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      • 1nmフィードバックステージコントローラ FC-911 製品画像

        1nmフィードバックステージコントローラ FC-911

        1nm分解能で位置決めステージを制御!

        1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、…

      • 5nmフィードバックステージコントローラ FC-611 製品画像

        5nmフィードバックステージコントローラ FC-611

        検査や研究を効率化!5nm分解能で位置決め制御ができます。

        5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っ…

      • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-511 製品画像

        10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

        10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!

        10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を…

      • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111 製品画像

        サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111

        100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで再現性が取れる!

        サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)…

      • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411 製品画像

        サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

        50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向上に!

        サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制…

      • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-514 製品画像

        10nmフィードバックステージコントローラ FC-514

        10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

        10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を…

      • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414 製品画像

        サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414

        50nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

        サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制…

      • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114 製品画像

        サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114

        100nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

        サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)…

      • 総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版 製品画像

        総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版

        リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ!百mmオーダーのストローク!

        シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 (フィードバックステージシステム)の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバック…

      • 1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

        1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

        リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm

        光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大…

      • 5nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

        5nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

        5nm分解能で位置決め!再現性に優れ、可動距離がミリオーダー

        ■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより5nm分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で…

      • 10nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

        10nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

        10nm分解能で位置決め!再現性に優れ、20~200mmストロークのステージ

        ■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性…

      • サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

        サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

        サブミクロン分解能で位置決め!エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20~400mmストロークのステージ

        ■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分…

      • 真空対応1nmフィードバックステージシステム 製品画像

        真空対応1nmフィードバックステージシステム

        リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm 真空チャンバー内で使用できるステージ

        光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピ…

      • 真空対応5nmフィードバックステージシステム 製品画像

        真空対応5nmフィードバックステージシステム

        真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm

        光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 …

      • 真空対応10nmフィードバックステージシステム 製品画像

        真空対応10nmフィードバックステージシステム

        真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm分解能で位置決め 可動範囲最大100mm

        ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用でき…

      • 真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム 製品画像

        真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

        真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動範囲最大100mm

        ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能(0.1μm or 0.05μm)の再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの…

      • 1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY 製品画像

        1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

        【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました!

        光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダ…

      • 1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY 製品画像

        1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

        【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました!

        光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが…

      • 1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY 製品画像

        1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

        【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました!

        光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが…

      • 真空対応5nmフィードバックステージ 50mm動作 製品画像

        真空対応5nmフィードバックステージ 50mm動作

        真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めステージ

        アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御によ…

      • 真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

        真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作

        真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

        アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し…

      • 真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

        真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作

        真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステージ

        位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰…

      • 真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作 製品画像

        真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作

        【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で50mm動作の高性能位置決めステージ

        真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズド…

      • 真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

        真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作

        【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステージ

        アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため…

      • 真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

        真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

        【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性能位置決めステージ

        アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドルー…

      • 真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作 製品画像

        真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作

        【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステージ

        アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドルー…

      • ジョグコントローラ JC-01 製品画像

        ジョグコントローラ JC-01

        手元で簡単操作 位置決め対象を見ながら操作ができる

        位置決め装置のステージコントローラ(シグマテック製)を手元で操作することができます。 ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作(ティーチング機能)を実行することができ…

      • リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置 製品画像

        リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置

        【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバックステージ】で高分解能に位置決めができる。

        [新型フィードバックステージコントローラの特長] 従来品との互換性を残しつつ、 ・通信コマンド数の増加 ・ティーチング機能追加 ・USBインターフェース追加 ・パラメータ数増加 などの追加…

      • シグマテック株式会社 会社案内 製品画像

        シグマテック株式会社 会社案内

        正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします

        シグマテック株式会社は、埼玉県飯能市にある、精密位置検出器の製造 および販売や精密位置決め機器の製造および販売等を行っている会社です。 光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、独自のフィー…

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