脱泡機能付2軸スクリューポンプ『デフォーミングポンプ』

PR非接触ポンプでありながら高自吸（-10m）。味噌やチョコレート、ひき肉…

『デフォーミングポンプ』は、2軸スクリューポンプの特長である、非接触・無せん断・無脈動・無撹拌といった特性をもちながら 高自吸（-10m）の“脱泡液移送”を実現したポンプです。 軸封部が接液しないため、メカニカルシールは不要。 部品同士の接触が無く金属粉等のコンタミ発生の心配もありません。 脱泡装置が不要になるため、設備費のコストダウンが可能です。 【食品移送時のこんな課題を解決...

メーカー・取り扱い企業： 伏虎金属工業株式会社

真空チャック（標準タイプ 穴径φ0.5～）

ハニカムパネル製の真空チャックでコストダウンと軽量化！

モリシンの真空チャックは、従来型のポーラスや加工品等と比べて構造がシンプルで、かつ、軽量化による材料費の削減が図れるため、コストダウンが可能となった大人気商品です。 寸法は最小100mm角程度 ～ 最大20...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

真空蒸着装置『MiniLab-080』

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ロールtoロール方式　真空乾燥装置

【サンプルテスト受付中!】真空中でのロール搬送による各種処理が可能。タ…

真空中でロール搬送による各種処理が行えます。 主に2次電池の電極の乾燥に適しており、タクト短縮や処理品質の向上に効果があります。もちろん、2次電池以外の高機能フィルムやフレキ材の各種処理にも対応致します。 真空環境で連続均熱乾燥他各種の処理をおこない、搬送速度は最速1000mm／secです。排出ガスをリアルタイムで測定でき、水分量の測定も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイコー

チャンバー『真空発生チャンバー』

「びびりピタV」用の真空発生器内蔵チャンバー！

『真空発生チャンバー』は、真空発生器が内蔵された、びびりピタV用の チャンバーです。 常時エアーホースを繋ぐ必要が無いので、テーブル回転式の横型マシニング センタ、テーブル移動量の大きい門形マシ...

メーカー・取り扱い企業： 香川クレメン株式会社

ROLL to ROLL式　真空加熱乾燥機　【テスト乾燥実施中】

センサーとハロゲンランプによる高精度温度管理で熱膨張のダメージを最小限…

「ROLL to ROLL式　真空加熱乾燥機」は非接触温度センサーとハロゲンランプによる高精度な温度管理により、熱膨張のダメージを最小限に抑えた極板・フィルム向けの真空乾燥装置です。また、Roll to Roll方式を採用しています...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイコー

真空フランジ破壊弁『VFOB』

錆が影響しない仕様！メタルタッチ構造の真空フランジ破壊弁のご紹介

『VFOB』はメタルタッチ構造の真空フランジ破壊弁です。 シート部はメタルでありますが、そのシール性には優れたものがあります。 屋外使用にはバードスクリーン、防雨カバーもあります。 長期間においても、錆が影響しない様に考...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミハナ製作所

ケーブル　超高真空対応 PEEK(R)ケーブル

低アウトガス、高耐熱(250℃)、耐放射線性のPEEK(R)ケーブルで…

コスモ・テック株式会社は、1992年創業以来、真空コンポーネントの設計、製造並びにそれらに付随する製品の専門商社として研究開発から量産品まで、あらゆる段階でユーザー様の目線に合わせた商品を、高品質･短納期･適正価格で豊富な商品郡からご提案しておりま...

メーカー・取り扱い企業： コスモ・テック株式会社

真空成型機

様々な形状でも生産が可能！作業者に特殊技術を必要としません

当社の『真空成型機』は、お客様にとって購入しやすい低価格を実現し 多数台数を持つことが可能です。 大容量のリザーブタンクを搭載し、チャンバー内の650mmHg到達まで6秒。 打ち合わせから、試運転...

メーカー・取り扱い企業： 和光精機株式会社

【課題解決事例】真空環境・クリーンルーム内の長尺搬送

精密機器の搬送やクリーンルーム内での使用に適したニーズに対応可能！

当社の『TCGランナー』を導入した事例をご紹介いたします。 真空環境やクリーンルームでの搬送でステンレス製のボールねじを 使用していたが、たわみによる振動が懸念される為、1mを超える 長尺の搬送ができず、ボールねじに代わる直動部品を探していました。 導...

メーカー・取り扱い企業： 加茂精工株式会社 本社

脱泡機能付デフォーミングポンプ・撹拌機能付ブレンディングポンプ

脱泡できるスクリューポンプ・撹拌機能を持ったブレンディングポンプ

【デフォーミングポンプ（VQ型）】 コンパクト化が可能な真空脱泡方式を採用。 また、今までのスクリューポンプでは難しかった高粘度液を自吸する際の 脱泡が、従来の二軸スクリューポンプに真空発生装置を装着することにより、 可能となりました。 液を移送しな...

メーカー・取り扱い企業： 伏虎金属工業株式会社

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

マルチコンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」は、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 タ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

真空装置用冷凍機SUPCOLD

シンプルな構造で低価格を実現。消費電力、設置スペース、GWPの低減にも…

Supcold社は2011年に創業した新しい会社ではありますが、この分野では経験豊富なスタッフが事業に携わっています。基本設計は米国で、使用している主要部品の多くは米国、ヨーロッパ製を使用し、中国製ではありますが冷凍能力とその品質は、米日の水蒸気ポンプメーカー製と同等以上の性能を有しています。装置価格のみならず、メンテナンス（修理）費用も安価で迅速なサービス体制を有しています。 また、新冷媒を採...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

『びびりピタV』

素材を選ばず機械加工中の薄物ワークの振動を防止！

『びびりピタV』は、マシニングセンタなどで機械加工中の薄物ワークの 振動を防止することが出来る製品です。 真空チャック側はワークに、マグネット側をテーブルにそれぞれ吸着させて 使用。真空によるワーク吸着により、ステンレスやアルミ二ウムなど素材を 選ばない吸着が可能です。 さらにマグネットにはOn-...

メーカー・取り扱い企業： 香川クレメン株式会社

真空加熱乾燥　サンプルテスト

バッチ方式、Roll to Roll方式、2種類の乾燥実験設備です。

バッチ式タイプ 　加熱方式 ： 外部加熱 　冷却方式 ： 炉体外壁強制空冷方式 　最高温度 ： ～１５０℃ 　到達真空度 ： ５０Ｐａ以下　 　リークレート ：１ｘ１０Ｅ-８Pa ・㎥/ｓｅｃ以下 　温度制御 ： ３ゾーン 　炉内寸法 ： １５００ｍｍ 　　　　　　 １７００ｍｍ Roll to R...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイコー

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

縮Filmを生産 • 均一な基板温度に加熱可能 (基材の平坦化) • プラズマ区間（Treatment）がRewinding Chamberに位置してProcess Chamber•の高真空を維持 • Squeeze Valveを利用してProcess Chamberの真空を維持したまま、Winding Chamber Vent 及びFilmを交替 * 委託加工可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

テスラ・ランプチェッカー【HF-20】

石英管、バイアル瓶、アンプルのリークチェックや、金属面上にライニングさ…

『HF-20』は電球、電子管などの排気度（真空度）の検知や封入ガスの判定を行う検査装置です。 高電圧の波形は交流で、出力は4ステップ可変式 また、金属面上にライニングされた樹脂やゴム等のピンホール不良を検査するピンホール検査機としても使用可...

メーカー・取り扱い企業： 信光電気計装株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

*ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450） ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・最大基板サイズ：Φ8inch ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc) ・電子ビーム蒸着：7ccるつぼｘ６（...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ポリパラキシレン蒸着成膜装置

ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパ…

ン, ポリ・ジクロロパラエチレン（材料も販売可能です） ・パリレンC（ポリ・パラエチレン）は生体適合性に優れており、FDA認証も取得しております。 ・成膜プロセス:コーティングは、専用の真空蒸着装置を用い、室温にて実施されます。ダイマーと呼ばれる固体の顆粒状原材料を真空下で加熱すると、気化してダイマー気体となります。 この気体が熱分解してダイマーが開裂し、モノマー形態になり、室温の蒸着...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置

コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。超平坦化加工と…

ーイオンビーム）装置の特色】 ○試料保持ステージ ・被対象物にあわせてステージ作製し、X-Y-Z、自転、入射角を変更できる ・X-Y スキャンを行うことで、ビーム照射高均一性が得られる ○高真空動作圧 ・アガスクラスターイオン生成室とビーム照射室が分かれているため、照射雰囲気は10－3Pa台の高真空に保たれ、コンタミ発生やプラズマダメージを対象物表面に与えない ○反応性ガス ・対象物...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

オートプレッシャー・コントローラー　Multiple-APC

オートプレッシャー・コントローラー　Multiple-APC

各メーカー品との互換性を持ち バルブには安定したMFCを搭載するオートプレッシャー・コントローラー　 【特徴】 ○互換性のあるため、ユーザー様でも設置交換が可能 ○現在使用中の真空ゲージを活用するため 　既存品ゲージを無駄にすることがない ○APCの交換をオートプレッシャー・コントローラーで代替することで 　費用を大幅に削減 ○AC85V〜AC264Vの電流に対応...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

昇華精製装置　P-100 Series

昇華精製装置で数グラム単位の精製が可能です。

再析出ポジションを決める目安にすることができる ○精製状態を確認することができる ○排気系にはファイファー製ターボ分子ポンプとメンプレンポンプを使用し、 　完全ドライな排気系の設置により、クリーンな真空が容易に得られる ○大型サイズの液体窒素トラップを備えている ○メンテナンスの容易な構造 ○真空計には大気圧から高真空まで連続測定が可能なフルレンジタイプの 　真空計を装備 ○クローブボックスへの接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

MK INTERNATIONAL株式会社 会社案内カタログ

攪拌機器・真空濾過機・鍛造・鋳造品など幅広く取り扱っております！

『MK INTERNATIONAL株式会社 会社案内カタログ』は、 主に各種メカニカルシール、減速機、攪拌装置、反応タンクなどの 化学工業設備の製造販売ダンパー、真空濾過機、脱硫攪拌機などの火力発電所の 排煙脱硫設備の製造・販売を行っているMK INTERNATIONAL株式会社の 会社案内カタログです。 また、水ガラス・ロストワックスなどの鋳造部品や...

メーカー・取り扱い企業： MK INTERNATIONAL株式会社 本社・営業部

薄膜形成装置 エレクトロスプレー SLEF-100

室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高…

薄膜を形成致します 『電着による塗布』＋『X-Yロボット』＝ムダのない効率的な塗布！ マスク板を汚しにくく『お手入れも簡単』！ 【特徴】 ・小型な装置でスプレーコーティング ・高温・高真空下ではなく、室温・大気圧下で塗布 ・電着による塗布により塗液を効率的に塗布！ ・X-Yロボットを使用した正確なコーティング ・マスク板を汚しにくいので簡単お手入れ 【用途】 ・ディスプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

小型高電圧電源『GTシリーズ』

出力可変型で用途に合わせた電圧が得られる！幅広い用途にもお使いいただけ…

A）ので、安心して扱える ■保護回路が入っているので安全に使用できる（安全重視設計） ■コントローラーとカートリッジ間を結ぶケーブルは、24Vと低電圧 ■高電圧発生カートリッジはエポキシ樹脂を真空中で注型してあり高信頼性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテクノ

グリス吸引掃除機『OKACLEAN-G』

グリスやオイルなど高粘度を対象とした携帯型掃除機です。 グリスは～N…

ありません。作業後はビニール袋ごと捨てられます。 HPにて動画公開中です。【圧倒的な吸引力】をご覧ください 【特長】 ■～NO3のグリスまで吸引可能です。 ■動力はエアーのみ ■高真空が可能にする圧倒的な吸引力 ■簡単操作 ■簡単メンテナンス ■楽々回収容器 ■ホースは1.5mを標準にてご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ウヤマエンジニアリング株式会社 東京営業所

プラズマ容器内壁処理装置『IP-200』

特許取得済！様々な形状の容器内壁面を集中改質できるプラズマ処理装置

形寸法：360(W)×400(L)×450(H)mm ○装置重量：約30kg ○ワークサイズ（試験管サイズ）：φ12×100mm ○処理時間：4min ○処理本数（1バッチ）：100本 ○真空ポンプ：ロータリーポンプ（300l/min） ○入力電圧：AC100V　50/60Hz 　※お客様ごとに仕様変更可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 泉工業株式会社

クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！

【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SSCR3115Sシリーズ』

小フットプリント化・軽量化を実現したクリーンロボット！

【その他の特長】 ■SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能 ■真空吸着でウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

n ( 1,000mm/sec) 流量範囲：1cc - 20cc/min程度 ノズル：当社独自のLPVNノズル（外部混合型２流体ノズル） 基板固定：リフトアップピンによるロボットとの受け渡し/真空吸着 霧化圧：最大800kPa (元圧が800kPa以上必要となります） その他機能　 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、各種アラーム、防爆、 レシピ登録（最大100個）、データログ、塗布状...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

小型イオンビームエッチング装置

イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…

【装置仕様概略】 ○エッチング用イオンソース →DC 11cm ION SOURCE →SOLUS POWER SUPPLY ○真空チャンバー →到達圧力：6.0×10-5Pa台 →動作圧力：3.0×10-2Pa台 ○シングルステージ →水冷機構 →3軸動作 自転・入射角度・円弧移動 →不定形基板～Max 6inch...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

フィルムインサート成形

デザイン性豊かなフィルムを一体成形

印刷柄の入ったPC・PMMAなどのフィルムを真空成形でフォーミングし、外形を抜き、一体成形する工法です。 従来のプレスフォーミングに比べ、より複雑な三次元形状に対応でき、デザインの自由度が高いのが特徴です。 また、成形品の塗装・印刷といった二...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ライフモールド

ノズル『BS4』

80％～最大95％の節水を実現！

ルです。 独自の目詰り防止機能を搭載しているので、節水製品の修理要因だった 内部の汚れ、サビなどによる目詰りがありません。その為、設置後の メンテナンスは一切不要です。 また、独自の真空技術により、水泡をつくるための水そのものを削減し、 節水効果に貢献します。 【特長】 ■流水解凍に最適 ■80％～最大95％の節水を実現 ■強い油汚れ、手洗い箇所の洗浄に最適 ■内部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DG SALES

ノズル『Bubble90』

節水の概念を変えた超節水ノズル！

『Bubble90』は、独自の真空技術によって、水泡をつくるための水 そのものを削減する節水ノズルです。 滝やマシンガンのように水泡を連続して打ちつけるので、強固な汚れも 粉砕し、圧倒的な洗浄力を発揮します。 駅や学...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社DG SALES

イオンビームスパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…

お客様用途に合わせて、研究開発用、量産用に装置設計いたします。 【装置特長】 ・プロセス動作圧10-2Pa台(10-4Torr台) 　高真空成膜可能 ・コンタミネーションが少ない ・無加熱成膜可能 ・高密度膜 ・反応性成膜可能 ・イオンビームアシスト追加可能 ・膜厚等の制御性良好...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

IDタグ『US Label』

様々な素材を選択することで、過酷な使用環境に耐えるIDタグを提供できま…

ルもお勧めします。 【特長】 ■2,000℃を超える超高温（還元雰囲気） モリブデン、タングステン、ニッケル等 ■耐薬品性　チタン、ニッケル、ステンレス、テフロン ■高温還元雰囲気、高温真空中　ステンレス、モリブデン、タングステン ■浸炭処理工程 ステンレス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シグマックス

消耗部品

各種消耗部品を取り扱っております。

真空技術の専門商社として各種消耗部品を取り扱っております。...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

ランプヒーター『ピュアタンヒーター』

高出力・高効率で脅威のハイパワーを誇る電気ヒーター

【その他の特長】 ■封止部以外は1,000℃程度の環境でも使用可能 ■点灯方向は任意 ■石英管封止のためクリーンな熱源として真空中でも使用可能 ■電気容量に対して小型軽量 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： メトロ電気工業株式会社

アイテック株式会社　事業紹介

お客様の新製品開発・生産合理化のお役に立ちます！

盤 ■NC自動旋盤 ■NC小型旋盤 ■マシニングセンタ ■NCセンターレス研削盤 ■細穴放電加工機 ■自動穴あけ専用機 ■成形研削盤 ■工具研削盤 ■ラッピングマシン ■ピット型真空熱処理機 ■穴あけ専用機 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アイテック株式会社

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」

最高温度400℃！小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。

半自動真空ホットプレートチャンバー「PH-224S-200型」は、加熱源にセラミックヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

真空ネジ込破壊弁『VOC』

メタルタッチ構造！タンク内減圧による破壊からタンクを守ります。

『VOC』は、メタルタッチ構造の真空ネジ込破壊弁です。 内圧に強いタンクも外圧には非常に弱いものです。 タンク内減圧による破壊からタンクを守ります。 当社独自で開発したラッピング技術を適用する事で、真空状態であっても ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミハナ製作所

真空ネジ込破壊弁『VOCP』

シート部にはOリングを使用、セルフシール機能を有効に使った真空ネジ込破…

『VOCP』は、O-リングシール構造の真空ネジ込破壊弁です。 シート部にはOリングを使用、セルフシール機能を有効に使っています。 100Aまでは標準化ができています。 また、大きなサイズもご相談に応じます。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミハナ製作所

コンパクトコーター　SVC-700TMSG/Adexcel

小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。

マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 タ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…

400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/PulseDC兼用マグネトロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

*ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450） ・最大基板サイズ：Φ8inch ・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可） ・真空排気：真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源） ・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc) ・電子ビーム蒸着：7ccるつぼｘ６（...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

クリーンロボット『STHR4000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット！

【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル