-
-
-
多彩な分野において、ものづくりの研究開発・品質管理に貢献中！
ガス分析システムはものづくりの品質管理や研究開発の手段として、幅広い分野・業界で利用されてきましたが、 分析対象の違いによって測定条件の違いがあり、適した測定を行うためには個別の対応が必要となるケース…
-
-
-
-
【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ
各種真空システム搭載に好適な真空計
■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲ…
-
-
-
-
社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供
当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓…
-
-
-
-
取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行うことが可能
『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく 割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(…
-
-
-
-
低・中真空領域の測定に好適！スタンダードタイプ、セットポイント付タイプなどをご用意
『ピラニゲージ』は、大気圧から測定できる手軽さと、 高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広い真空計です。 再現性がよく、低・中真空領域の測定に好適。 各種システム搭載用として、食品、…
-
-
-
-
圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最小限に抑え、高精度で安定した絶対圧力を測定可能。
温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ・優れたゼロ点安定性 ・低温度依存性 ・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力 ・質量200…
-
-
-
-
特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油…
-
-
-
-
軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません
『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 …
-
-
-
-
全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節ができます
『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域から…
-
-
-
-
豊富な接続フランジ！バルブボディはステンレス鋼を使用
『Vシリーズ』は、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブで バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用しています。 標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、 …
-
-
-
-
小型化と低価格を実現！高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブに好適
『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。 真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。 高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引き…
-
-
-
-
ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えることが可能
『超高真空L型ポリイミドバルブ』は、10^-8Pa程度の超高真空領域まで 使用できる製品です。 真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用。 150℃以上のベーキングを…
-
-
-
-
優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能
『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベロ…
-
-
-
-
超高真空領域まで使用可能！熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れています
当社では、セラミック封止の端子をICFフランジに溶接した、 各種『電流端子』を揃えております。 これらの端子は、絶縁特性がよく機械的および熱的に丈夫で、 しかもリークのおそれがないという特性…
-
-
-
-
構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機
『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 …
-
-
-
-
3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可能！
当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 …
-
-
-
-
モリペースト500は低速で重荷重の個所の潤滑に有効！シースヒータなどの補助材料のご紹介
当社が取り扱う『補助材料』をご紹介致します。 「モリペースト500」は、MoS2微粒子とベース油(鉱油)を高濃度に配合した ペースト状製品。機械部品の嵌合部、摺動部、ネジ部に少量塗布するだけで…
-
-
-
-
広く鮮明な有効視野！透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があります
『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^…
-
-
-
-
大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信号が取り出せます
『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており…
-
-
-
-
クランプはAl合金に耐腐蝕性に優れたNiメッキ加工！加熱温度により"O"リングの選択が可能です
当社では、取扱いが便利なISO規格対応の真空フランジを取り扱っています。 ISOではこれをQuick-release Couplingと呼び、呼び径10、16、25、40の 4種類の小型フラン…
-
-
-
-
ICFフランジ付きで超高真空まで使用可能！種類が豊富ですので、用途に合わせて使用できます
装置を組み立てるにあたり、配管接続のためいろいろの素子を用います。 当社の取り扱う接続素子は、ICFフランジで接続する系列のもので、 超高真空装置本体およびそのあら引き系に使用されています。 …
-
-
-
-
シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの完全対称形フランジ
当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 …
-
-
-
-
簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能！油分子を効率よく吸着します
『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的…
-
-
-
-
POWER Ecoシリーズ 高性能省エネルギー型クライオポンプ
小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性を持っています
POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウ…
-
-
-
-
吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現しました
POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運…
-
-
-
-
排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水もれの心配はありません
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま…
-
-
-
-
オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的です
「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッタ…
-
-
-
-
40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また…
-
-
-
-
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして…
-
-
-
-
新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適しています
『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来…
-
-
-
-
四重極型質量分析計は4機種から選択可能！省スペースで手軽な分析システム
『Cシリーズ』は、多様なガス分析のご用途への対応をはかりながら、 シンプル＆コンパクトにまとめたガス分析システムです。 基本構成（排気系＋マスフィルタ）を選択、さらに各種ご用途を想定し、 あ…
-
-
-
-
パソコン制御による容易な測定が可能！四重極型質量分析計の応用技術製品
『Dシリーズ』は、各種ガス分析、研究開発分野において好適な ガス分析システムです。 パソコン制御による容易な測定が可能。 用途に合わせて、四重極型質量分析計にTMP排気系とオプションの …
-
-
-
-
2種類のイオン源から選択可能！高速測定/高感度測定が可能な四重極型質量分析計
キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な 高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。 m/Z＝1～410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MG…
-
-
-
-
高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトランスデューサータイプ
『M-101/201QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設…
-
-
-
-
真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80amu）かつ高感度で分圧測定を実現。
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロ…
-
-
-
-
電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』
豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いたします
『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機…
-
-
-
-
高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性に優れています
『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC…
-
-
-
-
圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計
『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 …
-
-
-
-
優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計
『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利…
-
-
-
-
表示器（1ch/3chタイプ）『M-601GC/603GC』
RS232Cインターフェース標準装備！優れた操作性で見やすい3タイプ表示が可能
『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています…
-
-
-
-
先端半導体パッケージの非破壊検査に対応可能な 高解像度の X線源
『G-511シリーズ』は、素早い画像取得ができ、ターゲットの 回転調整不要の透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ウォーミングアップは3分以内で立上げ時の長い待ち時間を解消。 X線管寿命の自己…
-
-
-
-
ターゲットの回転調整が不要！高解像度で高速撮影を可能にする工業用非破壊検査向けX線源
『G-311シリーズ』は、高輝度で高拡大率、素早い画像取得が 可能な透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ターゲットの回転調整が不要で、装置稼働率が向上。 立上げ時の長い待ち時間が解…
-
-
-
-
ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能！高い感度、安定性、応答性を実現
『HELENシリーズ』は、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発した ポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 機動性を重視したコンパクトタイプの「M-212LD」やダイヤフラム ポ…
-
-
-
-
質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小限に抑えました
キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコン…
-
-
-
-
低・中真空領域の測定用や各種システム搭載用など！用途の広いピラニ真空計
ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、…
-
キヤノンアネルバへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
