ネジ山をなめてしまった…その課題『エンザート』が解決します！

PR壊れたネジ穴を再生・補修して強度もアップ！タップ立て不要で、めねじやコ…

部品のネジ山（めねじ）が破損した場合、どうしていますか？ 「ヘリサート・リコイルなどのコイルインサートを使用している」 「サイズアップで立て直しをしている」 「部品交換をしている」 など様々な対応をされているかと思います。 エンザートならその部品を救えるかもしれません！ ケー・ケー・ヴィ・コーポレーションが取り扱う『エンザートSBE』は、垂直出しが容易な三つ穴タイプのインサートナットです。 先...

メーカー・取り扱い企業： ケー・ケー・ヴィ・コーポレーション株式会社

精密微細加工技術を駆使した『半導体製造装置向け部品・製品の製作』

精密微細加工・仕上げ・精密洗浄・クリーン梱包をトータルで対応OK。 …

当社では、高精度な“微細孔加工”や高品位な“鏡面仕上げ加工”などによる 『半導体製造装置向け部品・製品の製作』を行っています。 加工から仕上げ、精密洗浄、品質検査、 梱包・出荷までトータルで対応できる点も大きな特長のひとつ。 真空装置向け部品も数多く取扱い、放出ガス...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

半導体ウエハーや液晶の洗浄装置への活用

半導体ウエハーの洗浄に！逆浸透膜により、不純物を90～99％分子レベル…

トップウォーターシステムズが取り扱う純水製造システム・装置は、 洗浄用途にもお使いいただけます。 精密洗浄や化学製品製造、飲料原料、理化学実験、メッキ塗装前の 表面洗浄、悪臭成分洗浄除去などに好適。 半導体ウエハーや液晶の洗浄装置にも活用されております。 RO（逆浸透膜）により、不純物（有機物・無機物・細菌類・重金属・ 化学物質）を90～99％分子レベルで分離除去した「RO純水装置」をはじめ、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トップウォーターシステムズ

0.01ｍｍ～のＳＵＳ薄板の加工技術で半導体製造装置向シムで製作

半導体製造装置用などにピッタリ！0.01ｍｍ～のＳＵＳでシム製作はお任…

半導体製造機械を製作している企業様への納品実績も多数ございます。その理由は ・バリの少ない高精度な仕上がり ・ＳＵＳは0.01ｍｍ～の板厚違いのご注文も可能 ・可能な素材も銅や真鍮なども高精度に加工ができます。 複雑形状にも対応していますし試作品用など少ないロットの御注文にも対応させていただきます。 薄板加工でお困りの企業様お気軽にお問合わせください。 　　　　　　　　　　　　　　　 ......

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富山プレート

板金　精密板金　打ち出し板金　加工

精密板金・打ち出し板金　加工

構体ならびに運転室内部品や 計器盤の製造に関して全国有数の実績と経験を有している 山下工業所社『精密板金・打ち出し板金　板曲げ　加工 』のご案内です。 ■□■営業品目■□■ ■精密板金 ・半導体製造装置に組み込まれる大小様々な 　薄板板金部品を製造、単品・少ロット、短納期などの要請に対応 ■打ち出し板金 製造・生産プロセス部門　ものづくり日本大賞・特別賞受賞！ 「ハンマー一本で新幹線の「顔...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山下工業所

【半導体業界実績有】短納期対応可 エアーブローガン・純水洗浄ガン

【小口の数量で納期約1週間程度】クリーンルームへの持ち込みが可能な樹脂…

にろ過精度0.01μmの中空糸膜 ろ過フィルターを搭載しており汚染の心配がない為、半導体製造工場の クリーンルームにてご使用頂けます。 ウェハー洗浄装置、グラインダー、ダイサーといった、各種半導体製造装置 のメンテナンス用途として採用頂いております。 ■エアーブローガン 製品紹介ページ https://www.ipros.jp/product/detail/159520001 ■純水洗浄ガ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツマイクロフィルター 東京営業所

マイクロデバイス製造関連装置

全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ

半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。...半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送シ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

【半導体装置に採用】傾動反転時作業に好適！小型インライン減速機

ブレーキ・ストッパ不要！回転を止めたところで荷重を保持し傾いたまま作業…

テンレス製もラインナップしております。 基本は錆に強い黒色テフロンコーティングを施しています。 また、災害時に電源が無くても駆動・荷重保持が可能です。 防衛・軍事関連、プラント関連、半導体製造装置、自動車組立ライン、装置蓋開閉など様々な所に機械要素として導入していただいております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社庄司歯車エンジニアリング

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ チャンバーサイズはφ250mm×高さ150mm。...プラズマ装置国産メーカー『魁...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

半導体製造装置の修理

修理可能モデル・パーツ例も掲載！リストに載っていないモデルやパーツでも…

当社では、半導体製造装置の全ての機材・機器に使われているものを 修理します。 PCBボードのIC、LSIをサーフェスマウントから取り外し、修理をする技術を 持っており、各種素子(受動、能動)をチェックして修...

メーカー・取り扱い企業： アル株式会社 本社

特殊炭素製品「半導体製造用　CZ装置」

各種熱処理用パーツの加工などに対応！先端産業向けに広く貢献しております…

半導体製造用「CZ装置」は、ウエハの熱処理用サセプター、ダミーウエハ、 各種熱処理用パーツの加工の他、表面処理、純化処理等にも対応し、 先端産業向けに広く貢献しております。 シリコン単結晶の引上げ用ルツボ、加熱用ヒーターとして高純度グラファイト が使用されています。 【種類】 ○ヒーター（光ファイバー用） ○ルツボ ○サセプター ○ダミーウエハ ○熱処理用治具　ほか ...

メーカー・取り扱い企業： 穴織カーボン株式会社

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

半導体製造装置（ドラフト・薬液供給ユニット）

独自のノウハウを駆使！溶接に細心の注意と最高の技術をもって製作していま…

当社では、主にウェーハ洗浄装置などで使用するドラフトや薬液供給ユニット などのフレームライニング（塩ビ巻き）を多く手がけています。 外観の傷・溶接不良・精度には最大限の注意を払っております。 なかでも溶接には細心の注意と最高の技術を注ぎ製作してます。 また、加工方法・製品強度などは使用条件などを考慮し、独自のノウハウを 利用し製作しています。 【特長】 ■外観の傷・溶接不...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社清水工業所

【課題解決事例】大手半導体製造メーカー様

半導体自社生産設備を当社へ一括発注しVA提案と海外工場の製作活用！大幅…

大手半導体製造メーカー様の生産技術部からの課題を解決した事例を ご紹介します。 同社では、半導体製造装置ICチップハンドラー装置を既存設備会社に 依頼していましたが、大幅な増産による製造装置の増設による 大幅コストダウン要請があり、当社にご相談頂きました。 そこで、自社内で組立調整まで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シオガイ精機

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

『粉体や固体全面』など様々な材料の『親水化』『洗浄』『密着強化』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂ける回転式真空プラズマ装置！ 通常のプラズマ装置はサンプルとプラズマが触れていない底面などの接触部分は処理できず裏返す工程が必要となっていました。 本製品はチャンバーが回転する事によりサンプル全面に均一なプラズマ処理一括処理する事ができます。 【特徴】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

コーティング技術のワンストップサービス

豊富な改善事例をもとに、問題解決に向けた表面処理メニューを用途に応じて…

用途 　薄膜フッ素コーティング ◎樹脂、ゴム成形などの離型用途 　薄膜フッ素コーティング、特殊PVD被膜 ◎テープなどの非粘着用途 　フッ素系、シリコン系、ガラス系コーティング ◎半導体製造装置などの機能性用途 　各種アルマイト処理、絶縁性・導電性コーティング、耐腐食性コーティング ※詳しくは資料をご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

フィルターハウジンク゛　フィルター　SHタイプ

フィルターハウジング専門の製造元会社です。

品名　フィルターハウジング 型式　SAF-SHタイプ <ご使用用途> クリーンエネルギー　バイオマス　核融合　ダビットアーム　バイオ燃料　半導体　半導体製造装置用フィルターハウジング　塗料濾過　SAF燃料　食用油　エタノール　水素　有機溶剤　フィルターハウジング安価　医薬品　温室効果ガス　脱酸素　航空用燃料　ジェット燃料　グリースろ過　オートクリーン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スズコウ

特殊炭素製品　半導体製造用プロセス装置

メルセン・エフエムエー株式会社では、半導体製造用プロセス装置やその他の…

グラファイトは耐熱性及び耐腐食性が必要な用途に最適な材料です。 特に液体薬品や化学ガスを使用する用途では、耐腐食性の高いグラファイトの使用が不可避です。...【特徴】 ○熱伝導性及び導電性が高い ○高温時にも強度が高く、高温発熱が可能である ○化学ガス及び高温での腐食に強い ○自己潤滑性がある ○熱膨張が小さく、熱衝撃に強い ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： メルセン・エフエムエー株式会社 本社

【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ

お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ…

半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。 直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Ｚステージの実力値も...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

半導体製造工程で使用する高精度位置決めステージ使用例

位置決めステージ選定でお悩みの方へ。どの工程でどんな位置決めステージが…

当資料は、半導体製造工程ごとに使用実績を掲載しています。 インゴットの位置決め用高荷重ゴニオメーター「ワイヤーソー」をはじめ、 完成までの前工程/後工程で使われる位置決めステージをご紹介。 他にも、半導体ウエハのみならず様々な試料の厚さや表面形状等を 測定する装置などにも活用できます。 【掲載製品（一部）】 ■ワイヤーソー ■ウエハボンディング装置 ■プリント基板用露光...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

【医療器材の洗浄メーカー必見】オーダーメイド洗浄装置製造のご案内

医療用分野の洗浄装置製造用のクリーンルームも設置済み！半導体向け洗浄装…

当社は、主に産業用（半導体やセラミック）の洗浄装置・自動搬送装置・薬液供給装置の 設計・製作・販売を行っているメーカーです。 お客様のご要望に応じたオーダーメイドの装置にも対応しており、 お客様が考えた仕様に加え、ノウハウを活かしたモノづくりを行っています。 最近では医療用分野の洗浄装置のクリーンルームも新設し、よりお客様のご要望に合わせた洗浄装置のご提案も行っております。 ...

メーカー・取り扱い企業： ヴァリアス株式会社

【納入実績】計測・制御機器　イメージセンサ検査用 標準光源装置

半導体の性能試験（検査）をする際に使用する光源装置。

CCDやCMOS形のイメージセンサ、エリアセンサ、リニアセンサ、 近赤外線センサなどの半導体の性能試験（検査）をする際に使用する光源装置です。 光源装置は、半導体製造前工程テスト（ウェハの電気的特性試験）や、 後工程テスト（パッケージの電気的機能試験）、R＆D評価試験などで、 テストシステム装置と接続して使用されます。 各種テストシステムと接続が可能で、300mmウェハ対応、低照...

メーカー・取り扱い企業： 応用電機株式会社 神奈川事業部（大和工場）

半導体製造装置用アーム　厳しいキズ管理のできるサプライヤー

シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…

横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。 加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ

電子部品・電子機器・装置関連の設計・製造（ODM・OEM）

電子部品・装置の設計・製造（ODM/OEM）を一貫生産体制で提供します

当社のグループ会社「JOHNAN DMS株式会社」は、製品の開発・試作から量産試作・量産まで一貫で提供します。 ■特徴 ・電子部品・電子機器・装置の設計・製造一貫生産、品質管理力・改善力 ・クリーンルームを設置した量産工場を保有 ・省力化機器、治工具の設計・製作 ・半導体組立、基板実装、装置組立、検査も対応可能 詳しくは、お電話または当社ホームページを通じて、お気軽にご要望をお伝え下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： JOHNAN株式会社

短納期！　電子部品不足の対応へ　OEM用ポンプモジュール

昨今の半導体、電子部品不足の影響無し、即納可能な国内在庫豊富な精密分注…

弊社ポンプ製品は世界中の医療分析装置に大量に供給し続けています。国際的に医療状況がひっ迫する中、確実に迅速に対応するべく、大量のOEMポンプのための部品を工場内で維持しています。このため、一般的に部品供給の納期が不安定で長期化する現況下でもOEM用精密ポンプの安定供給を継続しています。 部品不足下でのメリットと今後のリスク対策として： １）自製ポンプの場合の部材不足の解消。 １）常に国内...

メーカー・取り扱い企業： テカンジャパン株式会社

【会社案内】外観検査装置ならおまかせ！藤田デバイス株式会社

顧客価値創造企業を目指す藤田グループ！装置開発・電子部品製造は当社にお…

藤田デバイス株式会社は、2002年に藤田エンジニアリング（株） より分離独立し、ボード設計製作事業を開始いたしました。 2007年には、装置開発事業を開始。スクライバーをはじめ、外観 検査用金属顕微鏡や超純水装置などの設備を保有しております。 装置開発・電子部品製造は、当社へご相談ください。 【事業内容】 ■ダイジング・スクライブ・治具詰め・外観検査 　（シリコン、化学物...

メーカー・取り扱い企業： 藤田グループ

半導体設備に適した研削加工

設備寿命を長期化！難削材でも高精度で加工し寸法精度が向上することで摩耗…

現在の世界的な半導体不足の影響によって、半導体製造装置の需要も 増加しています。半導体製造装置では、傷1つない半導体を製造するために、 精度や耐久性も求められます。 そのため、半導体製造装置の部品の多くは難削材であり、また貴重であるので...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イコール 本社・営業部

【実績多数】短納期・高品質・低コストの各種精密製品製造

髪の毛ほどのキズも見逃さない厳しい検査！材料の発注から、生産・出荷まで…

当社のプロダクションセンターは、半導体、液晶製造装置、コーティング装置、 真空工業炉から医療、航空、宇宙、原子力産業のソリューションパートナー として発展してきました。 当社独自の技術により、各種ステンレス・アルミ合金溶接構造から 素材削りだしチャンバー（真空容器）など、各種精密製品製造の 短納期・高品質・低コストを実現。 国内はもとより海外からのお客様の信頼をいただき、これま...

メーカー・取り扱い企業： カナヤママシナリー株式会社

微量元素分析用超純水装置 Milli-Q IQ 7000シリーズ

ICP-MS（極微量元素分析）、半導体洗浄用 完全水銀フリー 超純水製…

極微量元素分析、半導体洗浄等には高純度の超純水が必要です。 Milli-Q IQ 7000およびMilli-Q IQ 7005/10/15 微量元素分析タイプは、ICP-MSによる極微量元素分析に適した分析用水を精製します。 精製ユニットでの超純水精製に加え、Milli-Q IQ Element により極微量の金属を極限まで除去。 これにより、水由来のバックグラウンドを抑えられ、極微量元素分...

メーカー・取り扱い企業： メルク株式会社ライフサイエンス（シグマ アルドリッチ ジャパン合同会社）

株式会社ワイ・エムテクノロジー　事業紹介

半導体洗浄装置メーカーでもありリファブメーカーでもあります

株式会社ワイ・エムテクノロジーは、主に各種半導体製造工程用自動洗浄機の 製造および販売を行っている会社です。 当社は洗浄装置のコーディネーターであり、装置開発の心臓部にあたる 技術部門と設計部門には特に力を入れております。 お客様のご要望におこたえする、多種多様の洗浄機を取扱っています。 その他にも、エアー弁やポンプなどの部品や樹脂全般加工なども扱っています。 【事業内...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ワイ・エムテクノロジー 京都本社

【国産・短納期】粘着材不使用の搬送用チップトレイ『ゲルベース』

ICチップや電子部品などを振動から守り、安全に保管・搬送！国産で短納期…

ゲルベースはICチップや電子部品など細かな部品の工場内、工程内搬送、海外搬送用として使用できます。 振動から半導体部品を守り、搬送時のデバイス固定用トレイとしても大活躍。 国内製造のため海外製品が手に入りにくい中でも、小ロット・短納期を実現！ 粘着材不使用・シロキサンフリーで安心してご使用いただけます。 【特長】 ■やわらかなゲル素材がICチップ等を搬送時の振動・衝撃から守り、破損を防止 ■材...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エクシール 本社

超高純度イオン精製装置

半導体・原子力・火力分野での超微量イオンの検出要求に応じることができる…

『超高純度イオン精製装置』の交換層では、水中の誘電体イオンが 直流電場の作用で方向転換を受け、交換膜の選択的透過により 水が精製されます。 逆浸透膜（RO水）や純水製造装置で調製した不適格なUP水（イオン含有量が 基準を超える）をさらに精製してイオンクロマトグラフィーに対応。 また、純水製造装置で調製したUP水をさらに精製して半導体・原子力・ 火力分野での超微量イオンの検出要求...

メーカー・取り扱い企業： 科健化学株式会社 Science and Health with Chemistry CO., LTD.

【医療機器・製造向け】傾動反転時に荷重保持！小型インライン減速機

ブレーキ・ストッパ不要！回転を止めたところで荷重を保持し、傾いたまま作…

ルステンレス製もラインナップしております。 基本は錆に強い黒色テフロンコーティングを施しています。 また、災害時に電源が無くても駆動・荷重保持が可能です。 防衛・軍事関連、プラント関連、半導体製造装置、自動車組立ライン、装置蓋開閉など様々な所に機械要素として導入していただいております。 ＩＰ６５相当で粉塵にも対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社庄司歯車エンジニアリング

【微細加工】 A5052 ／ 旋盤加工品

最短半日見積り／半導体製造装置部品／アルミ加工品／微細加工

「実績紹介」 　〈材料〉アルミ（A5052） 　〈加工〉NC旋盤加工 　〈用途〉半導体製造装置部品 　〈サイズ〉φ25×40mm 〈特徴〉 こちらの製品は、A5052（アルミ）を使用して加工されています。 半導体製造装置部品に用いられる為、傷や打痕不可で、 バリやカエリにより製品搬送...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【半導体分野向け】超音波探傷装置『IS-350』

半導体製品内部を評価！ 検査の「最適化」、お客様の「検査ノウハウ構築…

超音波デジタル画像診断装置「InsightScan IS-350」は、超音波を使って非破壊・非接触で製品内部を評価する装置です。 電子部品や金属、溶接部の内部欠陥を非破壊で検出することができます。 【インサイトが選ばれる理由】 ■検査の「最適化」…お客様の検査対象製品に合わせた装置を作成します。スキャンサイズ、水槽深さ、探触子の選定など各種対応します。 ■カスタマーサポート…...

メーカー・取り扱い企業： インサイト株式会社

【アルミ表面処理　問題解決事例】半導体製造装置へ異物混入防止

350℃まで対応のクラックレス硬質アルマイトで皮膜剥がれによる粉塵の発…

製造工程中に使用するアルミニウム合金製の治具やボルトなどの締結部品は アルマイト処理をする場合がありますが、高温になると皮膜がクラック・欠落 してしまう問題があります。 350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス 硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施すことで、皮膜欠落の原因で ある熱クラックの防止を図ることが可能。 課題であった皮膜欠落に...

メーカー・取り扱い企業： 東栄電化工業株式会社 相模原本社工場

加熱と冷却の課題、溶湯鍛造法で解決！半導体製造装置業界で注目！

アルミ展伸材でもできる複合材内蔵型鋳込みヒーターは、高温環境下、真空環…

〉 ■アルミ＋ステンレスパイプ＋アルミ ■ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ■高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れた水冷板 〈半導体製造装置用冷却部品〉 ■アルミ＋銅パイプ＋アルミ ■銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

日本フッソ工業　半導体製造装置

ウエット洗浄装置

高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。 ...【特徴】 ○表面の汚染物質の付着が少なくなる ○パーティクルが発生しにくい ○Siウェハのエッジのダメージが減少する ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能 ○熱伝導の効率が向上 ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度ア...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

半導体プロセス向けオゾン水生成装置オーダーメイド製造

濃度～100ppm、流量～60L/minの幅広い適応範囲！多種多様な要…

当社では、『半導体プロセス向けオゾン水生成装置のオーダーメイド製造』 を行っております。 半導体・FPD分野の製造プロセスにおける洗浄用途に活躍。 用途に応じたカスタマイズが可能なオゾン水生成装置です。 洗浄、レジスト剥離用途に適合、枚葉式洗浄装置にも好適です。 【特長】 ■旋回流式溶解法を採用 ■金属汚染のないクリーンオゾン水 ■幅広い要求に対応 ■カスタマイズ歓迎...

メーカー・取り扱い企業： エコデザイン株式会社

東北大学技術：半導体集積回路装置及びその製造方法：T06-167

半導体チップの歩留まりの改善及び設計マージンの緩和

ナノメートル世代の半導体チップにおいては、チップ内の同一形状のトランジスタであっても、製造過程のばらつきにより特性が異なってくる。そのため、良品チップの歩留りが低下したり、良品チップでも性能が劣化するといった問題が生じる。 本発明は、トランジスタの特性ばらつきによる動作不良や性能劣化を製造後に検出し、トランジスタに付加された補正素子により特性の改善を行い、その部分、または回路全体の動作を良品レベ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

【資料】半導体製造装置向けプラスチック

適切な材料選定に貢献！プラスチック［耐薬品性・入手性・価格イメージ］一…

どに伴い需給がひっ迫しており、 この状況は2022年末までは続くとみられています。 そのような中、不足している樹脂の代替材料の検討が急務ではないでしょうか。 そこで、当資料では、半導体製造装置に使われる樹脂材についての特性を まとめました。 製造工程によって求められる樹脂の特性は違いますので、適切な材料選定に お役立てください。 【掲載内容】 ■半導体業界の材料不...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イコール 本社・営業部

【無料サンプル配布中】配管用樹脂チューブ 『UPチューブ』

今なら！配管用樹脂チューブのサンプルを無料でプレゼント！高耐圧性能(0…

UPチューブは､ポリプロピレン(PP)を主原料にした樹脂チューブです。 【こんな配管にオススメ】 ■高圧状態で使用していないナイロンチューブなどの交換用 ■自動化･省力化機器や、半導体製造装置、理化学機器などで使用する配管 【特長】 ●ハイコストパフォーマンスを実現 ●高い耐圧性能(0.8MPa) ●優れた柔軟性：最小曲げ半径9.0mm(4 x 2.5タイプ)　省スペー...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

マスクレス露光装置「MXシリーズ」

半導体製造等の露光工程における、開発/納期の短縮とコスト削減に貢献しま…

半導体製造工程・マイクロセンサー（加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー）製造工程・プリント基板製造工程における露光技術では、フォトマスクを使用し、それを基盤に転写する方式が主流です。 一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いた独自のポイントアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。 フォトマスクを使用しな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

クリーンルーム向けイグチベアー半導体やFPD製造装置で多く採用

ISB独自のクリーン化テクノロジーを搭載！ユーザーの特殊用途に合わせた…

『クリーンルーム向けイグチベアー』は、さまざまなFPD製造装置、 太陽電池製造装置に採用が拡大し、ガラス基板の新しい位置決め方式として 世界中のユーザーに採用されています。 200℃以上の高温環境や真空チャンバー内、各部ローダー、アンローダー、 光の反射を嫌う光学測定機、マザーガラス切り出し部等、各種用途に応じた 製品をラインアップ。 クリーンルーム向けの使用用途の基本をクリア...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社井口機工製作所 本社