クリスタルゲージ『M-320XG』

優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定など...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオー...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表...

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コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管…

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 　・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コンパクト型ガス分析システム『Cシリーズ』

四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム

『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、 シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。 基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、 あらかじめ設定されている推奨オプション類を選択・付加することによって、 お客様のご用途に適したシステム構成とすることが可能。 シンプルでありながら、基本的なインターロック機能を標準装備し、 安...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現しています。 充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への 対応が可能など自動化装置・遠...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ...

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クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

POWERシリーズ　高性能クライオポンプ(小型)

吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現し…

POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。 【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節…

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、 超高真空装置用に適しています。 【特長】 ■熱と外部衝撃に強いシール部 ■微少ガス流量を安定調節 ■優...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

POWER Ecoシリーズ　高性能省エネルギー型クライオポンプ

小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性…

POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効［消費電力...

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ヘリウムリークディテクタ『HELENシリーズ』

ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能！高い感度、安定性、応…

『HELENシリーズ』は、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発した ポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 機動性を重視したコンパクトタイプの「M-212LD」やダイヤフラム ポンプを搭載した「M-212LD（-D）」、ハイパワーの「M-222LD」 など、さまざまな製品をご用意。 業界でも高レベルの感度、安定性、応答性を実現しています。 【特長】 ■イージー...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

表示器（1ch/3chタイプ）『M-601GC/603GC』

RS232Cインターフェース標準装備！優れた操作性で見やすい3タイプ表…

『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。 用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。 【特長】 ■ゲージ自動認識 ■大型デジタルLCD表示 ■RS232Cインターフェース標準装備 ■優れた操作性 ■見...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コンパクト型ガス分析システム『Dシリーズ』

パソコン制御による容易な測定が可能！四重極型質量分析計の応用技術製品

『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な ガス分析システムです。 パソコン制御による容易な測定が可能。 用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの 組み合わせができるフレキシブルな構成となっております。 【特長】 ■分析計は5機種より選択可能 ・M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM、M-401QA-M（高感度/高速）...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

アイソレイトバルブ『V-025SV』

特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止

『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『クイックカップリング』

クランプはAl合金に耐腐蝕性に優れたNiメッキ加工！加熱温度により"O…

当社では、取扱いが便利なISO規格対応の真空フランジを取り扱っています。 ISOではこれをQuick-release Couplingと呼び、呼び径10、16、25、40の 4種類の小型フランジについて規格化されています。 いずれもボルトは用いず、クランプで容易に着脱できる機能的な フランジです。また、このフランジを用いた各種の接続素子も 用意していますのでご利用ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

四重極型質量分析計『M-101/201QA-TDM』

高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトラ…

『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等 幅広く使用されています。 また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の 「M-070QA-TDF」もご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

四重極型質量分析計（高速測定/高感度測定）

2種類のイオン源から選択可能！高速測定/高感度測定が可能な四重極型質量…

キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な 高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。 m/Z＝1～410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MGSY/MUSY」や 8桁のダイナミックレンジで高感度の「M-401QA-MGHY/MUHY」をご用意。 UHV型（かご型）、ガス導入型（箱型）の選択が可能なほか、 低ガス放出のイオン源を採用...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接続可能。 そのため、自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても 使用できます。 【特長】 ■単極双投接点を備えている ■作動圧...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『電流端子』

超高真空領域まで使用可能！熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れていま…

当社では、セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した、 各種『電流端子』を揃えております。 これらの端子は、絶縁特性がよく機械的および熱的に丈夫で、 しかもリークのおそれがないという特性を持っています。 そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、 高い信頼性を得ています。 【特長】 ■実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 　　大気圧から高真空まで広い測定圧力範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『フォアライントラップ』

簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能！油分子を効率よく吸着します

『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 【特長】 ■超高真空領域用 ■大気混入なし ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社