くさび形切削法膜厚計

くさび形切削法膜厚計は乾燥した塗膜の膜厚測定に使用します

目盛りを読み取り、膜厚を換算します。膜厚計は計測に必要な専用カッター（交換可）、測定用顕微鏡、照明装置が一体となっています。デジタル膜厚計で測定できなかった金属以外の素地（樹脂素地など）や多層膜の膜厚測定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： オールグッド株式会社

【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定

X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です

活かし、実用化が進みつつあります。有機ELデバイスは有機膜を積層させて作製しますが、有機膜積層状態での有機膜分析を行うことは困難でした。今回、XRR法を用いることによって、積層状態のまま、有機膜の膜厚測定および密度測定を行うことが可能となりました。 結晶質、非晶質を問わず、積層膜の膜厚および密度の分析が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価

多点マッピング測定により膜厚分布を可視化

蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。 本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。 多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundamental Parameter)法を用いてAu膜厚を算出し、測定座標より膜厚分布の評価をすることが可能です。...詳しい...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程か ら膜厚を見積もることが可能です（式１）。 XPSでは非破壊かつ簡便に、広域の平均情報として基板上の薄膜厚みを...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202304-01 エリプソメトリーを用いた薄膜評価

エリプソメトリによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 分光エリプソメトリーは光の偏光状態の変化を測定し、光学定数（屈折率・消衰係数）や膜厚を評価する手法として知られている。2021年に導入した高速分光エリプソメトリーM-2000UIによる、PVA膜スピンコート直後の経時変化とシリコン絶縁膜の傾斜エッチング評価について解析例...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】シームレスカプセルの三次元構造観察および膜厚解析

X線CTによりシームレスカプセルの評価・解析が可能

シームレスカプセルとは、球形の継ぎ目のないカプセルで、内部に粉末や液体を内包することができ、医薬品などに利用されています。 本事例では、X線CTにてシームレスカプセルの3D構造を評価しました。その結果、皮膜内部に異物が確認されました。また、皮膜の膜厚分布を3Dイメージおよびヒストグラム化しました。このようにX線CTを用いることで、内部構造の確認、異物の調査、膜厚分布等を非破壊で評価可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

塗膜乾燥時間測定機 （ドライングタイムレコーダー）

塗膜乾燥時間測定機は塗料がウエット膜から乾燥膜へと変化する時間を計測す…

一定の膜厚に塗工した塗料の上に測定針をセットします。測定針が設定時間に合わせて300mmの距離を移動していきます。その間に塗料が徐々に乾燥していくため、針が進んだ後の塗膜状態が変化していきます。塗膜の状態が変化した部分で、本体左側の時間目盛を読み取り、各ステージごとの時間を確認します。針の痕が付かなくなった時点が完全に乾燥した塗膜となります。最大で10レーン同時測定ができ、5つのトラックで異なる時...

メーカー・取り扱い企業： オールグッド株式会社

【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

ステンレス(SUS)は耐食性に優れ、様々な工業製品・部品として使用されています。腐食に強い材料ですが、経年劣化や加工処理によって表面不動態皮膜の組成に変化が生じると不具合の原因につながります。今回、TOF-SIMSを用いてステンレス表面の金属酸化膜の状態について分析した事例をご紹介します。TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ること...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

大気下におかれた金属銅（Cu）の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。 市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」粉末をTOF-SIMSにより深さ方向分析を行うことで、各状態に応じて特徴的な分子イオンの取得が可能であることがわかりました。 これらの分子イオンを用いて、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ボンドテスター『MFMシリーズ』

半導体・電子部品・フィルムなど幅広い製品の製造工程で活躍。多機能型の接…

『MFMシリーズ』は、独自開発の特許技術を搭載し、電子部品等の強度試験や ワイヤーボンディングの引張試験など様々な測定が行える試験機です。 米国特許取得の垂直位置移動技術「VPMテクノロジー」でダイ/チップの薄厚化に対応し、 100μm厚のチップでも素子破壊や位置ずれを発生させずシェア試験が可能。 また、「パッシベーション（切削せん断）試験」技術により、 表面保護膜（パッシベーション...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察

低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます

密度が低い膜について、高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置に...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 202001-01 in-situ STEM

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

【要旨】 近年、高感度ならびに低消費電力デバイスの需要が高まり、スピントロニクス分野では磁気メモリや磁気センサーなどが注目を集めている。これらのデバイスには、高い磁気抵抗効果が得られることからMTJ（magnetic tunnel junction）構造が広く用いられている。このMTJ構造は数nm程度の薄い積層膜から成り、原子レベルでの膜厚やラフネスおよび結晶性が特性を左右する。また、アニール温...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分散】トクシキの分散受託

分散・混合がうまくいかない・・・。危険物を取り扱える量産設備がない・・…

度計（レーザー回折・動的散乱）・EDX-SEM・光学顕微鏡・粘度計(E型、BM型、BH型、ザーンカップ）・色差計(反射)・測色計(透過・反射)・グロスメーター・ヘイズメーター・屈折率計・接触角計・膜厚測定器・表面形状測定機(膜厚測定)・スピンコーター・グラビア試験器・バーコーター・アプリケーター・UV照射機(メタハライド・高圧水銀灯)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トクシキ

【分析事例】IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

透明酸化物半導体であるIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいます。 IGZOは膜の組成・酸素欠損の有無・結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加熱温度の異なる3種類のIGZO薄膜の結晶性・膜厚・膜密度をXRD・XRRにて測定し、比較を行った事例をご紹介します。高温では結晶化が進み、膜密度が高くなっている様子を非破壊で確認することが...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

抗菌性無電解めっき『テクノフォスAg』-抗菌性表面処理

複雑な形状も均一な膜厚処理が可能！従来のテクノフォス処理に抗菌性を付与…

『テクノフォスAg』は、従来のテクノフォス処理に抗菌性を付与した 無電解めっき処理です。 非粘着性や撥水性など性能はテクノフォスと同等の性能。 複雑な形状に対しても均一な膜厚で処理が行えます。 また環境負荷物質などは使用していません。 【特長】 ■テクノフォス処理に抗菌性を付与した処理 ■非粘着性や撥水性などテクノフォスと同等の性能を発揮 ■複雑な形状に対しても均一な膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社旭プレシジョン 京都西工場

【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価

球体形状試料の評価事例

AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。 またサブμｍの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。 以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

半導体分析

各種半導体の様々な目的に合わせて、各種手法で分析が可能！

半導体の微細な形状の観察、結晶性評価、不純物濃度測定、硬度測定、故障解析など　各種手法により研究開発のサポートを致します。...半導体材料分析項目 原子レベルの構造観察、結晶構造、転位密度、膜厚 表面形状、断面構造(膜厚) 結晶性(面方位)、積層膜の周期構造 表面組成、結合状態、深さ方向分布 不純物濃度、深さ方向分析 結晶構造、応力歪 構成元素、組成 表面のヤング率、硬度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 （クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。）...詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせくだ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

測定装置・分析装置の受託開発サービス

お客様の用途に応じた測定装置・分析装置を開発！今まで振動・地震などの測…

当社の『測定装置・分析装置の受託開発サービス』についてご紹介です。 創業以来数多くの測定装置・分析装置を手掛けてきました。 各種センサーや、測定方法のノウハウは、それぞれのお客様がお持ちですが、 ソフトウェアも含め電気部分の構成は、どの装置も比較的良く似たものになります。 我々の持つその電気部分のノウハウは、きっとお客様の測定装置・分析装置開発 に役に立てていただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社データ・テクノ

【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。 今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。 本資料では窒化シリコン（SiN）膜のバ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ご希望者全員プレゼント！表面分析の基礎と受託分析事例

〈XPS・TOF-SIMS〉 表面分析とは何か・表面分析の種類等、基…

表面分析のご検討に役立つ基礎解説・分析事例をまとめてご紹介します。 お手元に置いて、分析サービスのご検討にぜひご活用ください。 ★ご希望の皆様全員に無料でプレゼント★ 【お問い合わせ】より、「カタログ送付希望」にチェックを入れてお申し込みください。 ※【PDFダウンロード】よりダイジェスト版をご覧頂けます。 ...★掲載内容★ 　■表面分析の基礎 　　　・表面分析とは？ 　...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD（原子層堆積）装置』

ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…

ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...

メーカー・取り扱い企業： ワッティー株式会社

【分析事例】Oリングの使用履歴による形状評価

X線CTにより部品の非破壊観察・厚さ分布解析が可能

X線CT分析では、部品の構造や寸法を非破壊で比較・調査することが可能です。本資料では、真空装置に使用されているゴム製のOリングの測定事例を紹介します。ガスがリークしている長時間使用品を調査するため、Ｘ線CT分析および三次元画像解析を行い、新品のデータと比較しました。その結果、長時間使用品は局所的にリングの太さが細くなっている箇所が検出され、そこからリークが起きていることが示唆されました。 測定法...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

『自動塗膜評価試験機』

1台で様々な塗膜評価に対応！自動化により、正確な評価試験を安定して実施…

『自動塗膜評価試験機』は、全自動でクロスカット試験、 引っかき硬度試験(鉛筆法/荷重針法)、摩耗試験が行える装置です。 テストピースをセットし、液晶タッチパネルで操作するだけで使用でき、 人による作業で懸念される不安定要素がなく、正確な試験結果を検出可能。 保護カバー付きでクロスカット試験も安全に行えます。 【特長】 ■正確な速度、荷重、方向で試験可能 ■金属素地上の塗膜...

メーカー・取り扱い企業： オールグッド株式会社

【分析事例】ABF-STEM観察によるGaNの極性評価

Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です

パワーデバイス・光デバイスとして実用化されているGaNは六方晶ウルツ鉱構造をとり、c軸方向に結晶学的な非対称性（Ga極性とN極性）が存在します。Ga極性とN極性ではエピタキシャル膜の成長プロセスが異なるほか、結晶の表面物性・化学反応性も異なります。 本資料では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にG...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

サービス　実験・受託加工

粉砕・乾燥・加熱・冷却・混合・造粒・表面改質等各機種による実験が可能で…

全ての装置・技術に対して実験対応しています。実験をご希望の際はお気軽にお問い合わせ下さい。また、受託加工もお受けしています。...【特徴】 ○全ての装置・技術に対して実験対応しています。受託加工もお受けしています。 ○実験・受託加工機器 　　・各種機器による実験・受託加工が可能です。 ○分析測定機器 　　・比表面積径測定装置 　　・粒度分布測定装置 　　　　ロータップシェイカー、シー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良機械製作所

『厨房フード・排気ダクト清掃』

安定的な操業の確保に！厨房フード・排気ダクト清掃のご提案

赤門ウイレックス株式会社では、火災予防の見地から数多くの厨房排気 ダクト清掃を行ってきました。 多くの火災の原因は、排気ダクトが清掃されていない為、油塵がダクト 表面に付着し、延焼してしまうことが調査の結果わかっています。 当社の清掃はダクトだけでなくフード・フィルター・防火ダンパー・排気 ファンの油塵も除去します。防火ダンパーも清掃を行わないと火災の際に 不作動や作動に時間が...

メーカー・取り扱い企業： 赤門ウイレックス株式会社

【マンガでわかる】表面コーティングで樹脂成形の不良解決！

マンガ資料＆事例資料を進呈中！機能性表面処理技術で離型性・非粘着性・防…

総称です。 バリエーションは100種類以上を展開。表層数μmの機能性皮膜により、成形現場におけるさまざまな問題を解決いたします。 また、大手メーカーの金型に多数図面指定されているほか、膜厚測定等のアフターサービスも実施しております。 【こんな課題を解決します】 ■樹脂・ゴム材料・エラストマーなどの離型、成形不良 ■機械部品のカジリ、導電不良、シール漏れ ■金属部品の摺動不良...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本プロトン

【分析事例】高電子移動度トランジスタの評価

Csコレクタ付STEMにより結晶整合性および組成分布の評価が可能

GaN系高電子移動度トランジスタ「GaN HEMT（High Electron Mobility Transistor）」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層が得られ、電子移動度が高くなります。 本資料では、市販のGaN HEMTデバイスを解体し評価した事例をご紹介します。 HAADF-STEMにより、AlGaN/GaN界面近傍の結晶整合性を確認しました。また、EELSによ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT 二次元電子ガス層評価

製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です

GaN系高電子移動度トランジスタ「GaN HEMT（High Electron Mobility Transistor）」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層（2DEG）が得られ、電子移動度が高くなります。その特性を用いて急速充電器などで活用されています。 本資料では、ノーマリーオフ型のGaN HEMTデバイスを解体・評価しました。 分析手法を複合的に活用し、試料の総合的な...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

アルミニウム電極表面のOHやフッ化物は電極の腐食原因の一つであり、アルミニウム表面の状態を調査することは不良原因の調査に欠かせません。TOF-SIMSは最表面での深さ方向分解能に優れ、無機物の状態をモニターしながら高感度に深さ方向分布を測定することが可能です。OHと併せて深さ方向分布を評価することで、酸化膜厚の変化を伴わずにOHが増加していた現象を見出しました。このようにTOF-SIMSでは元素分...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

金めっきの工程のご紹介

「金めっき加工」承ります！銅製の製品も内側まで対応いたします。

当社が行う「金めっき加工工程」をご紹介します。 【金めっきの工程】 ■1.事前の検品 ・めっきを行う前にキズ等が無いかの検品 ・キズがある場合や艶が必要な場合は研磨 ■2.洗浄 ・めっきを行う前に汚れ油等を取り除く為に水洗い ■3.ラック掛・針金掛 ・めっき浴に入れ、電気を通す為にラックや針金に吊るす ■4.脱脂　・表面上の不純物を取り除く為に、電解脱脂や酸・アルカリ洗浄 ...

メーカー・取り扱い企業： 高木金属株式会社

【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もります（式１）。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

配線材料として用いられる銅（Cu）は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅（Cu）と、ビニール袋に入れた銅（Cu）をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査により、再現性が得られていることを確認しました。 TOF-SIMSは酸化物や金属など無機物の深さ方向分析...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

TOF-SIMSで得られる分子情報の深さ方向分析では、（1）深さ方向分解能が良い、（2）酸化物・窒化物・ふッ化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、（3）微量な状態の評価が可能、（4）OHのモニターが可能、（5）相対的なサンプル間の比較（膜厚・組成）が可能、（6）イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。 自然酸化膜と酸化膜の結果をまと...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析

薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能

CIGS薄膜太陽電池の高性能化を目指した開発において、光吸収層の成膜プロセスの条件最適化が必要とされており、CIGS組成の組成分布の制御が重要になっています。 成膜したCIGS薄膜の組成について、ICP-MSで高精度に定量した事例、SIMSで深さ方向に濃度分布を評価した事例、およびXRFにて基板面内の濃度分布を評価した事例を紹介します。 測定法：SIMS・ICP-MS・XRF・エッチング 製...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST