【書籍発刊】ELNによる研究データの統合的管理　※抜刷進呈中

PRクラウド型電子実験ノートによる研究データ管理のメリットや活用例として、…

株式会社技術情報協会から2023年12月27日に『実験の自動化・自律化によるR&Dの効率化と運用方法 －AI、ロボット技術、ChatGPT、MI、ベイズ最適化、秘密計算など－』が発刊されました。 本書では、ラボラトリーオートメーションに関する技術や環境・体制構築のポイント、応用事例などが多数紹介されています。詳細な執筆者や目次については出版社のウェブサイトをご参照下さい。 第3章「自動・自律実...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社モルシス

ろ過効率を上げ、生産性を高めるための秘密「遠心分離機の基礎知識」

PR「なぜ、ろ過時間が1/50以下になるのか？」の秘密を納入事例、遠心分離…

ろ過、脱水、分離工程で使われる遠心分離機。様々な種類のろ過装置の中でも遠心分離機は遠心力を用いることによってろ過スピードを上げ、ろ過時間が短くなり、ろ過の効率が格段にアップします。 松本機械販売では70年間、遠心分離機の製造と販売を専業としており、遠心分離機については他社にも負けない技術と知識を有していると自負しております。 この冊子では遠心分離機のプロが「なぜ、遠心分離機はろ過効率が...

メーカー・取り扱い企業： 松本機械販売株式会社

【導入事例】ワーク持ち帰り防止、安定したチップトレイへの収納

交換式のため、経済的であり、作業現場で簡単に交換可能な導入事例のご紹介

広島県下　半導体製造メーカー様よりご依頼をいただき、ワーク持ち帰り防止、安定したチップトレイへの収納を導入した事例をご紹介いたします。超硬、耐熱性樹脂等の平コレットでチップの表面にキズをつけり、チップのカケで問題をお持ちの方にお奨めします。 交換式のため経済的であり、作業現場で簡単に交換でき、絶えず最高ク...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか？

「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」など…

当資料は、有限会社オルテコーポレーションが提案した後工程における、半導体製造装置の課題解決事例集です。弊社が得意とする消耗パーツの紹介をはじめ、多くのユーザーが課題に挙げる、チップの破損ダメージについてや、ディスペンサーやエポキシ転写の不安定問題、ワイヤボンディング用トーチ電極などの事例を多...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

【資料】SnS極薄膜成膜製作事例

膜厚別にグラフや写真を掲載！それぞれの抵抗率もご紹介しております

当資料では、SnS極薄膜成膜（ソーダガラス基板・50mm角）を製作した 事例をご紹介しています。 145nmをはじめ、88nm、51nm、37nm、30nmの各膜厚のグラフや 写真を掲載。 それぞれの抵抗率もご紹介しておりますので、ぜひダウンロードして ご覧...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カルコジェニック

電動ドライバのお悩み解決！ねじ締めソリューション事例集

ポカミスの防止や、作業状況の「見える化」に貢献する電動ドライバの活用事…

当カタログは、日東工器が取り扱う電動ドライバ「デルボ」の 活用事例を掲載しております。 ねじ締めラインの構築・管理の際にご参考にしていただけますと幸いです。 ぜひダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ポカミス防止のシステム例 ■作業状況...

メーカー・取り扱い企業： 日東工器株式会社

【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

ppmオーダーの微量金属も評価可能です

って評価可能ですが、価数・化学結合状態などといった存在状態の評価には放射光を用いたXAFS(X線吸収微細構造)測定が有効です。本資料では測定例としてセラミックス材料に微量含まれるCeの価数を評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】分子動力学計算を用いたアモルファスSiNx膜構造解析

シミュレーションによってアモルファス膜のミクロな構造解析が可能です

法は限られているため、シミュレーションによってさまざまな組成、密度を有したアモルファス構造を作成し、解析を行うことは有効なツールとなります。本資料では、分子動力学計算を用いたa-SiNx膜の構造解析事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

知られています。 高分解能なXPSスペクトルではc(単結晶)-Siとa(アモルファス)-Siが異なったピーク形状で検出されること を利用して、この損傷由来のa-Siをc-Siと分離して定量評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

結晶方位に応じたコントラストを生じるため、SIMによってCuやAlなどの金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を簡便に得ることが可能です。本資料では測定例としてCu表面をSIMによって観察した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡を用いて観察しました。その結果、複数箇所にて1mm～20mm程度の複数の空隙があることを確認しました。本手法によって、貼り合わせウエハ内部の密着性評価が可能となります。...詳しいデータはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【半導体チップの持ち帰り不良で悩んでいる方へ】※改善事例

パワー半導体製造会社様での改善事例をご紹介します。

【課題】 ダイマント工程で半導体チップの持ち帰り不良が多発しており、 チップ持ち帰り不良を低減させる方法を探していました。 【改善結果】 チップ持ち帰り不良の低減が実現し、具体的には以下の改善がみられました。 1) ラバーノズルのライフ延長による経費削減 2) 他社ノズルでは使用前に焼き入れを行っていたが、行わなくても良くなった 3) 焼き入れ工数の削減 製品の仕様をお客様...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜（数nm程度）のデプスプロファイル評価に有効です。 本資料ではSi基板上のSiN膜について、膜中の組成分布評価を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した解析

像シミュレーションを併用した結晶形の評価

正確な理解に役立ちます。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石中の結晶粒について、EBSD法で得た結晶方位の情報からSTEM像をシミュレーションし、実際の高分解能HAADF-STEM像と比較した事例を紹介します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

え評価が重要となります。今回、SiC Trench MOSFETに関して、SNDM（走査 型非線形誘電率顕微鏡）にてキャリア極性判定をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）にてキャリア濃度分布を評価した事例をご紹介します。　...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ワイドギャップ半導体β-Ga2O3のドーパント存在

ミクロな原子構造を計算シミュレーションによって評価可能

β-Ga2O3は広いバンドギャップを有し、優れた送電効率や低コスト化の面で次世代パワーデバイスや酸化物半導体の材料として期待されています。近年、β-Ga2O3はSiまたはSnのドーピングでn型化することが報告されています。本資料では、β-Ga2O3にSiもしくはSnをドープしたモデルに対して構造最適化計算を実施し、各ドーパントが結晶中でどのサイトを占有しやすいかを評価しました。続いて、得られた構造...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

半導体や液晶などの製造が行われているクリーンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドーパント、金属などが挙げられ、成分に応じて分析方法は異なります。 ここでは凝集性有機物質の詳細と、代表的な捕集方法である“吸着剤捕集”と“ウエハ暴露捕集”について紹介します。...詳しいデータはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによる温度保持中の脱ガス評価

温度保持中の脱ガス強度の変化を調査できます

TDSは高真空中で試料を昇温、または温度を一定に保持した状態で、脱離するガスをリアルタイムに検出する手法です。 Si基板上SiN膜について350℃で温度を保持し、H2の脱離量を調査した例を示します。 単純昇温では500℃付近に脱ガスピークが確認されましたが、350℃で温度保持中はH2の検出強度は低下し、再昇温時に脱ガスピークが確認されました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価

試料断面における応力分布を確認することが可能です

単結晶Siのラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。 IGBT（絶縁ゲートバイポーラトランジスタ）の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AFMデータ集

AFM :原子間力顕微鏡法

AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。 本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】DRAMチップの解析

製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング

代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。 外観観察からレイヤー解析、Slice＆Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【アルミ表面処理　問題解決事例】半導体製造装置へ異物混入防止

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発…

製造工程中に使用するアルミニウム合金製の治具やボルトなどの締結部品は アルマイト処理をする場合がありますが、高温になると皮膜がクラック・欠落 してしまう問題があります。 350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス 硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施すことで、皮膜欠落の原因で ある熱クラックの防止を図ることが可能。 課題であった皮膜欠落に...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

【アルミ表面処理　問題解決事例】IC 検査治具への耐熱性絶縁膜

コスト削減や形状の自由度UPで作業性向上！高耐電圧を実現したクラックレ…

電子基板やIC・半導体などの検査をする際に、所定の高電圧を 加えなければならず、その際に絶縁体の治具が必要となります。 セラミック溶射や絶縁コーティング等はコストが高く、治具の形状に 制限もあり、熱伝導率低下などの問題も生じます。 そこで、350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、 耐熱クラックレス硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施工。 特殊な形状...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

半導体装置に欠かせない塩ビ・PP・PTFEが調達できます

発注窓口は日本なので安心！材料不足による需給ひっ迫、もう悩ませません！

の調達が困難となっています。 日本国内では入手困難な材料の加工が、イコールベトナム工場で対応可能。 多国からの材料調達でリスクヘッジを行っており、現時点ではベトナムからの 輸送STOP事例はありません。また、発注窓口は日本なので安心です。 【特長】 ■多国からの材料調達でリスクヘッジ ■現時点ではベトナムからの輸送STOP事例はない ■発注窓口は日本なので安心 ※詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イコール 本社・営業部

【導入事例】カスタム対応品

コンパクト設計で低価格！ご要望内容に基づき、製品仕様をご提案致します

ハネック株式会社が取り扱う『カスタム対応品』をご紹介します。 「番号表示操作盤」をはじめ「GPS受信基板」や「非常停止基板」、 「アナログ入出力基板」などをラインアップ。 用途や数量を問わず、ご要望に合わせて設計・製作致します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■カスタム対応 ■コンパクト設計 ■低価格 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： ハネック株式会社

SiC Trench MOSFET ディスクリートパッケージ評価

ディスクリートパッケージ内部の構造を非破壊で立体的に観察

造の調査が必要です。X線CTでは、非破壊で試料内部の透過像を取得し、三次元構築することが可能です。本資料では、製品調査の一環としてSiCチップが搭載されたディスクリートパッケージをX線CTで観察した事例をご紹介します。 X線CTによる構造確認後、MSTで実施している物理分析（破壊分析）をご提案します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

５G向けフッ素樹脂への直接めっきや接着剤レス接合をプラズマで実現

フッ素樹脂をはじめとする難接着材料への直接めっきや異種材料の接着剤レス…

表面改質技術などを詳しく解説しています。 詳細はPDFをダウンロードしてください。 【資料掲載内容】 ・難めっき材への直接めっき技術 ・異種材料の直接接合技術 ・粉体表面改質 ・応用事例 ・開発実績 弊社の技術を【 SURTECH 2020】にて展示いたします！ 会期：2020年1月29~31日 会場：東京ビッグサイト 第3ホール 小間番号：3S-E18 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

加工後の金属表面処理不要！レーザ切断加工

超短パルスレーザを使用することで加工後バリ取りなどの処理が不要に！！最…

を削減 ・機械加工や他の熱加工（ガス・プラズマ切断等）と比べ、 加工形状や材料の自由度が高く、高品質・高精度の加工が可能 →高反射の金属材なども、高出力レーザーにより加工可能 その他加工事例はこちら https://www.ebtohoku.co.jp/result/laser/ ...

メーカー・取り扱い企業： 東成イービー東北株式会社

【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ

お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ…

Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Ｚステージの実力値も公開中。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

【分析事例】グラフェンの官能基の評価

熱分解GC/MS法によりグラフェンの官能基の評価が可能

センサー等、幅広い分野への応用が期待されています。また製法によって表面に存在する官能基の種類や量が異なると言われており、その構造を明らかにすることは性能向上を図る上で重要なポイントとなります。 本事例では熱分解GC/MS法により、2種のグラフェンの官能基を比較した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC Planer Power MOSの分析

SiCデバイスの拡散層構造を可視化できます（拡散層構造の高感度評価）

度から高濃度まで十分に評価を行うことができます。高感度を特徴とし、あらゆる化合物半導体デバイスに適用可能です。一例として、SiC Planer Power MOSの断面を製作し、SNDM分析を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】STEM・EDXデータと像シミュレーションによる評価

STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます

評価が可能です。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石において、HAADF-STEMとEDXの測定によって得られた結果と、各々の測定条件を用いたシミュレーション像の比較から結晶構造の考察を行った事例を紹介します。測定結果と計算シミュレーション結果の併用により、結晶構造に対する理解を深めることが可能となります...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

が知られています。 高分解能なXPSスペクトルではc(単結晶)-Siとa(アモルファス)-Siが異なったピーク形状で検出されることを利用して、この損傷由来のa-Siをc-Siと分離して定量評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較

着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です

次プローブの違いによってコントラストの現れ方や空間分解能などの違いがあり、着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です。本資料では2手法の比較をまとめるとともに、測定例としてCu表面を観察した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁評価

デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価

近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は、素子の高集積化に必要であり、SiCデバイスへの応用展開が進められています。 Trench MOSFET構造のチャネル領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM（原子間力顕微鏡）を用い...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料】WTIブログ　2022年4月

「半導体パッケージの外形寸法規格について」や「電流が渦潮になるってほん…

立ち情報を多数掲載しております。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■2022.4.5 「半導体パッケージの外形寸法規格について」 ■2022.4.12 基板メーカーからの問い合わせ事例（続編） 　～基板設計は基板メーカーの製造工程にあった調整も必要です～ ■2022.4.19 自社が注力すべき仕事以外は代行サービスを活用する時代 ■2022.4.26 電流が渦潮になるってほ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Wave Technology

【資料】しるとくレポNo.6＃デイジーチェーンサンプル

これまでの設計・評価で得た経験や知見を基にお客様のいろいろなご相談に対…

デイジーチェーンサンプルについてご紹介させていただきます。 【掲載内容】 ■破断個所を特定するデイジーチェーンサンプル ■破断個所を特定するデイジーチェーンサンプル ・お客様からの相談事例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社Wave Technology