乾湿原料連続式　粉体混合機「ダウミキサーPX」※納入事例集進呈！

PR粉体の乾湿混合｜加湿混練｜造粒前混練など幅広い用途に好適！難易度が高い…

　「ダウミキサー」は独自の不等速2軸機構の採用により、 セルフクリーニングで固着成長を抑制機能（メンテ性）や、2軸間差速で高い均一分散性能（生産性） を兼ね備えており、粘性が高い湿潤原料でも効率よく混合・混練が可能です。 　『ダウミキサーPX型』は、2500台以上の実績がある「ダウミキサー」ノウハウをもとに、 不等速2軸機構に配列する2条巻きの正逆パドルで高度な混練効果と圧密効果が得ら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新日南 京浜事業所

AI画像処理選別機『AIHシリーズ』

PRAI画像処理により裏表両面を同時に検査し、異物や不良品を高速かつ高精度…

『AIHシリーズ』は、AIによる画像処理を用いて、ピンポイントで 食品や医薬品などに含まれる異物を除去できる選別機です。 高速コンベアから投げ出された材料をCCDカメラで表裏両面から同時に検査。 検出した異物は圧縮空気の噴射によって、的確に排除されます。 2方向から検査することで、異物や不良品の見逃しを最小限に抑制。 食品や医薬品錠剤など粒状の製品、長さ3cm以下の樹脂や金属部品など...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社服部製作所

真空対応10nmフィードバックステージ　50mm動作

【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

スリム型100nm分解能ステージ（50mm）

エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ

型式：FS-1050X(S) ストローク：50 mm 専用コントローラ使用時 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） 最高移動速度：10 mm/s テーブルサ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

サブミクロン分解能で位置決め！エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20～40…

バック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ステージコントローラにより、100nm（0.1μm）か50nm（0.05μm）分解能で動作します。 ■長ストローク 最大400mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、 コマンド文字列をPC等から入力...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により5nm分…

での真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

リニアエンコーダ内蔵　高分解能位置決め装置

【新型ステージコントローラ】とリニアエンコーダを内蔵した【フィードバッ…

○1nm分解能位置決め装置 　分解能：1nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 　最大移動速度：5mm/s（FC-911コントローラ使用時） 　可動範囲：20mm～50mm 　 ○10nm分解能位置決め装置 　分解能：10nm（内蔵エンコーダの読取値に対して） 　最大移動速度：10mm/s...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

Z軸用サブミクロンステージ FS-1005Z/1010Z

【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 　リニアエンコーダを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：60mm×60mm ○テーブル移動量：20mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 ●その...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

ナノメートル位置決め装置 [ポジショニングEXPO出展]

検査効率向上に！リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分…

独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm（分解能によりラインナップが異なります。） コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。 各種通信インターフェースを搭載し...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックス...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

長ストロークに対応！精密位置決め装置

長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-111

100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

V)、FS-1005Z(V)、FS-1010Z(V) 制御軸数：2 最小指令単位：100nm インポジション範囲：±100nm（±300nm、±700nm 選択可） 最大動作速度設定：100mm/sec（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：A...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-511

10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！

PX(V)、FS-1005PZ(V)、FS-1010PZ(V) 制御軸数：2 最小指令単位：10nm インポジション範囲：±10nm（±30nm、±70nm 選択可） 最大動作速度設定：50mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：A...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）

ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ

タ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm / 100nm ○ストローク：30mm（※画像のステージ「FS-1030X」の場合） ※その他の仕様はお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージコントローラ　FC-911

1nm分解能で位置決めステージを制御！

SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ、 ステージ制御軸数：2 最小指令単位：1nm インポジション範囲：±1nm（±3nm、±7nm 選択可） 最大動作速度設定値：6mm/s（接続ステージの性能が優先） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC1...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

レーザシールドカーテン YLC-2A

可視透過性が高く、幅1,000mmで、帯電防止・防火性に優れています。…

表面精度と可視光透過率の向上により高い視認性を確保しています。 接着剤を使用せず水貼りのため、柔軟で様々な形状に合わせ繰り返し使用することができます。...共通仕様 【材質】軟質塩化ビニール 【厚さ】0.5ｍｍ 【適応波長】190−380、441−532nm 【色】 クリアオレンジ 【光学濃度】4＜ 〔OD〕 【可視光線透過率】 標準30％ 【防炎性】 防炎2級（JIS A1322...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

『レーザーシールドカーテン YLC-1/YLC-2A』

レーザー光から眼を守る。ガラス等に貼り付け簡単。カッターなどでサイズ調…

【仕様】 材質：軟質塩化ビニール 厚さ(mm)：0.5 光学濃度(OD)：4＜ 防炎性：防炎2級(JIS A 1322) 適応波長(nm)　YLC-1：266、355、1064、2100、10600 　　　　　　　YLC-2A：190...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

スリム型100nm分解能ステージ（40mm）

エンコーダ内蔵のフルクローズ制御可能なステージ

型式：FS-1040X(S) 分解能：100 nmまたは50 nm（内蔵スケール読み値） 再現性：±200nmまたは±100nm（内蔵スケール読み値） ストローク：40 mm 最高移動速度：10 mm/s テーブルサイズ：80×60 mm 対応コントローラ：FC-111 or FC-411...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　40mm動作

【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…

真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　40mm動作

真空中で使える　5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

クステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　20mm動作

【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…

まま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを10nm分解能で位置決めができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　100mm動作

【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…

能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 移動範囲100mmと長いため試料の移動と精密位置決めが１台で可能だったり、広範囲のデータ（スペクトル等）が必要な場合に有効です。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　50mm動作

真空中で使える　5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…

真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　20mm動作

真空中で使える　リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm

（フィードバックステージシステム）。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

10nm分解能で位置決め！再現性に優れ、20～200mmストロークのス…

バーにより10nm分解能でステージを動作させ、ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク 最大200mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、コマンド文字列をPC等から入力する...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージシステム

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm…

での真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　サブミクロン分解能で位置決め　可動…

aまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージシステム

真空チャンバー内での位置決め用途に　リニアエンコーダ内蔵により10nm…

aまでの真空チャンバー内で使用できます。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは20mm～100mmまでラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

5nm分解能で位置決め！再現性に優れ、可動距離がミリオーダー

ステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分解能で再現性に優れています。 ■長ストローク ボールねじ駆動のため最大50mmの可動ができます。 これにより精密位置決めと試料の退避が1台のステージで可能です。 ■制御 コントローラには通信インターフェースがいくつか用意されており、 コマンド文字列をPC等から入力...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

Z軸用10nmステージ FS-1005PZ/1010PZ

【昇降ステージ】リニアエンコーダ内蔵により10nmの高分解能・高い位置…

光学式リニアエンコーダを内蔵した高分解能Z軸用位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。 独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 　リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○対応真空度：10-４Pa ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □　詳しくはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY

【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ

性に優れています。 フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、 ストローク範囲は『100mm』となっています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えており...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

ック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…

ダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ１台で行うことができます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックス...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

す。 フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。 ストロークは『40mm』となっています。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY

【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…

誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社