【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程か ら膜厚を見積もることが可能です（式１）。 XPSでは非破壊かつ簡便に、広域の平均情報として基板上の薄膜厚みを算出することが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハ表面の微小異物分析

加工無しで30nmサイズの組成分析が可能

AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法であり、製造工程において表面に生じた汚染や異物の組成を調べる際に有効な分析です。基板などの母材の情報を検出することが少ないため、異物など異常箇所のみの情報を前処理加工などを行わず簡便に調べることが可能です。また面分析を行うことで元素分布像を得ることができます。 本事例ではSiウエ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

製品開発や問題解決への技術情報を凝縮！「2022年 CKD技報」

自動化を革新するための課題、問題解決への技術・研究開発の成果を技術情報…

チ紹介 農業分野機器における遠隔制御・監視技術の確立 活性炭フィルタのシロキサン除去性能評価 レタス栽培に於ける風によるチップバーン抑制効果 透明体検査技術 薬品包装機の位置合わせ技術 基板のボンド検査技術 アクチュエータの比例制御技術 サーボゲイン自動調整システム“NiEAT” 全体最適への生産性改善活動　を掲載しました！...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

【分析事例】イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温PL

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

陥の度合いや結晶性の回復度合いを確認することは、製造プロセスを制御するにあたり重要と考えられます。低温下におけるフォトルミネッセンス(PL)測定は、これらを調査する際に有効な手段の一つです。 Si基板にイオン注入を行った後、アニール処理を行った試料のPL測定例を示します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】低分子シロキサンの定量分析

アウトガス中のシロキサンをngオーダーで定量します

シリコーン製品からアウトガスとして発生するシロキサンは、揮発しやすく基板等に付着しやすい成分です。シロキサンが付着すると、光学系レンズの曇り、膜の剥離や密着不良、リレー回路の接点障害などの悪影響が出ることが知られており、シロキサンのアウトガス量を調査しておくことは重要で...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによるSiN膜の昇温脱離ガス分析

薄膜の表面吸着ガス、膜中からの脱離ガスを評価可能

Si基板上SiN膜に関するTDS分析結果を示します。 100℃近傍までの低温域では脱ガスが少なく、試料の表面に吸着成分が少なかったことが分かります。 一方、試料の温度が上昇するに従い、m/z 2（H2）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別

TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です

電子材料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン（TiO2）には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料（写真1）について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型Ti...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析

非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解…

二酸化ケイ素（SiO2）は半導体における絶縁膜・FPDの基板材料・光学材料・医療機器から装身具に至るまで幅広く用いられていますが、非晶質であるガラスとして構造解析を行うことは非常に困難です。ガラス中でSiO2が環状に結合することに着目し、ラマン測定を行いまし...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによる温度保持中の脱ガス評価

温度保持中の脱ガス強度の変化を調査できます

TDSは高真空中で試料を昇温、または温度を一定に保持した状態で、脱離するガスをリアルタイムに検出する手法です。 Si基板上SiN膜について350℃で温度を保持し、H2の脱離量を調査した例を示します。 単純昇温では500℃付近に脱ガスピークが確認されましたが、350℃で温度保持中はH2の検出強度は低下し、再昇温時に脱...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価

凹凸のある構造でも平坦化加工により深さ方向分布評価が可能

ることがありますが、この凹凸が深さ方向分析における深さ分解能の劣化を招きます。 テクスチャ凹凸面に平坦化加工を施すことにより深さ分解能の劣化を抑えて深さ方向濃度分布を評価した事例と、バックサイド(基板側)から分析を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】フラックスの洗浄残渣評価

微小・極薄の残渣をイメージとして捉えます

リーハンダ導入に伴い、フラックス成分も改良（活性度が高い、熱耐性がある等）が進み、腐食性が大きくなり、残渣の問題も重要度を増しています。そのため、フラックスを除去することが求められています。プリント基板電極部の異物について、TOF-SIMSを用いた分析を行った結果、フラックスの成分が検出されました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

御社の課題に合わせて特注品・カスタム品1枚から対応致します。

規格品では合わない、もっと形をこうして欲しい、一部できない加工がある等…

.当社お客様の要望や課題に適った工法や仕様を考えて形にしています。 お客様の「これはできないか？」、「こういった材料無いか？」等構想段階でも社内でできることを提案しながら実現させています。 プリント基板自体種類も多くなり、どんなことができるのか迷ってしまいますが そのような中でも実際にヒアリングしながら、進めさせていただいています。 2.PCBやFPC問わずですが、材料メーカーや厚み、特性、種類...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プリント電子研究所 本社

IBSコート光学系 ::::: 波長セパレータ・フィルタ各種

ショートパスまたはロングパスといった様々なバンドパス仕様に対応します。

● 高い消光比 ● 低吸収UV・IRグレード溶融石英基板 ● ハイパワー用途に最適化 ● ショートパスまたはロングパスといった様々なバンドパス仕様に対応 ● 短パルス仕様に最適化可能...

メーカー・取り扱い企業： サンインスツルメント株式会社 本社

マイクロ真空計

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

MEMS技術加工により、シリコン基板から熱分離された薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱電対真空計です。 構造を工夫することによって低圧側の測定幅を広げてあるのが特長です。 また、約0.8mm角のChipなので微小空間の圧力測定...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

薄膜、強力粘接着PET基材両面テープ 「400P」シリーズ

強力接着、加工性良好 PET基材両面テープ

層 【特徴】 信頼性の高い粘着力 耐反発性、曲面追従性 高い寸法安定性・加工性良好 【用途】 電子部品・部材の固定 軽薄短小のモバイル電子機器の部品固定 フレキシブルプリント基板（FPC）の固定...

メーカー・取り扱い企業： KGK 共同技研化学株式会社 埼玉県所沢本社・工場、群馬県富岡工場、東京都池袋事業所

洗浄剤『US-CLEAN』

高い安全性！希釈して使用するため経済的！水系・中性・弱アルカリ性をご用…

レン、パークロロエチレンなどのベーパー洗浄とほぼ同等の脱脂力を発揮 　・水で希釈して使用できるので、洗浄液コストが安価 ■水系洗浄剤（強力アルカリ洗浄） 　・水溶性なので取り扱いやすい 　・基板へ多量に付着したフラックスの洗浄が可能 　・希釈して使用するため経済的 ■中性洗浄剤（塗料・粘着物除去洗浄剤） 　・溶剤と比べて危険性が少なく、引火点もないので安全性が高い 　・水で希釈して...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスエヌディ

【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価

球体形状試料の評価事例

AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。 またサブμｍの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。 以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

防爆振動センサー『防爆コナンエアー』

防爆環境下の機械故障予知を遠隔監視でモニタリングが可能

危険場所(zone1)でも使用可能。 ・設置、操作が簡単で導入がしやすく、詳細のデータを容易に取得できるため日々の「予知・予防保全」の運用に貢献します。 ・非防爆コナンエアーと共存利用が可能。（内部基板とソフトは同一です。） ・設備管理システムやIoTなど他のシステムでのデータ利用が容易です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナデン 本社

ケーブルテスター　UTRON『UT8080A』低電圧・導通・絶縁

少ポイント数での基板検査に好適です。 導通抵抗/絶縁抵抗検査、自己診…

名機『UT8080α』の改良型テスター 使いやすさを追求し、操作キーを装置前面に配置。 自己診断機能搭載で安心して運用して頂けます。 【特徴】 ・シンプルな操作性 ・小数ポイント(128,256,384,512)に特化した装置 ・自動自己診断機能あり。 ・導通抵抗検査、絶縁抵抗検査対応 ・ステップ検査も対応可能 ・コンパクトな筐体　 ・様々な変換アダプター、サーチ棒付属 ...

メーカー・取り扱い企業： 太洋テクノレックス株式会社 本社　和歌山

後酸化式スパッタリング装置

多層の光学薄膜に最適な後酸化式スパッタリング装置です。

特長 ■後酸化方式の採用で高生産性を実現 ■優れた膜厚均一性±１％以下を実現 ■水平基板搬送による全面スパッタが可能...

メーカー・取り扱い企業： 芝浦メカトロニクス株式会社

多層プリント配線板用材料

短時間成形タイプの多層プリント配線板用材料　「ニカプレックス」

■短時間成形タイプのため、生産性の向上が図れます。 ■幅広い成形条件に適応できます。 ■ロール形状での供給ができます。...　永年にわたり蓄積されたプリプレグ製造技術と積層技術をベースに、お客様サイドに立ち「使い易い材料」を徹底追求した材料です。多層用銅張積層板とプリプレグは信頼性の高い性能に加え、コストパフォーマンスにも優れ幅広い用途に対応できます。...

メーカー・取り扱い企業： ニッカン工業株式会社

フィルターハウジンク゛　フィルター　SHタイプ

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカートリッジ安価　バグフィルターハウジング　半導体用フィルターハウジング　プリント基板用フィルターハウジング　自動車塗料用フィルターハウジング　糸巻きフィルターカートリッジ　ポリプロピレンフィルターカートリッジ　コットンフィルターカートリッジ　井戸水ろ過　クリーンエネルギー　バイオマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

【分析事例】X線によるZn系バッファ層の複合評価

組成・結合状態・構造・密度の評価が可能

CIGS薄膜太陽電池の高効率化において、光吸収層から透明電極までのバンド構造や結晶性の制御のために様々なバッファ層材料が検討されております。 平坦化された基板上に成膜したZn系バッファ層についてX線による各種評価を行った事例を示します。 成膜条件による水準間、成膜後の各種プロセスの水準間での比較が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】素子分離領域の歪解析

NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解…

中で回折する角度（電子回折スポット位置）の変化から、格子歪に関する知見を得ることができます。任意の晶帯軸入射方向で、デバイスパターンに合わせた測定が可能です。 素子分離領域（LOCOS周辺）のSi基板について測定した結果、熱処理温度・結晶方向によって歪量が異なっていることが確認できました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】GaN系LED構造中MgのSSDP-SIMS分析

裏面側からGaN系LED構造中の不純物プロファイルを取得可能

GaN系LEDにおいて、ドーパント元素であるMgが活性層まで拡散することにより発光効率が低下すると言われております。 本資料ではGaN系LED構造試料において、表面側及びサファイア基板側(裏面側)からSIMS分析を行い、Mgの深さ方向濃度分布を評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

XBA-φ130mm大流量フィルタ

超大流量/φ130ｍｍ/ウェットプロセス最適！

・適用領域 ◆大流量のLCD製造工程 ◆電子機械の製造設備 ◆工業用水 ◆ガラス基板の研磨、洗浄など ◆ウェットプロセス工程でのケミカル薬液に使用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デオボス

メンティップ工業用綿棒　シャープ＆シャープ紙軸　

【無料サンプル差し上げます！】基板の清掃や細かい部分の清掃などに最適な…

綿球先端部は硬めに作成していますので綿球部がへたりにくくなっています。 ...綿球先端部は硬めに作成していますので綿球部がへたりにくくなっています。 細かい具分の清掃に適しています。 ■綿棒品番　シャープ＆シャープ紙軸　：紙軸　軸長75mm　　綿球径8.0mm（コーンシェイプ型）　両綿 ■■サンプルご希望の方は下記フォームよりお問い合わせ下さい。■■...

メーカー・取り扱い企業： 日本綿棒株式会社 本社

全自動両面クリーニングシステム

トレイやプラスチックシート、基板などの繊細な基材に最適です。

600mm巾と800mm巾タイプがございます。...凹凸のある微細な基材表面のダストを静電気除去・回転エアノズル・バキュームにより除去する、コンパクトな非接触インラインシステムです。 ◎より詳しい掲載内容につきましては、 　カタログをご覧頂くか、直接お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

ダイクロイックミラー/フィルター

ダイクロミラー、フィルター、ＩＲカットフィルター等の誘電体多層膜フィル…

ガラス・石英・シリコン等の基板に誘電体多層膜をコーティングし、光の干渉、吸収、反射などにより目的の機能を持たせる事が出来る、ミラー・フィルターです。 特定の波長を反射し、特定の波長を透過させ、目的の光を透過反射に分離する事が出...

メーカー・取り扱い企業： CBCオプテックス株式会社

汎用パワーリレー『DGシリーズ』

信頼と安全性を追求したパワーリレーシリーズ 『DGシリーズ』は、制御…

【特長】 ■高い信頼性と実績をほこる汎用ミニパワーリレー ■プリント基板搭載型です ■小型サイズにて、使い易い1極タイプのメークリレー ■テレビ用電源、オーディオ用電源、などに最適です ■海外安全規格にも、幅広く対応...

メーカー・取り扱い企業： 第一電機株式会社 本社・営業部

『レーザー微細加工機の導入＆課題解決事例集Vol.1』光株式会社

『レーザー微細加工機の導入＆課題解決事例集 Vol.1』を無料プレゼン…

加工機：大手電気機器メーカーでの事例 ◆ロール・トゥ・ロール　トリミング加工：大手パッケージメーカーでの事例 ◆研究開発向け多用途レーザー加工：研究開発用途での事例 ◆大面積レーザー加工：大型基板の加工用途での事例 ◆医療用デバイス レーザー加工：樹脂の高精度加工用途での事例 ※詳細な装置導入・加工実績事例については、小冊子をダウンロードしてご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 光株式会社

【分析事例】DRAMチップの解析

製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング

代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。 外観観察からレイヤー解析、Slice＆Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

両面アライメント付きロール to ロール露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

両面同時露光により高い生産性を実現します...FPC両面回路形成用露光機で､ロール状両面FCCLに､ドライフィルムをラミネートしたものに対し､両面回路を高精度で露光可能です｡ 両面同時アライメントを行い露光するため､FPCの裏表露光精度を高めることができます｡ また､両面同時露光を行うので､高い生産性が得られます｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

深紫外ＵＶＣｓｍｄ殺菌　単能器 ＪＸＳ1型

深紫外ｓｍｄを使った殺菌器の単機能機種です 主機能 ・深紫外ＵＶＣ…

　波長３９５－４００ｎｍ：効果用（：紫外は目に危険なため、ＵＶＡで可視化しています） ・Ｑｉワイヤレス充電出力：省略 ・磁気 センサ ホール素子　蓋開閉スイッチ：省略 ・ケース材料：木質 ・基板材料：６－ＵＶｓｍｄ＋エポキシｐｃｂａ ・寸法：2２0*12０*55ｍｍ・重量：３５０ｇ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アソシエイト トレーディング 土屋 裕 v09018951120 qq3508274141 ttt@zd.wakwak.com

【製品開発・OEM製造事例】液体ハンドリング機器

微量液体を高精度に制御するノウハウを生かした超微量液体分注器を開発製造…

●X-Y-Z駆動機構 ●サンプリングノズル ●シリンジポンプユニット ●マイクロポンプ ●サンプルトレー ●制御基板 ●切替バルブユニット ●ノズル洗浄ユニット...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーイーエムシステム

フィルターハウジング　SAB-SS

フィルターハウジング専門の製造元です。設計、製作、販売のすべてを自社で…

濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカートリッジ安価　バグフィルターハウジング　半導体用フィルターハウジング　プリント基板用フィルターハウジング　自動車塗料用フィルターハウジング　糸巻きフィルターカートリッジ　ポリプロピレンフィルターカートリッジ　コットンフィルターカートリッジ　井戸水ろ過　クリーンエネルギー　バイオマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

【分析事例】水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例

ライフタイム制御サンプルのキャリア濃度分析事例紹介

パワー半導体デバイスでは、ライフタイム制御のために、Si基板内に結晶欠陥を形成することがあります。ライフタイム制御領域の作成に用いられる元素の一つである水素イオンの熱処理条件の違いによるキャリア濃度分布を評価した事例を示します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

フィルターハウジング　SAF-S

フィルターハウジング専門の製造元です。設計、製作、販売のすべてを自社で…

濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカートリッジ安価　バグフィルターハウジング　半導体用フィルターハウジング　プリント基板用フィルターハウジング　自動車塗料用フィルターハウジング　糸巻きフィルターカートリッジ　ポリプロピレンフィルターカートリッジ　コットンフィルターカートリッジ　井戸水ろ過　クリーンエネルギー　バイオマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

急速昇降温型・低温恒温器

急速昇降温型・低温恒温器

■急速昇降温型・低温恒温器 ＋100℃〜−40℃まで15℃／1分の降温性能と、−40℃〜＋100℃まで50℃／1分の昇温性能で、電子部品や基板の冷熱衝撃試験に最適です。 ※詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カトー

フィルターハウジング　SAF-LSD

フィルターハウジング専門の製造元です。設計、製作、販売のすべてを自社で…

濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカートリッジ安価　バグフィルターハウジング　半導体用フィルターハウジング　プリント基板用フィルターハウジング　自動車塗料用フィルターハウジング　糸巻きフィルターカートリッジ　ポリプロピレンフィルターカートリッジ　コットンフィルターカートリッジ　井戸水ろ過　クリーンエネルギー　バイオマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

フィルターハウジング　SAF-S

フィルターハウジング専門の製造元です。設計、製作、販売のすべてを自社で…

濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカートリッジ安価　バグフィルターハウジング　半導体用フィルターハウジング　プリント基板用フィルターハウジング　自動車塗料用フィルターハウジング　糸巻きフィルターカートリッジ　ポリプロピレンフィルターカートリッジ　コットンフィルターカートリッジ　井戸水ろ過　クリーンエネルギー　バイオマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

フィルターハウジング　SAF-LS

フィルターハウジング専門の製造元です。設計、製作、販売のすべてを自社で…

濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカートリッジ安価　バグフィルターハウジング　半導体用フィルターハウジング　プリント基板用フィルターハウジング　自動車塗料用フィルターハウジング　糸巻きフィルターカートリッジ　ポリプロピレンフィルターカートリッジ　コットンフィルターカートリッジ　井戸水ろ過　クリーンエネルギー　バイオマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

ADK-φ130mmフィルタ専用大流量ハウジング

超大流量/φ130ｍｍフィルタ専用/低価格を実現！

・適用領域 ◆大流量のLCD製造工程 ◆電子機械の製造設備 ◆工業用水 ◆ガラス基板の研磨、洗浄など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社デオボス

フィルターハウジング　SAS-LSX

フィルターハウジング専門の製造元です。設計、製作、販売のすべてを自社で…

濾過　フィルターハウジング短納期　ミネラルウォーターボトリング　再生可能エネルギー　カーボンニュートラル　フィルターカートリッジ安価　バグフィルターハウジング　半導体用フィルターハウジング　プリント基板用フィルターハウジング　自動車塗料用フィルターハウジング　糸巻きフィルターカートリッジ　ポリプロピレンフィルターカートリッジ　コットンフィルターカートリッジ　井戸水ろ過　クリーンエネルギー　バイオマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

【レーザー光学系】IBSコーティングの実力

「高LIDT（損傷閾値）・長寿命」「堅牢で環境に左右されないコーティン…

● R<0.01%　ARコーティング ● 吸収ロス <1 ppmのコーティング OPTOMANの特技 ● ナイフエッジ光学系のコーティング (edge chips <50 µm) ● 基板に対してアパーチャー100%を可能にするコーティング ● 部分分けされたコーティング ● ストレス補正されたコーティング (PV flatness <λ/20 @ 633 nm) ● 複数面あ...

メーカー・取り扱い企業： サンインスツルメント株式会社 本社