速度gの計測でモニタリングなど多くのセ…

【特徴その１　低価格】 内部の素子は従来の機種と同じ半導体素子を使用し、出力や精度はそのままに筐体などのパッケージングをローコスト化することにより低価格を実現しました。 価格は、形状は異なりますが弊社の取り扱う従来の同等スペック品に比べ1/3～1/5！...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

食品中の放射能測定業務のご案内

1台の総合検査体制で放射能検査を実施！月間受注1,000検体以上の実績…

風評被害を抑制し取引価格の適正化、物流の正常化を行うには、正確で 迅速な情報開示が最も重要です。 当社では、放射能検査業務を通じ、食の安全・安心に貢献させて頂きます。 ゲルマニウム半導体検出器：2台、NaI（Tl）シンチレーション スペクトロメータ：1台の総合検査体制で放射能検査を実施。 月間受注1,000検体以上の実績と経験があり、検査は第一種放射線取扱主任者、 環境...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境技研 本社

検査の事は当社へお任せください

半導体パッケージなどに対応！多彩な検査経験と実績で御社の品質をサポート…

合品が混入していた為、選別が必要になった」 「クリーンルーム内で検査をする必要が有る」などの困り事はございませんか。 当社は、多彩な検査経験と実績で御社の品質をサポートいたします。 半導体パッケージをはじめ、ソーターパネルやガラス製品、樹脂成型品、 ゴム製品などに対応。検査の事は当社へお任せください。 【この困り事はございませんか？】 ■納品した部品に不具合品が混入してい...

メーカー・取り扱い企業： コニシセイコー株式会社

放射能測定業務のご案内

食品、飲料水、地下水、河川水など！精密核種分析の自社測定を実施しており…

当社では、ゲルマニウム半導体検出器による精密核種分析の 自社測定を実施しております。 風評被害を抑制し取引価格の適正化、物流の正常化を行うに は、正確で迅速な情報開示が最も重要。 当社では、このような社会的要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境技研 本社

【６軸一体型】３軸加速度・３軸ジャイロを１つで測定可能なセンサー

小型・軽量で最大６軸の計測が可能　加速度・ジャイロのレンジもそれぞれ選…

sor solutions（旧Measurement Specialties）社はセンサーの総合メーカーであり、製造するセンサーは圧力・温度・湿度・変位・加速度など多岐にわたります。同社は高性能な半導体ゲージを製造しており世界各国でOEM用としても多くの実績があります。加速度計にはこの半導体ゲージを使用しており微小なパラメータ検出から衝撃測定まで幅広く販売しています。 □■性能■□ ...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

技術情報誌 202304-03 分離膜のナノ貫通孔径の選択的測定

水銀透過法の概要及び既存手法との比較事例を通じて、水銀透過法が機能層の…

生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 サステナブルな社会の実現において、優れた透過性能を持つ膜による省エネで低コストな分離・精製技術の開発がエネルギー、半導体、医療など様々な分野で期待されている。膜の透過性能は細孔構造に支配されるため、高度化した細孔構造を評価するための技術が重要となる。ここでは、東レリサーチセンターが独自に開発した水銀透過法の概要、及...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

超小型シリコンMEMS 加速度センサ　52M30

【超小型】MEMS加速度センサ 被覆・シールドケーブル　シリコンMEM…

sor solutions（旧Measurement Specialties）社はセンサーの総合メーカーであり、製造するセンサーは圧力・温度・湿度・変位・加速度など多岐にわたります。同社は高性能な半導体ゲージを製造しており世界各国でOEM用としても多くの実績があります。加速度計にはこの半導体ゲージを使用しており微小なパラメータ検出から衝撃測定まで幅広く販売しています。 □■特徴■□ ...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

技術情報誌 201903-01 最先端SIMS分析装置

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

メージング測定を行うことが可能である。本稿では、NanoSIMS 50Lの装置の特徴と分析事例を紹介する。 【目次】 １．はじめに ２．分析装置の概要 ３．毛髪断面の分析事例 ４．SiC半導体デバイスの分析事例 ５．まとめ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【イオンクロマトグラフィー資料】水酸化アンモニウムの不純物測定

イオンクロマトグラフで中和とマトリックス除去を伴う濃縮工程を自動化して…

半導体産業では、超高純度試薬が必要とされます。イオン性不純物が含まれていると製品の品質を損なう可能性があります。 このアプリケーションでは、28%の半導体グレードの水酸化アンモニウム溶液中の陰イオン不純物の測定結果を示します。 マトリックスの影響を避けるために、インライン中和とマトリックス除去を伴う濃縮テクニックを用いて測定を行ないました。...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社 本社

シートベルトロードセルEL20　小型軽量なチタン製ベルト張力計

Measurement Specialties社製　レンジ5・16・2…

urement Spesialties（以下MSI）社はアメリカに本社を置くセンサー総合メーカーです。製造するセンサーは圧力・温度・湿度・変位・加速度・速度など多岐にわたります。MSI社は高性能な半導体ゲージを製造しており、世界各国でOEM用としても多くの実績があります。MSI社製加速度計はこの半導体ゲージを使用しており、微小なパラメータ検出から動的な衝撃測定に対応するものまで幅広く販売していま...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

放射能測定

精密測定から現地空間線量測定などの様々な放射能を測定

所の事故により、 放射性物質による土壌などの汚染が生じ、様々な場面で放射能測定の 必要性が増しております。 株式会社クレハ分析センターでは、現地における空間線量の測定や、 ゲルマニウム半導体検出器による精密な測定に迅速に対応いたします。 【特長】 ■空間線量 ・サーベイメーターによる現地測定 ■ゲルマニウム半導体検出器 ・排ガス、粉じん、もえがら、ばいじん、 ・排水汚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレハ分析センター

分析サービス『放射能分析』

ゲルマニウム半導体検出器を用いた精密分析が可能

メータを用いた放射性 物質の簡易分析を行っております。 飲料水をはじめ、排水・環境水、牛乳や乳幼児用食品など様々な試料に おいて測定が可能です。 より精度の高いゲルマニウム(Ge)半導体検出器を導入し、放射能分析体制を 強化。 分析の専門会社として、安心・安全の確認をお手伝いします 【特長】 ■核種別の分解能（測定能力）が高く分析精度が高い ■公定法として定められて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HER

【分析事例】TDSによる α-アルミナ（α-Al2O3）の分析

セラミックスの昇温脱離ガス分析

熱的に安定なα-アルミナは耐熱材料、半導体パッケージ、半導体製造装置の部品など、幅広い用途で 利用されており、中でも緻密質のα-アルミナは真空装置の部材としても用いられます。しかしこのような 部材が昇温された際に発生するガスは製品や装...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】白色LEDのフォトルミネッセンス分析

白色LED中のチップ、蛍光体の発光特性の確認

白色LEDは長寿命・省エネルギーであるため、近年需要が照明用途を中心に急激に増加しています。 白色LEDは青色の半導体チップを電気によって発光させ、その発光によって周囲の蛍光体（主に黄色）を光らせることにより白色を演出しています。そのため、発光特性の向上や劣化原因の調査においては半導体チップ・蛍光体それぞれの発光...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

露点計の基本から用途別の選定例を解説&展示会出展

露点計選定でお困りの方必見！温湿度や露点計の選定例をわかりやすく解説し…

を進呈しております。 【掲載内容】 ■露点計選定の基本 ■露点計の原理 ■露点範囲・精度による用途別選定例 ■露点計紹介 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 半導体・電池・電力・化学・鉄鋼など、様々な業界に納入実績がある当社。 半導体向けの展示会「SEMICON JAPAN」に出展し、露点計・酸素濃度計・温湿度計・風速計を展示予定です。 皆様のご来場をお待ち...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクネ計測

固体分析　新サービス開始 （GDMS）

「多くの元素を感度よく測りたい!」というご要望にお応えします。 主成…

ワイドギャップ半導体材料として用いられるSiCやGaNは耐薬性が高いため完全溶解することができず、化学分析での不純物分析が困難でした。 一方、ワイドギャップ半導体市場が年々増加する中で、多くの元素を感度よく測りたい...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

気中ハンドヘルドパーティクルカウンタ『KC-52A』

タッチパネル式で多機能！多点モニタリングシステムに対応しています

『KC-52A』は、ISO 21501-4(JIS B 9921)に適合した 気中ハンドヘルドパーティクルカウンタです。 医薬品・飲料・食料品の製造工程やパッキング工程の環境管理、 半導体製造現場の環境管理、病院や医療現場の清浄度管理などに 適しています。　　　　　　　　　　　　　　 【特長】 ■粒径区分は0.3、0.5、1.0、2.0、5.0、10.0μm(6段階) ■パスワー...

メーカー・取り扱い企業： トスク株式会社(旧十慈フィールド)

NMR分析サービス

NMRで有機物から無機物まで、組成や分子構造を幅広く分析！ 検討から…

【分析事例】 ・電池/半導体：電解液の溶液 NMR や大気非曝露での多核・固体 NMR 測定 ・樹脂/ポリマー：樹脂成分やポリマーの組成・劣化解析が可能 ・食品/環境：食品・サプリメント中の成分の定量や劣化状態の分析 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

プラスチック、ゴム／柔らかい製品の測定はお任せください！

最短半日見積り／プラスチック、ゴムなどの柔らかい製品測定には非接触型測…

けに 留まらず曲面、表面粗さ、真円度もお受けしております。 30年以上にわたり、様々な取引先企業様へ加工部品を提供して参りました。 そこで得た検査の技術を元に計測サービスを実施しております。 半導体、自動車、電子機器、医療、食品など 幅広い業界との実績がございます。 詳しくはお問い合わせ、またはホームページをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価

TOF-SIMS、D-SIMS：二次イオン質量分析法

半導体製造工程において、不純物混入は特性や製造歩留まりの低下につながるため、早急な不純物元素の特定および量の把握が重要です。 MSTではTOF-SIMS(Static-SIMS)で不純物元素を定性し、検出された元素をD-SIMS(Dynamic-SIMS)で深さ方向へ定量するという、デバイス中の不純物評価が可能です。 本件では、無アルカリガラス中の金属不純物を測定した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201901-02 ナノメートルスケール局所構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

よるSiO2/SiC界面応力解析 ４．まとめ 【図表】 図１　近接場光を利用したラマン分光法 図２　AFM(Atomic Force Microscope)位相像、チューブの存在状態(S:半導体型、M:金属型）、各チューブのRBMスペクトル 図３　AFM-Ramanスペクトル、D/G比分布 図４　交点のAFM-Ramanスペクトル 図５　近接場ラマンの光学系 図６　SiO2/Si...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【特注加工・受託サービスのご提案】抽出・洗浄

超臨界二酸化炭素試験装置による抽出試験を実施！

溶剤抽出試験などの受託試験を行っています。 健康食品、医薬品、香料等の有効成分を原材料から 超臨界二酸化炭素を用い、抽出する技術で 二酸化炭素は気化するため乾燥工程が不要です。 また、半導体等の洗浄にも用いられます。 当試験は、国公立大学、国立研究機関、食品メーカー、医療品メーカーなど、 その他様々な業種での実施実績がございます。 お客様との打ち合わせを綿密に行い、ご希...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテック

高感度microDSC[セタラム インスツルメンテーション社製]

45℃～120℃の範囲で連続昇温、冷却測定が可能。

SETARAM社独自カルベ式に半導体センサーを組み合わせ、操作性に優れた高感度DSC測定を実現させました。Micro-DSCが広い応用測定に使える最大の理由は、超高感度DSCでありながらサンプル容器が検出部と分離して取り出せることに...

メーカー・取り扱い企業： DKSHマーケットエクスパンションサービスジャパン株式会社 テクノロジー事業部門

【精密寸法測定】精密部品の寸法測定に必要な設備と技術があります。

最短半日見積り／京都府最大級！自社品質管理スペースで検査・精密寸法測定…

昨今、あらゆる業界で製品の品質要求が高まっています。 特に試験・検査装置、電子機器、半導体装置の 精密部品 等は、非常に高い寸法測定精度が必要とされます。 その様な超高精度の部品を検査する体制と検査機器を持っている当社は、 これまで外部測定企業として、部品の「寸法測定・評価」の面でも...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【分析事例】LDI-MSによるフッ素系ポリマーの構造解析

フッ素系グリース、フッ素系潤滑剤、フッ素系オイル等の構造解析

フッ素系の高分子材料は化学的安定かつ様々な特性をもち、産業機械や半導体、エレクトロニクス分野で幅広く使用されています。LDI-MS（レーザー脱離イオン化質量分析法）は分子量数千程度のフッ素系ポリマーを分子のままイオン化できる分析手法であり、フッ素系ポリマーの繰り返し...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GaN基板の表面形状分析

AFMによるステップ-テラス構造の可視化

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム(GaN)は、パワーデバイスや通信・光デバイスなどの幅広い分野で用いられています。デバイスを作製するうえで、ウエハ表面の形状と粗さはデバイス性能に大きく影響します。GaNウエハを...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。 本資料では窒化シリコン（SiN）膜のバンドギャップ評価事例をご紹介します。 測定法：XAFS・XPS 製品分野：太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：電子状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【事例】GCIBを用いたSiO2中アルカリ金属の深さ方向濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にGCIB(Arクラスター)...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC基板表面および内部の不純物濃度測定

ICP-MS, GDMSにより基板表面と内部とを切り分けて分析

半導体材料に含まれる不純物は、リーク電流の発生やデバイスの早期故障等、製品の品質に影響する場合があります。従って、材料に含まれる不純物量を把握することは、製品の品質向上において重要です。本資料では、パワーデバイス材料として注目されているSiC基板について、基板表面に付着した不純物をICP-MS、基板中の不純物をGDMSで分析した事例をご紹介します。 測定法：ICP-MS・GDMS 製品分野：パワーデ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3 イオン注入ダメージ層の評価

イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認

や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法：TEM・AFM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CFRP炭素繊維強化プラスチック内部の繊維配向解析

X線CTによるCFRPの解析事例

FRP内部の繊維構造についてX線CTを用いて観察しました。その結果、直径約7μmの炭素繊維の集まりを観察することができ、また繊維の配向性解析を行いました。 測定法：C-SAM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス・LSI・メモリ 分析目的：形状評価・故障解析・不良解析・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】分子動力学計算を用いたアモルファスSiNx膜構造解析

シミュレーションによってアモルファス膜のミクロな構造解析が可能です

アモルファスSiNx（a-SiNx）膜は、N/Si比などの組成変化によって半導体から絶縁体まで物性が大きく変化することから、トランジスタ用ゲート絶縁膜など幅広い用途で用いられています。一方、結晶性のないアモルファス構造の材料に対し、原子レベルのミクロな構造解析を行える実験手法...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

半導体デバイス製造において汚染工程を調べるため、不良の原因となる薄い付着物が何に起因するかを調べる必要があります。EDXでCが検出され、XPSで定量を行った付着物について、TOF-SIMSで分析を行いました。各工程で使用している標準試料の手袋と比較をしたところ、手袋A, Bと似た傾向が見られました。更に、標準試料の手袋をSiウエハに付着させて検証をしました。その結果、手袋Aに類似していることがわかりまし...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】粘着シートによる電子部品の汚染評価

有機汚染の定性・定量・分布を複数手法の組み合わせで評価

半導体デバイスの製造工程では、ダイシング用テープなど様々な粘着シートが使用されます。粘着シートは異物・汚染の原因となることがあります。そこで、本事例ではTOF-SIMS・SWA-GC/MSを用いて複合 的に評価した結果をご紹介します。TOF-SIMSでは、粘着シート各材料の定性を行うことで、異物・汚染がどの粘着シートに起因するのか、また粘着シートのどの層に起因するのか同定が可能です。またSWA-GC/...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。 ※High-Angle Annular Dark-Field： 原子量（Z)に比例...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

半導体や液晶などの製造が行われているクリーンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドーパント、金属などが挙げられ、成分に応じて分析方法は異なります。 ここでは凝集性有機物質の詳細と、代表的な捕集方法である“吸着剤捕集”と“ウエハ暴露捕集”について紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによる腐食性ガス分析

製品に悪影響を及ぼすガスを確認できます

エッチングガス等の腐食性ガスは、半導体や電子部品、装置等の劣化に大きな影響を与えます。 以下に、TDS(昇温脱離ガス分析法)を用いて腐食性ガスを捉えた事例を示します。腐食性ガスであるHClが、試料の昇温に伴って脱離することが確認され...

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【分析事例】成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価

ベベル部近傍にて金属成分の定量的な評価が可能

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点からウエハ裏面に残留する金属を除去することが求められており、金属成分の残留量を定量的に把握することが重要です。 ベベル部から500umの範囲で裏面に残留する金属濃度分布を調査するため、TOF-SIMSを用いて評価を行いました。TOF-SIMSはベベル部近傍のみの金属成分を検出する空間分解能を有しており、濃度既知の標準試料を用いることで濃度を定量的に算出する...

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【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定

XPS：X線光電子分光法など

高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理、搬送、測定を行うことで表面酸化、水分吸着を抑えた評価が可能です。 ■適用例 ・半導体電極材料 　剥離面の評価等には二次汚染、酸化の影響を抑えて評価ができます。 ・有機EL材料 　開封から不活性ガス雰囲気下で作業を行うことで、材料の劣化を防ぎます。 ・Li等電池材料 　L...

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【分析事例】HF処理前後における骨の状態評価

ラマン分析を用いた薬液処理前後の状態評価

HF（フッ化水素）は、SiO2のウェットエッチング処理等で広く用いられており、半導体製造プロセスにおいて非常に重要な役割を果たします。しかし、一方で皮膚に触れてしまうと浸透し、骨を侵してしまうため非常に危険な薬品であり取り扱いには注意が必要です。 このHFによる骨の侵食は、アパ...

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【分析事例】イメージセンサの拡散層形状評価

試料解体から測定まで一貫して対応します

本資料では、スマートフォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。 半導体のp/n型を判定可能なSCM（走査型静電容量顕微鏡）を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評価しました。今回、断面と平面のSCM結果を組み合わせることで、相補的かつ広範囲の情報が得られまし...

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【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

IC（イオンクロマトグラフ）法でアミン類の測定が可能です

水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。 Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC...

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