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      【分析事例】電子部品

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      電子部品の分析事例をご紹介します

      • 【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価 製品画像

        【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価

        試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価

        SiO2中のアルカリ金属の分布を一般的な分析条件で測定すると、測定に起因する電界などの影響により、深さ方向濃度分布に変化が生じることが知られています。 MSTではSIMS測定時に試料を冷却することで…

      • 【分析事例】バンプの広域断面観察 製品画像

        【分析事例】バンプの広域断面観察

        イオンポリッシュによる断面作製で微小特定箇所の広域観察が可能です

        イオンポリッシュ(IP)法では、機械研磨法で問題となっていた加工ダメージ(界面の剥離・硬さの違いによる段差・研磨による傷など)が少ない断面の作製が可能です。加工位置精度も向上し、微小部位を含む広域断面…

      • 【分析事例】極浅注入プロファイルの評価 製品画像

        【分析事例】極浅注入プロファイルの評価

        極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能

        デバイスの微細化により、極浅い領域における不純物の深さ方向分布評価の必要性が高まっています。 正確な評価を行うためには、通常よりも低いエネルギー(1keV以下)の一次イオンビームを用いたSIMS分析…

      • 【分析事例】汚染原因となる工程の調査 製品画像

        【分析事例】汚染原因となる工程の調査

        手袋由来の汚染の評価

        半導体デバイス製造において汚染工程を調べるため、不良の原因となる薄い付着物が何に起因するかを調べる必要があります。EDXでCが検出され、XPSで定量を行った付着物について、TOF-SIMSで分析を行い…

      • 【分析事例】最表面シラノール基の評価 製品画像

        【分析事例】最表面シラノール基の評価

        TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です

        ガラスやウエハ表面のシラノール基(Si-OH)の存在は、表面の撥水性や親水性などの特性に影響を与えます。そのため、その後の表面処理に影響を与える可能性が高く制御が必要となります。 シラノール基の定量…

      • 【分析事例】Si表面のH終端の解析 製品画像

        【分析事例】Si表面のH終端の解析

        処理の違いによるSi表面のSiHや状態の定性・相対比較

        Si表面についてHF処理後、オゾン処理後の状態を比較しました。 正イオンスペクトルではSiのピーク強度が異なりました。HF処理後のSi強度が弱いのはSiが金属系のためで、一方、UV-オゾン洗浄後やA…

      • 【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価 製品画像

        【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価

        光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

        シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合…

      • 【分析事例】FIB低加速加工 製品画像

        【分析事例】FIB低加速加工

        FIB:集束イオンビーム加工

        FIBを用いたTEM観察用薄膜試料作製法では、高エネルギーのGaイオン(加速電圧30kV)を用いており、加工面にダメージ層が生じ、TEMの像質低下の原因となっています。そこで従来より低加速(2kV)の…

      • 【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定 製品画像

        【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定

        XPS:X線光電子分光法など

        高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理、搬送、測定を行うことで表面酸化、水分吸着を抑えた評価が可能です。 ■適用例 ・半導体電極材料  剥離面の評価等には二次汚染、酸化の影響を抑えて評価ができ…

      • 【分析事例】Si酸化膜・ITO膜中の「水」の評価 製品画像

        【分析事例】Si酸化膜・ITO膜中の「水」の評価

        「重水(D2O)処理」を用いた水素の深さ方向分析

        厚み1um以下の薄膜における水(H2O)の浸透性を、膜中の重水素(D)の分布を測定することで評価した事例をご紹介します。薄膜中にもともと水素(H)が存在する場合、水の影響による水素であるかを区別するこ…

      • 【分析事例】エポキシ樹脂の定性 製品画像

        【分析事例】エポキシ樹脂の定性

        TOF-SIMS分析による成分の推定が可能

        エポキシ樹脂は、優れた機械特性・耐薬品性・電気絶縁性を有することから、プリント基板やIC封止材など電子部品用途として、広く使用されています。エポキシ樹脂の原材料に一般的に用いられるビスフェノール類の試…

      • 【分析事例】SEM装置での歪み評価 製品画像

        【分析事例】SEM装置での歪み評価

        EBSD:電子後方散乱回折法

        TEM(NBD:Nano Beam Diffraction)のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。 SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。 …

      • 【分析事例】フッ素系潤滑剤・高分子の同定 製品画像

        【分析事例】フッ素系潤滑剤・高分子の同定

        汚染成分を同定し、汚染発生工程を推定

        フッ素系の化合物はさまざまな種類が存在します。汚染原因調査の際、フッ素系の種類の定性を行うことで、原因となった工程を調べることが可能となります。そこで、表面敏感なTOF-SIMSを用いて水はじきのよい…

      • 【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術 製品画像

        【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術

        目的箇所のみサンプリングし、ウェハを割らずにサンプル作製します

        ウェハ・チップを割らずに小片を抜き出して薄片化し、高分解能TEM観察・分析を行います。 さらに分析したい箇所を残してカットしてサンプルを作製することで、目的箇所をご要望のあらゆる方向からTEM観察・…

      • 【分析事例】エポキシ樹脂の硬化温度・ガラス転移温度調査 製品画像

        【分析事例】エポキシ樹脂の硬化温度・ガラス転移温度調査

        DSC(示差走査熱量)測定による熱物性評価

        二液混合型のエポキシ樹脂について、DSC(示差走査熱量測定法)を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度(Tg)を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発…

      • 【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析 製品画像

        【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

        TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評価が可能

        ポリイミドは非常に耐熱性が高く電気絶縁性も優れていることから、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態…

      • 【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査 製品画像

        【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査

        TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の最表面の評価が可能

        細胞培養シャーレの表面では、細胞の密着性(接着性)を高めるために、疎水性のプラスチック表面を親水性に変える処理が行われています。今回、親水処理を行ったシャーレの表面についてXPS,TOF-SIMSで評…

      • 【分析事例】微小部XRD分析による結晶構造評価 製品画像

        【分析事例】微小部XRD分析による結晶構造評価

        微小領域のXRD測定が可能

        照射X線をΦ400μmに絞ってXRD測定を行うことで、面全体ではなく所定の領域を狙って結晶情報を取得した事例をご紹介します。 プリント基板サンプルのXRD測定の結果、測定箇所(1)~(3)全てでCu…

      • 【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布 製品画像

        【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

        SiO2膜の不純物の評価

        アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタ…

      • 【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価 製品画像

        【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価

        SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化

        SIMS分析はウエハや基板以外にも様々な形状の試料に適用可能です。本事例では、ワイヤー中の不 純物分布を評価した事例をご紹介します。 ワイヤー側面から深さ方向に不純物分布を評価した結果(図2)H、O…

      • 【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定 製品画像

        【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定

        固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能

        通常、SIMS測定では数mm角で表面が平坦なチップを用いて分析を行いますが、1mm 角以下の小さなチップや特殊な形状の試料についても固定の前処理を施すことで分析が可能です。 微量成分を調べたい試料の…

      • 【分析事例】有機成分洗浄効果の評価 製品画像

        【分析事例】有機成分洗浄効果の評価

        300mmウェハをそのまま測定できます

        TOF-SIMSには有機物、無機物を同時評価、微小領域に対応、最表面を感度よく分析できる、300mmウェハのまま評価可能という特徴があり、洗浄工程での残渣調査などに力を発揮します。 Si表面の有機汚…

      • 【分析事例】はんだ合金中の添加物面内分布評価 製品画像

        【分析事例】はんだ合金中の添加物面内分布評価

        ppmレベルの添加物の分布を高感度に評価可能

        携帯端末などの電子機器に用いられる鉛フリーはんだの接合部には高い耐衝撃性が求められています。 この課題を解決するため、Niなどの元素を微量に添加したはんだ合金が開発されています。本資料ではSn-Ag…

      • 【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング 製品画像

        【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング

        最大70×70mm領域の組成分布評価

        XPS多点測定による広域定量マッピングの事例をご紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価いたしました。ピーク強度ではなく存在量(原子濃度)をグラフ化するため、試料凹凸等の…

      • 【分析事例】透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析 製品画像

        【分析事例】透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析

        EBSD:電子後方散乱回折法

        薄片化した試料でEBSD分析を行うことにより、従来のバルク試料よりも高い空間分解能を得ることができます。

      • 【分析事例】定量計算における妨害ピーク除去処理 製品画像

        【分析事例】定量計算における妨害ピーク除去処理

        XPS:X線光電子分光法

        XPS分析では評価に使用する光電子ピーク*以外に、他軌道からの光電子ピークや、X線励起のAugerピーク等も検出されます。元素の組み合わせによっては、これらのサブピークが目的のピークに重なって評価を妨…

      • 【分析事例】磁気ヘッドMTJ部の構造評価 製品画像

        【分析事例】磁気ヘッドMTJ部の構造評価

        Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察

        TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例では市販のハードディスクから磁気ヘッドを取り出し、MTJ:磁気トンネル接合…

      • 【分析事例】化学修飾XPSによる水酸基の定量 製品画像

        【分析事例】化学修飾XPSによる水酸基の定量

        高分子フィルムの水酸基評価

        高分子フィルムの接着性や濡れ性といった特性を制御するにあたって、表面に存在する極性官能基(アルコール基)を定量的に評価することは非常に重要です。XPSは定量的な評価に最適ですが、ピーク位置が隣接してい…

      • 【分析事例】フッ素系膜の分布状態評価および成分分析 製品画像

        【分析事例】フッ素系膜の分布状態評価および成分分析

        微小領域の面分析による分布の均一性評価と有機物の同定・推定

        撥水処理における撥水面の状態は、フッ素系化合物が島状(アイランド状)に分布しているか均一に分布しているかの違いで異なります。そこで、TOF-SIMSを用いて、フッ素系化合物の分布の観察を行いました。そ…

      • 【分析事例】ポリカーボネートの劣化層の評価 製品画像

        【分析事例】ポリカーボネートの劣化層の評価

        GCIB(Arクラスター)を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可能

        ポリカーボネート(PC)は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長をもち、太陽電池パネル・メガネレンズ・CD・車載部品・医療機器の材料として、幅広く活用されております…

      • 【分析事例】熱分解GC/MSによるスマートフォン封止剤の分析 製品画像

        【分析事例】熱分解GC/MSによるスマートフォン封止剤の分析

        2段階の加熱によりUV硬化系素材の分析が可能

        熱分解GC/MSによる2段階加熱法を用いて、市販スマートフォンのディスプレイ周辺部封止剤の素材解析を行いました。低温(250℃)で試料を加熱し、発生したガス成分をGC/MS測定することにより、残存モノ…

      • 【分析事例】マイクロサンプリングツールを用いた異物分析 製品画像

        【分析事例】マイクロサンプリングツールを用いた異物分析

        下地・基板の影響なく異物の成分を同定します

        異物分析について、従来は下地の影響により顕微FT-IR分析やラマン分析では解析が困難でしたが、マイクロサンプリングツールの導入により、その影響を低減することが可能となりました。 2種の異物に関する解…

      • 【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い 製品画像

        【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

        TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

        配線材料として用いられる銅(Cu)は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅(Cu)と、ビニール袋に入れた銅(Cu)をそれぞれ40日…

      • 【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価 製品画像

        【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

        TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

        大気下におかれた金属銅(Cu)の表面は自然酸化膜で覆われており、このような銅表面は大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。 市販の標準品であ…

      • 【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析 製品画像

        【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析

        ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能

        TOF-SIMSは深さ方向に質量スペクトルの取得が可能であるため、各層の定性を行うことで非常に薄い層の成分の解析が可能です。 本事例では、ハードディスクを深さ方向に分析を行いました。その結果、表面に…

      • 【分析事例】DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化 製品画像

        【分析事例】DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化

        XAFSによる高精度解析

        コーティング材料として幅広い分野で用いられているDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜はミクロな視点から見ると、ダイヤモンド構造に対応するsp3混成軌道有する炭素元素と、グラファイト構造に対応するsp…

      • 【分析事例】XPSによるDLCの評価 製品画像

        【分析事例】XPSによるDLCの評価

        C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価

        高硬度・高耐摩耗性等の特長から、幅広い分野で活用されてるDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜は、グラファイトとダイヤモンドの中間に位置した材料であり、膜中のsp2(グラファイト構造)とsp3(ダイヤ…

      • 【分析事例】薄膜表面処理後の仕事関数評価 製品画像

        【分析事例】薄膜表面処理後の仕事関数評価

        ITO表面プラズマ処理後のUPS分析

        半導体デバイスでは、構成される各種材料の仕事関数の組み合わせにより、その性能が大きく左右されます。このため、表面処理や表面修飾等によって仕事関数を制御しようとする試みがなされており、それらの効果を検証…

      • 【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価 製品画像

        【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価

        XPS:X線光電子分光法

        XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト(ケミカルシフ…

      • 【分析事例】有機膜材料の配向角評価 製品画像

        【分析事例】有機膜材料の配向角評価

        XAFS:X線吸収微細構造

        配向性有機膜である自己組織化単分子膜(SAM膜)は表面の濡れ性や吸着性といった膜の機能・物性が配向性・配向角によって変化します。 放射光を用いたXAFSでは、ピーク強度のX線入射角依存性を解析するこ…

      • 【分析事例】電子回折の種類と特徴 製品画像

        【分析事例】電子回折の種類と特徴

        TEM:透過電子顕微鏡法

        透過電子顕微鏡での電子回折法は、試料への電子線の入射の仕方によって3つに分類されます。それぞれの特徴とデータ例を示します。評価対象物のサイズや分析目的に応じて、適切な手法を選択する必要があります。

      • 【分析事例】揮発性有機化合物(VOC)P&Tによる微量成分の検出 製品画像

        【分析事例】揮発性有機化合物(VOC)P&Tによる微量成分の検出

        GC/MS:ガスクロマトグラフィー質量分析法

        揮発性有機化合物(VOC)は、半導体や工業製品の洗浄時に使用され、洗浄用水等に極微量で含まれる可能性があります。水中のVOCは、極微量であっても臭気の原因になることや健康被害を引き起こすことが懸念され…

      • 【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価 製品画像

        【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

        フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

        試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染・酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。 薬包紙・アルミホイ…

      • 【分析事例】粉体異物の定性分析 製品画像

        【分析事例】粉体異物の定性分析

        手法を組み合わせることで、複数種類の成分情報を得ることが可能です

        異物の分析では、異物の大きさや予想物質、下地等の状態によって分析手法を適切に選択することが重要です。実体顕微鏡観察、元素分析(XRF)、結合状態分析(XRD, FT-IR)を組み合わせることで、粉体に…

      • 【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価 製品画像

        【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

        水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可能です

        金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うこと…

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