NEWマイクロミックス＜真空加熱(冷却)式＞【※試せます】

PRトリプル回転機構を採用！目的に応じたオプション製作も可能で、テスト対応…

『NEWマイクロミックス』は、臼の回転とは逆方向に公転する杵と 自転する杵先により、効率の良い撹拌、混合、すり潰しが可能な 真空加熱(冷却)式の製品です。 独自の回転スクレーバーによって粉砕効率も大幅アップ。 また、真空ポンプを搭載することで、容器内を減圧した状態で 撹拌ができます。 【特長(主な機能)】 ■「トリプル回転機構」により、効率の良い攪拌・粉砕・混合が可能 ■原料を運び込みながら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤナギヤ 東京営業本部

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『超高真空ビューイングポート』

広く鮮明な有効視野！透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があり…

『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^-8Pa...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』

シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの…

当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の無酸素...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『イオンポンプ・ノーブルポンプ』

無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…

『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『直線導入機』

構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…

『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

タ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなど...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節…

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『電流端子』

超高真空領域まで使用可能！熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れていま…

ランジに溶接した、 各種『電流端子』を揃えております。 これらの端子は、絶縁特性がよく機械的および熱的に丈夫で、 しかもリークのおそれがないという特性を持っています。 そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、 高い信頼性を得ています。 【特長】 ■実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応 ■熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『コンビネーションポンプ』

排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水…

『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型オールメタルバルブ

優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『クイックカップリング』

クランプはAl合金に耐腐蝕性に優れたNiメッキ加工！加熱温度により"O…

当社では、取扱いが便利なISO規格対応の真空フランジを取り扱っています。 ISOではこれをQuick-release Couplingと呼び、呼び径10、16、25、40の 4種類の小型フランジについて規格化されています。 いず...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際の...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さま...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

アイソレイトバルブ『V-025SV』

特別な制御回路は必要なし！被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止

『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極め…

「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空ポンプ『フォアライントラップ』

簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能！油分子を効率よく吸着します

『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

回転導入機(磁気結合型・ベローズ式)

3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用…

当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 真空ブレ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管…

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ICF付接続部品(フィッティング・アダプタ)

ICFフランジ付きで超高真空まで使用可能！種類が豊富ですので、用途に合…

装置を組み立てるにあたり、配管接続のためいろいろの素子を用います。 当社の取り扱う接続素子は、ICFフランジで接続する系列のもので、 超高真空装置本体およびそのあら引き系に使用されています。 フイッティング、メタルアダプタ、ガラスアダプタ、φ15アダプタの ラインアップがあります。 【特長】 ■種類が豊富 ■用途に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

補助材料

モリペースト500は低速で重荷重の個所の潤滑に有効！シースヒータなどの…

。 「モリペースト500」は、MoS2微粒子とベース油(鉱油)を高濃度に配合した ペースト状製品。機械部品の嵌合部、摺動部、ネジ部に少量塗布するだけで 摩耗、かじり、焼付きを防止します。(真空内用ではありません) 他に、「シースヒータ」や「ボルト、ナット、ワッシャ」などの ご用意があります。 【モリペースト500　特長】 ■化学的に安定 ■焼付き、摩耗を防止 ■低速で...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空計『ピラニゲージ』

低・中真空領域の測定に好適！スタンダードタイプ、セットポイント付タイプ…

『ピラニゲージ』は、大気圧から測定できる手軽さと、 高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広い真空計です。 再現性がよく、低・中真空領域の測定に好適。 各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、 様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■高いコストパフォー...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

表示器（1ch/3chタイプ）『M-601GC/603GC』

RS232Cインターフェース標準装備！優れた操作性で見やすい3タイプ表…

『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。 用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

四重極型質量分析計『M-101/201QA-TDM』

高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトラ…

計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等 幅広く使用されています。 また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の 「M-070QA-TDF」もご用意しております。 【特長】 ■検出器に2次電子増倍管を使用 ■低ガス放出のイオン源を採用 ■イオン化電圧、エミッ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

L型バルブ『Vシリーズ』

豊富な接続フランジ！バルブボディはステンレス鋼を使用

備。 バルブボディはステンレス鋼を用いており、特殊な接続フランジも容易に 溶接接合できます。また、バルブ内部部品洗浄作業及び保守部品交換作業が 短時間で可能です。 【特長】 ■超高真空領域まで使用可能 ■寿命バルブ ■開閉ポジションセンサスイッチ ■優れた許容加熱性 ■豊富な接続フランジ ■容易なメンテナンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型ポリイミドバルブ

ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えること…

『超高真空L型ポリイミドバルブ』は、10^-8Pa程度の超高真空領域まで 使用できる製品です。 真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用。 150℃以上のベーキングを伴なう超...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

あら引きバルブ『Vシリーズ』

小型化と低価格を実現！高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブ…

『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。 真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。 高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。 また、圧空駆動式...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コールドカソードゲージ『M-370CG』

優れた測定安定性！未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減しま…

『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢な コールドカソードゲージ（冷陰極電離真空計）です。 高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。 優れた測定安定性で、未放電による測定停止、 圧力表示値のフラツキを低減します。 【特長】 ■高真空下での良好な起動性...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ピラニゲージ『M-350PG』

低・中真空領域の測定用や各種システム搭載用など！用途の広いピラニ真空計

ピラニゲージ『M-350PG』は、大気圧から測定できる手軽さと、高い コストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、 自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社