• ついに販売開始!温風乾燥試験機と新機能搭載の2製品をご案内! 製品画像

    ついに販売開始!温風乾燥試験機と新機能搭載の2製品をご案内!

    PR『FOOMA JAPAN 2024』に出展!乾燥データ抽出・可視化…

    当社は、2024年6月4日(火)~9日(金)に開催される「FOOMA JAPAN 2024」に出展致します。 ついに販売を開始した「温風乾燥試験機」の展示と、新機能を搭載した2製品を技術発表! ■温風乾燥試験機 型番 : RAD-AD-EC80【展示】 ■横流れ式循環型乾燥機 SKH-10【パネル展示】 ■冷風除湿ユニット搭載試験機【展示(技術発表)】 ■横吹き多段ファン式循環型乾燥...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社木原製作所

  • フローズンスライサー 製品画像

    フローズンスライサー

    PR凍結状態の肉を定厚かつ高速でスライス!歩留まり・洗浄性UPを実現

    『フローズンスライサー』は、凍っている原料を定厚で スライスする機械です。 サーボモータにより、コンベヤとナイフの位置・回転を制御。 原料高さ200mmまで可能で、原料温度は-10℃までカットできます。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■洗浄性 ・ベルト裏側も容易に洗浄可能 ■安全 ・カバーの無い状態では機械を動かすことができないため、安全に作業可能 ■高性能 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヒガシモトキカイ

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-511 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-511

    10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 50mm動作

    【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

    ステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置 製品画像

    リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置

    【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…

    ○1nm分解能位置決め装置  分解能:1nm(内蔵エンコーダの読取値に対して)  最大移動速度:5mm/s(FC-911コントローラ使用時)  可動範囲:20mm~50mm   ○10nm分解能位置決め装置  分解能:10nm(内蔵エンコーダの読取値に対して)  最大移動速度:10mm/s(一部ステージを除く)  可動範囲:20~200mm/s...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージコントローラ FC-911 製品画像

    1nmフィードバックステージコントローラ FC-911

    1nm分解能で位置決めステージを制御!

    型式:FC-911 接続対象ステージ:FS-10□0UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ、 ステージ制御軸数:2 最小指令単位:1nm インポジション範囲:±1nm(±3nm、±7nm...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

    光学式リニアエンコーダに対して、5nm分解能と±10nmの再現性を実現した超高分解能位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111

    100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れてい...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展] 製品画像

    ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

    検査効率向上に!リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分…

    独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm(分解能によりラインナップが異なります。) コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 長ストロークに対応!精密位置決め装置 製品画像

    長ストロークに対応!精密位置決め装置

    長距離(150mm)を細かく位置決め可能!『精密位置決め装置(分解能:…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク(150mm)を細かく(10nm単位※)位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z 製品画像

    Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z

    【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…

    光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • シグマテック株式会社 会社案内 製品画像

    シグマテック株式会社 会社案内

    正確性・安全性を考慮し、常に安定したサービスを提供いたします

    【取扱製品(抜粋)】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステージシステム ・真空対応1nmフィードバックステージシステム ・真空対応5nm...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY

    【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

    【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

    コーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:60mm×60mm ○テーブル移動量:20mm ○対応真空度:10-4Pa ○耐荷重:49N ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 ●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 『レーザー保護メガネ』 製品画像

    『レーザー保護メガネ』

    フィット感を追求した製品など多数ラインアップ。製品選びをサポートし、サ…

    )を高く設定しているため、通常、可視レーザー光を見ることができません。 ■多波長兼用タイプ 作業中同時に複数の波長をカバーしたい時に利用します。 ■整備用レーザー光 一部透過タイプ 100mW以下整備用(光学濃度OD1~2)、10W以下(光学濃度OD4)。 光路確認・光軸調整などにご使用ください。 ■強化ガラス(完全吸収)タイプ 光学濃度(OD)と損傷しきい値を高く設定し...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 小冊子『精密位置決めステージ 選定時に知っておきたい Q&A』 製品画像

    小冊子『精密位置決めステージ 選定時に知っておきたい Q&A』

    この一冊で精密位置決めステージの選定が簡単にできる!導入前・導入後に役…

    テージの構成要素はどのような材質なのか? ■Q7. 使用しているアクチュエータは? ■Q8. オープンステージとフィードバックステージの違いは? ■Q9. 位置決め時間はどのくらいか? ■Q10. エンコーダはどこに入っていますか? ■Q11. エンコーダの検出方式はどのようなものか? ■Q12. トレーサビリティと分解能とはなにか精度との違いは? ■Q13. どのようなところで使用...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 『レーザーシールドカーテン YLC-1/YLC-2A』 製品画像

    『レーザーシールドカーテン YLC-1/YLC-2A』

    レーザー光から眼を守る。ガラス等に貼り付け簡単。カッターなどでサイズ調…

    貼り直しが可能です。 【特長】 ■表面精度と可視光透過率の向上により、高い視認性を確保 ■可視光線透過率は標準40%(YLC-1)、標準30%(YLC-2A) ■幅は1m、長さは0.5~10mまで幅広くラインアップ ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • スリム型100nm分解能ステージ(50mm) 製品画像

    スリム型100nm分解能ステージ(50mm)

    エンコーダ内蔵!高分解能位置決めステージ

    自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-514 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-514

    10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージにスロー...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 特注例 X軸・XY軸ステージ(透過穴追加) 製品画像

    特注例 X軸・XY軸ステージ(透過穴追加)

    ステージ中央にφ100mmの透過穴(開口)を追加したステージ

    ○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能:5nm / 10nm / 50nm / 100nm ○ストローク:30mm(※画像のステージ「FS-1030X」の場合) ※その他の仕様はお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置) 製品画像

    10nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

    10nm分解能で位置決め!再現性に優れ、20~200mmストロークのス…

    ■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動がで...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に リニアエンコーダ内蔵により10nm…

    ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、10nm分解能と±20nmの再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ 製品画像

    Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

    【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

    光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。 自社開...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

    10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

    ィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY 製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY

    【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…

    式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

    【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

    ダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

    【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 40mm動作

    【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…

    にそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 20mm動作

    【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…

    。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作 製品画像

    真空対応10nmフィードバックステージ 100mm動作

    10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…

    導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが1台で可能だったり、広範囲のデータ(スペクトル等)が必要な場合に有効です。...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411

    50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…

    型式:FC-411 接続対象ステージ:FS-10□0Xシリーズ、FS-1100X、FS-3150X、FS-1005Z、FS-1010Z、FS-1120θ、真空対応品:FS-10□0X(V)シリーズ、FS-1100X(V)、FS-1005Z(V)、...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージコントローラ FC-611 製品画像

    5nmフィードバックステージコントローラ FC-611

    検査や研究を効率化!5nm分解能で位置決め制御ができます。

    型式:FC-611 接続対象ステージ:FS-10□0SPXシリーズ、FS-10□0SPX(V)シリーズ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm インポジション範囲:±5nm(±15nm、±35nm 選択可) 最大動作速度設定:30mm/sec...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

    真空チャンバー内での位置決め用途に サブミクロン分解能で位置決め 可動…

    ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダに対して、サブミクロン分解能(0.1μm or 0.05μm)の再現性を実現した精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージシステム 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージシステム

    リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm…

    光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。 真空度10^-4 Paまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 50mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 50mm動作

    真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…

    ていながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:120mm×120mm ○テーブル移動量:50mm ○繰返し位置決め精度:±10nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:5nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-611...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作

    真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

    蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:60mm×60mm ○テーブル移動量:20mm ○繰返し位置決め精度:±10nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:5nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-611...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作 製品画像

    真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作

    真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

    蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:80mm×80mm ○テーブル移動量:40mm ○繰返し位置決め精度:±10nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:5nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-611...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

    [真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

    ルを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:120mm×120mm ○テーブル移動量:50mm ○対応真空度:10-4Pa ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください □...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

    【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…

    解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ1台で行うことができます。 (*1)フィードバックステージコント...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

    【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

    うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。 ストロークは『40mm』となっています。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V) 製品画像

    真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

    [1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

    ケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:80mm×80mm ○テーブル移動量:40mm ○対応真空度:10-4Pa ○耐荷重:49N ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY

    100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ

    ドバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、 ストローク範囲は『100mm』となっています。 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • スリム型100nm分解能ステージ(40mm) 製品画像

    スリム型100nm分解能ステージ(40mm)

    エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

    自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルです。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化 ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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