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57件 - メーカー・取り扱い企業
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【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理
代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…
ering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 求めるもので、対向基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…
ering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 求めるもので、対向基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析
Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…
ering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 求めるもので、対向基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…
ering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 求めるもので、対向基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン
カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…
ering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 求めるもので、対向基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…
ering 法を採用しており、複雑な反応過程を精度良く、 迅速に計算が可能。 ●中性ガスモジュールは上記プラズマモジュールで用いる初期中性ガス 分布を求めるもので、DSMC法を用いて短時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 求めるもので、対向基...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社
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開発効率を向上！応答曲面を使用して、短時間で好適解を導出する手法を確立
必要でした。 性能検証においては、性能を満たすまで計算を繰り返すパラメータスタディを 行うため、多大な時間がかかっていました。 そこで、『modeFRONTIER』の応答曲面を使用して、短時間で好適解を 導出する手法を確立しました。 【modeFRONTIERの特長】 ■「考える」を支援する新たな好適化ツール ■設計開発現場のニーズを満たすため独自の手法や機能を豊富に搭載 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ
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材料特性は磁場解析と温度解析用が必要！高周波コイルは加熱ON/余熱OF…
います。高周波コイルで発生した磁場をお鍋の底に当てると渦電流が発生します、ここまでが磁場解析。渦電流は発熱を起こしお鍋の底からお水へ熱が伝わり温度が上昇します、ここは熱解析。誘導加熱は狙った場所を短時間で加熱できるので、様々なところに利用されています 詳細は【解析ノウハウ.com】の「NO.019 ex誘導加熱版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・誘導加熱によりワークの温度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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材料特性は磁場解析と温度解析用が必要！高周波コイルは加熱ON/余熱OF…
います。高周波コイルで発生した磁場をお鍋の底に当てると渦電流が発生します、ここまでが磁場解析。渦電流は発熱を起こしお鍋の底からお水へ熱が伝わり温度が上昇します、ここは熱解析。誘導加熱は狙った場所を短時間で加熱できるので、様々なところに利用されています 詳細は【解析ノウハウ.com】の「NO.019 ex誘導加熱版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・誘導加熱によりワークの温度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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材料特性は磁場解析と温度解析用が必要！高周波コイルは加熱ON/余熱OF…
います。高周波コイルで発生した磁場をお鍋の底に当てると渦電流が発生します、ここまでが磁場解析。渦電流は発熱を起こしお鍋の底からお水へ熱が伝わり温度が上昇します、ここは熱解析。誘導加熱は狙った場所を短時間で加熱できるので、様々なところに利用されています 詳細は【解析ノウハウ.com】の「NO.019 ex誘導加熱版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・誘導加熱によりワークの温度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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材料特性は磁場解析と温度解析用が必要！高周波コイルは加熱ON/余熱OF…
います。高周波コイルで発生した磁場をお鍋の底に当てると渦電流が発生します、ここまでが磁場解析。渦電流は発熱を起こしお鍋の底からお水へ熱が伝わり温度が上昇します、ここは熱解析。誘導加熱は狙った場所を短時間で加熱できるので、様々なところに利用されています 詳細は【解析ノウハウ.com】の「NO.019 ex誘導加熱版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・誘導加熱によりワークの温度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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材料特性は磁場解析と温度解析用が必要！高周波コイルは加熱ON/余熱OF…
います。高周波コイルで発生した磁場をお鍋の底に当てると渦電流が発生します、ここまでが磁場解析。渦電流は発熱を起こしお鍋の底からお水へ熱が伝わり温度が上昇します、ここは熱解析。誘導加熱は狙った場所を短時間で加熱できるので、様々なところに利用されています 詳細は【解析ノウハウ.com】の「NO.019 ex誘導加熱版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・誘導加熱によりワークの温度...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック
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